特開 2020-46660 貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2020-46660(P2020-46660A)

(43)【公開日】2020年3月26日

(54)【発明の名称】貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/13 20060101AFI20200303BHJP

   G02F 1/1339 20060101ALI20200303BHJP

【ＦＩ】

   G02F1/13 101

   G02F1/1339 505

【審査請求】未請求

【請求項の数】18

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2019-145753(P2019-145753)

(22)【出願日】2019年8月7日

(31)【優先権主張番号】10-2018-0110331

(32)【優先日】2018年9月14日

(33)【優先権主張国】KR

(71)【出願人】

【識別番号】519260120

【氏名又は名称】エーピーエス ホールディングス コーポレイション

(71)【出願人】

【識別番号】510223380

【氏名又は名称】エーピー システムズ インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】特許業務法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】クォン ソンイル

(72)【発明者】

【氏名】イム ヒョンムン

(72)【発明者】

【氏名】オ ソンファン

【テーマコード（参考）】

2H088

2H189

【Ｆターム（参考）】

2H088FA01

2H088FA16

2H088FA30

2H189FA63

2H189FA64

2H189FA65

2H189FA66

2H189FA92

2H189HA12

(57)【要約】      （修正有）

【課題】第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との位置合わせのために、上壁体部と下壁体部とを位置合わせして第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法を提供する。
【解決手段】上壁体部１１０と、下壁体部１２０と、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを相対的に移動する駆動部と、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置情報に基づいて、上壁体部１１０と下壁体部１２０を位置合わせする制御部とを備えることにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを位置合わせして貼り合わせる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法に関する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ装置において、
前記第１の貼り合わせ部材が支持される第１の支持部を有する上壁体部と、
前記第１の貼り合わせ部材と対向して前記第２の貼り合わせ部材が支持される第２の支持部を有し、前記上壁体部との組み合わせにより工程チャンバーを形成する下壁体部と、
前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とから、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を算出する位置情報取得部と、
前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、前記上壁体部と前記下壁体部とを位置合わせするための制御情報を生成する制御部と、
前記制御部から前記制御情報を引き渡されて、前記上壁体部と前記下壁体部との少なくとも一方の壁体部を他方の壁体部に対して相対的に移動する駆動部と、
前記上壁体部と前記下壁体部との間隔を調整し、位置合わせされた状態で前記上壁体部と前記下壁体部とを組み合わせる間隔調整部と、
を備える貼り合わせ装置。

【請求項2】

前記位置情報取得部は、
マークパターン付きパターン面を備え、前記上壁体部と前記下壁体部とにそれぞれ配設される上マークプレート及び下マークプレートと、
前記上壁体部と前記下壁体部とをそれぞれ向くように配設され、それぞれに対向する前記上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影する上カメラ及び下カメラと、
前記上カメラ及び下カメラが前記上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析して、前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とに基づいて、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を生成する位置情報分析部と、
を備える請求項１に記載の貼り合わせ装置。

【請求項3】

前記上カメラは、前記第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影し、
前記下カメラは、前記第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影し、
前記位置情報分析部は、前記第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第１の特徴点イメージと、前記第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第２の特徴点イメージとを分析して、前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材の特徴点同士の間の相対位置情報を取得し、
前記制御部は、取得された前記特徴点同士の間の相対位置情報を、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報に反映して前記制御情報を生成する請求項２に記載の貼り合わせ装置。

【請求項4】

前記位置情報は、
一つの平面の上に存在する第１の軸及び第２の軸に沿ってそれぞれ決定される第１の軸の線形位置情報及び第２の軸の線形位置情報と、
前記平面の傾き度合いを示す傾斜情報と、
を含む請求項１に記載の貼り合わせ装置。

【請求項5】

前記間隔調整部は、前記上壁体部と前記下壁体部とを組み合わせながら、前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる請求項１に記載の貼り合わせ装置。

【請求項6】

前記第１の支持部と前記第２の支持部との少なくとも一方は、それぞれに対応する前記第１の貼り合わせ部材又は前記第２の貼り合わせ部材に圧力を加えて、前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる加圧部を備える請求項１に記載の貼り合わせ装置。

【請求項7】

前記マークパターンは、
複数のマークがマットリックス状に配列されたマークマットリックスと、
前記マークマットリックスの外側に配置され、一つの円軌跡に位置する複数の円軌跡マークと、
を含む請求項２に記載の貼り合わせ装置。

