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公報発行日 2020年12月17
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【図1】図1は、第1発光素子を例示する模式的断面図である。
【図2】図2は、第1発光素子を例示する模式的平面図である。
【図3】図3は、第1発光素子を例示する模式的断面図である。
【図4】図4は、第1発光素子を例示する模式的断面図である。
【図5】図5は、第1発光素子を例示する模式的断面図である。
【図6】図6は、第1発光素子を例示する模式的断面図である。
【図7】図7は、第2発光素子の製造方法を例示するフローチャート図である。
【図8】図8は、第2発光素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
【図9】図9は、第2発光素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
【図10】図10は、第2発光素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
【図11】図11は、第2発光素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
【図12】図12は、第2発光素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
【図13】図13は、第2発光素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
【図14】図14は、第2発光素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
【図15】図15は、第2発光素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
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