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特開2020-29388(P2020-29388A)
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特開
2020-29388
金属原子だけからなる金属材料の沸点よりも高い沸点を有した金属原子を含む化合物をプラズマで処理して化合物と異なる生成物を得る製造方法、及び、製造装置
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