【請求項8】

前記位置情報分析部は、前記マークパターンイメージにおいて前記複数の円軌跡マークの位置を測定して、前記上壁体部と前記下壁体部との少なくとも一方の回転中心を算出する請求項７に記載の貼り合わせ装置。

【請求項9】

前記上マークプレートは、前記第１の支持部の外縁部に配置され、
前記下マークプレートは、前記第２の支持部の外縁部に配置される請求項２に記載の貼り合わせ装置。

【請求項10】

前記上マークプレート及び下マークプレートは、クォーツ製であり、
前記マークパターンは、印刷されて形成される請求項２に記載の貼り合わせ装置。

【請求項11】

第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ方法において、
（ａ）上壁体部の第１の支持部に前記第１の貼り合わせ部材を配設し、下壁体部の第２の支持部に前記第２の貼り合わせ部材を配設する過程と、
（ｂ）前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とから、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を算出する過程と、
（ｃ）前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、前記上壁体部と前記下壁体部を位置合わせする過程と、
（ｄ）位置合わせされた前記上壁体部と前記下壁体部との間隔を調整して、前記上壁体部と前記下壁体部とを組み合わせる過程と、
を含む貼り合わせ方法。

【請求項12】

マークパターン付きパターン面を含む上マークプレート及び下マークプレートを前記上壁体部と前記下壁体部とにそれぞれ配設する過程をさらに含み、
前記（ｂ）過程は、
前記上壁体部と前記下壁体部とをそれぞれ向くように配設される上カメラ及び下カメラを用いて、それぞれに対向する前記上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影する過程と、
前記上カメラ及び下カメラが前記上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析する過程と、
前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得する過程と、
取得した前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とに基づいて、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を生成する過程と、
を含む請求項１１に記載の貼り合わせ方法。

【請求項13】

前記上カメラ及び下カメラを用いて、前記第１の貼り合わせ部材の特徴点と、前記第２の貼り合わせ部材の特徴点とをそれぞれ撮影する過程と、
前記第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第１の特徴点イメージと、前記第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第２の特徴点イメージとを分析して、前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材の特徴点同士の間の相対位置情報を取得する過程と、
をさらに含み、
前記（ｃ）過程は、取得された前記特徴点同士の間の相対位置情報を、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報に反映して行う請求項１２に記載の貼り合わせ方法。

【請求項14】

前記（ｂ）過程は、
一つの平面の上に存在する第１の軸及び第２の軸に沿って決定される第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報とを、前記上壁体部と前記下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程と、
前記平面の傾き度合いを示す傾斜情報を、前記上壁体部と前記下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程と、
を含む請求項１１に記載の貼り合わせ方法。

【請求項15】

前記（ｄ）過程の間に、前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる請求項１１に記載の貼り合わせ方法。

【請求項16】

前記（ｄ）過程の後に、前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる過程をさらに有する請求項１１に記載の貼り合わせ方法。

【請求項17】

前記マークパターンは、
複数のマークがマットリックス状に配列されたマークマットリックスと、
前記マークマットリックスの外側に配置され、一つの円軌跡に位置する複数の円軌跡マークと、
を含み、
前記マークパターンイメージを分析する過程は、
前記マークパターンイメージにおいて前記複数の円軌跡マークの位置を測定する過程と、
前記上壁体部と前記下壁体部との少なくとも一方の回転中心を算出する過程と、
を含む請求項１２に記載の貼り合わせ方法。

【請求項18】

前記（ａ）過程から前記（ｄ）過程は、繰り返し行われ、
前記（ａ）過程を再度行う前に、前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態を確認する過程をさらに含み、
前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材とが位置合わせがなされた状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、前記（ｂ）過程を省略し、以前に算出された前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を用いて、前記（ｃ）過程を行い、
前記第１の貼り合わせ部材と前記第２の貼り合わせ部材とが位置ずれした状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、前記（ｂ）過程を行い、新たに算出された前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を用いて、前記（ｃ）過程を行う請求項１１に記載の貼り合わせ方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法に関し、さらに詳しくは、上壁体部と下壁体部とを位置合わせして第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液晶表示装置（ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）及び有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ：Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ ｄｉｓｐｌａｙ）を始めとする多種多様なディスプレイ装置は、一般に、複層構造となっているため、製造に際して真空状態で基板を貼り合わせる工程を経ることになる。

