特開2020-36004静電チャック、これを備える貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法

発明の名称　静電チャック、これを備える貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法

出願人　エーピーエス　ホールディングス　コーポレイション　（識別番号 519260120）

　　　　特許公開件数ランキング 30918 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24983 位（0件）（共同出願を含む）

出願人　エーピー　システムズ　インコーポレイテッド　（識別番号 510223380）

　　　　特許公開件数ランキング 7047 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5635 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2020-36004

公報発行日　2020年3月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-36004

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