【図1】図１は、本発明の一実施形態の一態様によるガスセンサの断面構造を示す概念図である。

【図2】図２は、本発明の別の態様によるガスセンサの断面構造を示す概念図である。

【図3】図３は、異なる希土類酸化物から構成されたガス感知層を備えるセンサ８種について、二酸化炭素濃度１０００ｐｐｍ、２０℃、５０％ＲＨ、駆動温度３００℃におけるガスセンサ特性を調べた結果を示しており、図３（Ａ）はＣＯ_２ガス感度（Ｒ_ｇ／Ｒ_０）、図３（Ｂ）は濃度勾配α、図３（Ｃ）はセンサ抵抗値変化（耐久試験後／初期）について評価した結果を示すグラフである。

【図4】図４は、Ｓｍ_２Ｏ_３から構成されたガス感知層を備えるセンサについて、ＣＯ_２、Ｈ_２、ＣＯ、エタノールの４種のガスに対する、２０℃、５０％ＲＨ、駆動温度３００℃における感度（Ｒ_ｇ／Ｒ_０）を調べた結果を示す。

【図5】図５は、Ｅｕ_２Ｏ_３から構成されたガス感知層を備えるセンサについて、ＣＯ_２、Ｈ_２、ＣＯ、エタノールの４種のガスに対する、２０℃、５０％ＲＨ、駆動温度３００℃における感度（Ｒ_ｇ／Ｒ_０）を調べた結果を示す。

【図6】図６は、Ｇｄ_２Ｏ_３から構成されたガス感知層を備えるセンサについて、ＣＯ_２、Ｈ_２、ＣＯ、エタノールの４種のガスに対する、２０℃、５０％ＲＨ、駆動温度３００℃における感度（Ｒ_ｇ／Ｒ_０）を調べた結果を示す。

【図7】図７は、Ｄｙ_２Ｏ_３から構成されたガス感知層を備えるセンサについて、ＣＯ_２、Ｈ_２、ＣＯ、エタノールの４種のガスに対する、２０℃、５０％ＲＨ、駆動温度３００℃における感度（Ｒ_ｇ／Ｒ_０）を調べた結果を示す。

【図8】図８は、Ｅｒ_２Ｏ_３から構成されたガス感知層を備えるセンサについて、ＣＯ_２、Ｈ_２、ＣＯ、エタノールの４種のガスに対する、２０℃、５０％ＲＨ、駆動温度３００℃における感度（Ｒ_ｇ／Ｒ_０）を調べた結果を示す。

【図9】図９は、Ｓｍ_２Ｏ_３、Ｅｕ_２Ｏ_３、Ｇｄ_２Ｏ_３、Ｄｙ_２Ｏ_３、Ｅｒ_２Ｏ_３のそれぞれから構成されたガス感知層を備える５種のセンサについて、ＣＯ_２、Ｈ_２、ＣＯ、エタノールの４種のガスに対する、２０℃、５０％ＲＨにおけるガス感度（Ｒ_ｇ／Ｒ_０）を比較した結果を示しており、図９（Ａ）は、センサ駆動温度２５０℃、図９（Ｂ）は、センサ駆動温度３００℃、図９（Ｃ）は、センサ駆動温度３５０℃について評価した結果を示すグラフである。

【図10】図１０は、Ｓｍ_２Ｏ_３、Ｅｕ_２Ｏ_３、Ｇｄ_２Ｏ_３、Ｄｙ_２Ｏ_３、Ｅｒ_２Ｏ_３のそれぞれから構成されたガス感知層を備える５種のセンサについて、２０℃、５０％ＲＨ、センサ駆動温度２５０℃、３００℃、３５０℃における濃度勾配αを比較した結果を示すグラフである。

【図11】図１１は、市販のＧｄ_２Ｏ_３、Ｄｙ_２Ｏ_３から構成されたガス感知層を備えるセンサと、本発明において製造されたＧｄ_２Ｏ_３、Ｄｙ_２Ｏ_３から構成されたガス感知層を備えるセンサとの、二酸化炭素濃度１０００ｐｐｍ、２０℃、５０％ＲＨ、センサ駆動温度３００℃におけるＣＯ_２ガス感度（Ｒ_ｇ／Ｒ_０）を比較した結果を示すグラフである。