【0003】

従来には、第１の基板と第２の基板とを貼り合わせる際に、ビジョンアラインカメラを用いて、第１の基板のマーカーと第２の基板のマーカーとを確認することにより、第１の基板のマーカーと第２の基板のマーカーとを整合させる第１の基板と第２の基板との位置合わせを行っていた。しかしながら、ウィンドウガラス（Ｗｉｎｄｏｗ ｇｌａｓｓ）とディスプレイパネル（Ｄｉｓｐｌａｙ ｐａｎｅｌ）との貼り合わせのように、第１の基板と第２の基板とが両方とも透明である場合は、第１の基板と第２の基板とにマーカーを形成することができないため、第１の基板と第２の基板とを位置合わせすることが困難になるという問題がある。

【0004】

また、従来は、第１の基板と第２の基板との水平の位置合わせのみを行っていたが、この場合は、第１の基板と第２の基板とを貼り合わせる際にいずれか一方の基板でも水平を保てなければ、第１の基板と第２の基板との貼り合わせ面が均一にならないといった様々な瑕疵が生じ、これは、ディスプレイ装置の全体の信頼性の低下につながる。

【0005】

すなわち、上壁体部と下壁体部とが位置合わせされなければ、上壁体部と下壁体部との間の傾斜誤差により、第１の基板と第２の基板とが平行にはならない。そこで、第１の基板と第２の基板とが平行でない状態で、第１の基板と第２の基板とを貼り合わせる場合は、第１の基板の取付け面と第２の基板の取付け面とが対向することができないため、第１の基板と第２の基板とが位置ずれの状態で貼り合わせられてしまうという問題が生じる。

【0006】

従って、第１の基板と第２の基板とを貼り合わせる際に、第１の基板と第２の基板とが平行にならないという問題を解決しながら、第１の基板と第２の基板との正確な位置合わせ工程によって貼り合わせ作業の正確性を確保することができる技術の開発が切望されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】韓国登録特許公報第１０−１０７３５５８号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との位置合わせのために上壁体部と下壁体部とを位置合わせして、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一実施形態に係る貼り合わせ装置は、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ装置において、第１の貼り合わせ部材が支持される第１の支持部を有する上壁体部と、第１の貼り合わせ部材と対向して第２の貼り合わせ部材が支持される第２の支持部を有し、上壁体部との組み合わせにより工程チャンバーを形成する下壁体部と、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とから、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を算出する位置情報取得部と、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部とを位置合わせするための制御情報を生成する制御部と、制御部から制御情報を引き渡されて、上壁体部と下壁体部との少なくとも一方の壁体部を他方の壁体部に対して相対的に移動する駆動部と、上壁体部と下壁体部との間隔を調整し、位置合わせされた状態で上壁体部と下壁体部とを組み合わせる間隔調整部とを備えていてもよい。

【0010】

位置情報取得部は、マークパターン付きパターン面を備え、上壁体部と下壁体部とにそれぞれ配設される上マークプレート及び下マークプレートと、上壁体部と下壁体部とをそれぞれ向くように配設され、それぞれに対向する上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影する上カメラ及び下カメラと、上カメラ及び下カメラが上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析して、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とに基づいて、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を生成する位置情報分析部とを備えていてもよい。

【0011】

上カメラは第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影し、下カメラは第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影し、位置情報分析部は、第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第１の特徴点イメージと、第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第２の特徴点イメージとを分析して、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材の特徴点同士の間の相対位置情報を取得し、制御部は、取得された特徴点同士の間の相対位置情報を上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に反映して制御情報を生成してもよい。

【0012】

位置情報は、一つの平面の上に存在する第１の軸及び第２の軸に沿って決定される第１の軸の線形位置情報及び第２の軸の線形位置情報と、平面の傾き度合いを示す傾斜情報とを含んでいてもよい。

【0013】

間隔調整部は、上壁体部と下壁体部とを組み合わせながら、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせてもよい。

【0014】

第１の支持部と第２の支持部との少なくとも一方は、それぞれに対応する第１の貼り合わせ部材又は第２の貼り合わせ部材に圧力を加えて、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる加圧部を備えていてもよい。

【0015】

マークパターンは、複数のマークがマットリックス状に配列されたマークマットリックスと、該マークマットリックスの外側に配置され、一つの円軌跡に位置する複数の円軌跡マークとを含んでいてもよい。

【0016】

位置情報分析部は、マークパターンイメージにおいて複数の円軌跡マークの位置を測定して、上壁体部と下壁体部との少なくとも一方の回転中心を算出してもよい。

【0017】

上マークプレートは第１の支持部の外縁部に配置され、下マークプレートは第２の支持部の外縁部に配置されてもよい。

【0018】

上マークプレート及び下マークプレートはクォーツ製であり、マークパターンは印刷されて形成されてもよい。

【0019】

本発明の他の実施形態に係る貼り合わせ方法は、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ方法において、（ａ）上壁体部の第１の支持部に第１の貼り合わせ部材を配設し、下壁体部の第２の支持部に第２の貼り合わせ部材を配設する過程と、（ｂ）上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とから、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を算出する過程と、（ｃ）上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部とを位置合わせする過程と、（ｄ）位置合わせされた上壁体部と下壁体部との間隔を調整して、上壁体部と下壁体部とを組み合わせる過程とを含んでいてもよい。

【0020】

貼り合わせ方法は、マークパターン付きパターン面を含む上マークプレート及び下マークプレートを上壁体部と下壁体部とにそれぞれ配設する過程をさらに含み、（ｂ）過程は、上壁体部と下壁体部とをそれぞれ向くように配設される上カメラ及び下カメラを用いて、それぞれに対向する上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影する過程と、上カメラ及び下カメラが上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析する過程と、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得する過程と、取得した上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とに基づいて、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を生成する過程とを含んでいてもよい。

【0021】

貼り合わせ方法は、上カメラ及び下カメラを用いて、第１の貼り合わせ部材の特徴点と、第２の貼り合わせ部材の特徴点とをそれぞれ撮影する過程と、第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第１の特徴点イメージと、第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第２の特徴点イメージとを分析して、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材の特徴点同士の間の相対位置情報を取得する過程とをさらに含み、（ｃ）過程は、取得された特徴点同士の間の相対位置情報を上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に反映して行ってもよい。

【0022】

（ｂ）過程は、一つの平面の上に存在する第１の軸及び第２の軸に沿って決定される第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報とを、上壁体部と下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程と、平面の傾き度合いを示す傾斜情報を、上壁体部と下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程とを含んでいてもよい。

【0023】

（ｄ）過程の間に、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせてもよい。

【0024】

貼り合わせ方法は、（ｄ）過程の後に、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる過程をさらに有してもよい。

【0025】

マークパターンは、複数のマークがマットリックス状に配列されたマークマットリックスと、マークマットリックスの外側に配置され、一つの円軌跡に位置する複数の円軌跡マークとを含み、マークパターンイメージを分析する過程は、マークパターンイメージにおいて複数の円軌跡マークの位置を測定する過程と、上壁体部と下壁体部との少なくとも一方の回転中心を算出する過程とを含んでいてもよい。

【0026】

（ａ）過程から（ｄ）過程は、繰り返し行われ、貼り合わせ方法は、（ａ）過程を再度行う前に、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態を確認する過程をさらに含み、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが位置合わせがなされた状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、（ｂ）過程を省略し、以前に算出された上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を用いて（ｃ）過程が行われ、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが位置ずれの状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、（ｂ）過程を行い、新たに算出された上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を用いて（ｃ）過程が行われてもよい。

【発明の効果】

【0027】

本発明の実施形態に係る貼り合わせ装置は、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得して算出された上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部とを位置を合わせることにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを精度良く位置を合わせることができる。従って、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との間の位置合わせの誤差を生じることなく、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを精度良く貼り合わせることができる。

【0028】

上壁体部と下壁体部とにそれぞれ配設される上マークプレート及び下マークプレートを上カメラ及び下カメラを用いてそれぞれ撮影し、撮影されたマークパターンイメージを分析することにより、高精細の上壁体部と下壁体部との位置情報を容易に取得することができる。

【0029】

また、上マークプレートを第１の支持部の外縁部に配置し、下マークプレートを第２の支持部の外縁部に配置することにより、上壁体部と下壁体部との組み合わせに際して干渉が起こることを防止できる。このため、上マークプレート及び下マークプレートを上壁体部と下壁体部とにそれぞれ固設することができ、上マークプレート及び下マークプレートの移動及び固設に伴って生じる組立て誤差、移動誤差及び振動の発生を防止できる。これにより、上壁体部と下壁体部との位置情報の精密度がなお一層向上する。

【0030】

一方、クォーツ製の上マークプレート及び下マークプレートにマークパターンを印刷して用いることにより、マークパターンの精細度が高くなる。また、高精細のマークパターンによりマークパターンイメージの解像度又は分解能が向上し、上壁体部と下壁体部との位置情報の精細度を最大化することができる。

【図面の簡単な説明】

【0031】

【図1】本発明の一実施形態に係る貼り合わせ装置を示す概略斜視図。

【図2】本発明の一実施形態に係る上壁体部と下壁体部との組み合わせ及び引き離しを説明する概念図。

【図3】本発明の一実施形態に係る第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との特徴点を説明する概念図。

【図4】本発明の一実施形態に係るマークパターンイメージにおけるマークパターンの形状の変化及びねじれを説明する概念図。

【図5】本発明の一実施形態に係る円軌跡マークを説明する概念図。

【図6】本発明の他の実施形態に係る貼り合わせ方法を示す手順図。

【発明を実施するための形態】

【0032】

以下、添付図面に基づいて、本発明の実施形態をより詳しく説明する。しかしながら、本発明は以下に開示される実施形態に何ら限定されるものではなく、異なる様々な形態に具体化され、単にこれらの実施形態は本発明の開示を完全たるものにし、通常の知識を有する者に発明の範囲を完全に知らせるために提供される。本発明を説明するに当たって、同一の構成要素に対しては同一の参照符号を付し、図面は、本発明の実施形態を正確に説明するために大きさが部分的に誇張されてもよく、図中、同一の符号は、同一の構成要素を示す。

【0033】

図１は本発明の一実施形態に係る貼り合わせ装置を示す概略斜視図であり、図２は本発明の一実施形態に係る上壁体部と下壁体部との組み合わせ及び引き離しを説明する概念図であって、図２（ａ）は上壁体部と下壁体部とが離れた状態を示し、図２（ｂ）は上壁体部と下壁体部とが組み合わせられた状態を示す。

【0034】

図１及び図２を参照すると、本発明の一実施形態に係る貼り合わせ装置１００は、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせる貼り合わせ装置１００において、第１の貼り合わせ部材１１が支持される第１の支持部１１１を有する上壁体部１１０と、第１の貼り合わせ部材１１と対向して第２の貼り合わせ部材１２が支持される第２の支持部１２１とを備え、上壁体部１１０との組み合わせにより工程チャンバーを形成する下壁体部１２０と、上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とから、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報を算出する位置情報取得部（図示せず）と、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを位置合わせするための制御情報を生成する制御部（図示せず）と、制御情報を制御部（図示せず）から引き渡されて、上壁体部１１０と下壁体部１２０との少なくとも一方の壁体部を他方の壁体部に対して相対的に移動する駆動部（図示せず）と、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間隔を調整し、位置合わせされた状態で上壁体部１１０と下壁体部１２０とを組み合わせる間隔調整部（図示せず）とを備えていてもよい。

【0035】

上壁体部１１０は、第１の貼り合わせ部材１１が支持される第１の支持部１１１を備えていてもよく、工程チャンバー又は真空チャンバーの上側部分をなす構成要素であってもよく、工程チャンバーの上壁をなす上壁部と、側壁の上側部分をなす側壁部とから構成されてもよい。ここで、上壁部は、全体に矩形状のプレート形状を呈してもよく、側壁部は、上壁部の周縁部分に沿って下側に折り曲げられて形成され、工程チャンバーの側壁をなしてもよい。このとき、側壁部は、上壁部と一体に形成されてもよく、別々に作製されて組み合わせられる構造を有してもよい。

【0036】

第１の支持部１１１は、第１の貼り合わせ部材１１を支持してもよく、該第１の貼り合わせ部材１１の取付け面（又は貼り合わせ面）を除く残りの面のうちの少なくとも一部（又は一部の面）を支持して第１の貼り合わせ部材１１の取付け面を露出してもよい。第１の支持部１１１の構造は、特に限定されず、第１の貼り合わせ部材１１の取付け面を露出しながら、第１の貼り合わせ部材１１を安定的に支持できればよい。ここで、第１の貼り合わせ部材１１は、ウィンドウガラス（Ｗｉｎｄｏｗ ｇｌａｓｓ）又はカバーガラス（Ｃｏｖｅｒ ｇｌａｓｓ）を含んでいてもよい。

【0037】

下壁体部１２０は、第１の貼り合わせ部材１１と対向して第２の貼り合わせ部材１２を支持する第２の支持部１２１を備えていてもよく、工程チャンバーの下側部分をなす構成要素であって、上壁体部１１０と組み合わせられて工程チャンバーを形成してもよく、全体に四角筒状を呈してもよい。例えば、下壁体部１２０は、工程チャンバーの下壁をなす下壁部と、側壁の下側部分をなす側壁部とから構成されてもよい。

【0038】

第２の支持部１２１は、第２の貼り合わせ部材１２を支持してもよく、第２の貼り合わせ部材１２の取付け面を除く残りの面のうちの少なくとも一部を支持して第２の貼り合わせ部材１２の取付け面を露出してもよい。第２の支持部１２１の構造は、特に限定されず、第２の貼り合わせ部材１２の取付け面を露出しながら、第２の貼り合わせ部材１２を安定的に支持できればよい。ここで、第２の貼り合わせ部材１２は、ディスプレイパネル（Ｄｉｓｐｌａｙ ｐａｎｅｌ）又はタッチスクリーンパネル（Ｔｏｕｃｈ Ｓｃｒｅｅｎ Ｐａｎｅｌ）を備えていてもよく、フレキシブルな（ｆｌｅｘｉｂｌｅ）ディスプレイパネルであってもよい。

【0039】

位置情報取得部（図示せず）は、上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とをそれぞれ取得してもよく、それぞれ取得された上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とから、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報を算出してもよい。このようにして生成された上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報は、駆動部（図示せず）を制御する制御部（図示せず）に引き渡されてもよい。

【0040】

制御部（図示せず）は、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置を合わせるための制御情報を生成してもよい。制御部（図示せず）は、制御情報を駆動部（図示せず）に引き渡して駆動部（図示せず）を制御してもよく、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置を合わせてもよい。すなわち、制御部（図示せず）は、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報に基づいて、いずれか一方の壁体部を相対的に移動して、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置を合わせるように駆動部（図示せず）を制御してもよい。制御部（図示せず）は、上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とを引き渡され、貼り合わせ作業が行われるべき第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とがそれぞれ支持された上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置を合わせるように制御情報を生成してもよい。ここで、制御部（図示せず）は、種々の方法で上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とを引き渡されてもよい。

【0041】

駆動部（図示せず）は、制御情報を制御部（図示せず）から引き渡されて上壁体部１１０と下壁体部１２０との少なくとも一方の壁体部を移動してもよく、少なくとも一方の壁体部を、水平状態に対して前後左右方向の水平駆動及び回転駆動で駆動してもよい。このとき、上壁体部１１０と下壁体部１２０とのいずれか一方の壁体部１１０又は１２０を、他方の壁体部１２０又は１１０に対して相対的に移動してもよい。例えば、上壁体部１１０を固定して、該上壁体部１１０を基準として下壁体部１２０を上壁体部１１０に対して相対的に移動してもよい。ここで、駆動部（図示せず）の具体的な構成は、一般に採用可能な構造を有してもよく、これについての詳細な説明は省略する。

【0042】

間隔調整部（図示せず）は、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間隔を調整してもよい。ここで、間隔調整部（図示せず）は、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との貼り合わせのために、上壁体部１１０と下壁体部１２０とが互いの位置を合わされた状態で、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを組み合わせてもよく、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを引き離してもよい。例えば、間隔調整部（図示せず）は、昇降装置の形態に構成されて、上壁体部１１０及び下壁体部１２０の少なくとも一方を昇降させてもよく、これにより、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間隔を調整してもよい。

【0043】

上壁体部１１０と下壁体部１２０とを組み合わせることにより工程チャンバーを形成してもよく、工程チャンバーの内部を真空引きして貼り合わせ工程を行ってもよい。間隔調整部（図示せず）による上壁体部１１０と下壁体部１２０との組み合わせによって、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とが接触してもよく、貼り合わされてもよい。一方、上壁体部１１０と下壁体部１２０とが組み合わせられた後、第１の支持部１１１及び第２の支持部１２１の少なくとも一方が昇降して、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせてもよい。

【0044】

第１の支持部１１１と第２の支持部１２１との少なくとも一方は、それと対応する第１の貼り合わせ部材１１及び／又は第２の貼り合わせ部材１２に圧力を加えて、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせる加圧部を備えていてもよい。加圧部は、第１の支持部１１１及び第２の支持部１２１の少なくとも一方を駆動することにより、それと対応する第１の貼り合わせ部材１１及び／又は第２の貼り合わせ部材１２を加圧して第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせてもよい。加圧部は、上壁体部１１０及び下壁体部１２０の少なくとも一方の昇降により、それと対応する第１の貼り合わせ部材１１及び／又は第２の貼り合わせ部材１２を加圧して、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせてもよい。

【0045】

例えば、上壁体部１１０と下壁体部１２０との組み合わせにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを接触させた後、流体（例えば、水又は空気等）を供給することにより加圧部を膨らませ、第１の貼り合わせ部材１１及び第２の貼り合わせ部材１２の少なくとも一方を加圧してもよい。また、加圧部が弾性を有し、上壁体部１１０と下壁体部１２０との組み合わせにより、加圧部が押圧されながらその弾性力を用いて、第１の貼り合わせ部材１１及び第２の貼り合わせ部材１２の少なくとも一方を加圧してもよい。

【0046】

一方、間隔調整部（図示せず）は、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを組み合わせながら、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせてもよい。これにより、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを組み合わせる駆動力を用いて、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを一度に貼り合わせることができるので、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との貼り合わせのための工程時間が短縮される。

【0047】

従来、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との特徴点（例えば、マーカー）を用いて第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との水平の位置合わせのみを行っていた。このため、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置合わせがなされなければ、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の傾斜誤差により第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とが平行にならなくなる。このように、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とが平行になっていない状態で、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせる場合は、第１の貼り合わせ部材１１の取付け面と第２の貼り合わせ部材１２の取付け面とが所定通りに対向できない。このため（又は向きが互いに異なるため）、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との互いの位置がずれた状態で貼り合わされてしまう。

【0048】

しかしながら、本発明においては、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置情報に基づいて、上壁体部１１０と下壁体部１２０とのいずれか一方の壁体部を他方の壁体部に対して相対的に移動して、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを位置合わせすることにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との水平の位置合わせだけではなく、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを平行に（又は並ぶように）することができ、第１の貼り合わせ部材１１の取付け面と第２の貼り合わせ部材１２の取付け面とが対向することができる。これにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との位置を精度良く合わせることができる。すなわち、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との間の位置合わせに誤差を生じることがない。

【0049】

位置情報取得部（図示せず）は、マークパターン１３１付きパターン面を備え、上壁体部１１０と下壁体部１２０とにそれぞれ配設される上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂと、上壁体部１１０と下壁体部１２０とをそれぞれ向くように配設され、それぞれに対向する上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂをそれぞれ撮影する上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂと、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂが上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析して、上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とに基づいて、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報を生成する位置情報分析部（図示せず）とをさらに備えていてもよい。

【0050】

上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂは、マークパターン１３１付きパターン面を備えていてもよく、上壁体部１１０と下壁体部１２０とにそれぞれ配設されてもよい。上マークプレート１３０ａは、マークパターン１３１付きパターン面が下側を向くように上壁体部１１０に配設されてもよく、上マークプレート１３０ａのパターン面は、第１の貼り合わせ部材１１の支持面と並んでいてもよく、また、平行であってもよい。例えば、上マークプレート１３０ａは、上壁体部１１０の上壁部と並ぶように配設されてもよく、上壁体部１１０と係合されて支持されてもよい。

【0051】

下マークプレート１３０ｂは、パターン面が上側を向くように下壁体部１２０に配設されてもよく、下マークプレート１３０ｂのパターン面は、第２の貼り合わせ部材１２の支持面と並んでいてもよい。例えば、下マークプレート１３０ｂは、下壁体部１２０の下壁部と並ぶように配設されてもよく、下壁体部１２０と係合されて支持されてもよい。

【0052】

上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂは、上壁体部１１０と下壁体部１２０とをそれぞれ向くように配設され、それぞれに対向する上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂをそれぞれ撮影してもよい。このとき、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂは、上側と下側とをそれぞれ向くように組み立てられてカメラ組立体をなしてもよく、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間に配設されてもよい。

【0053】

上カメラ１４０ａは、上壁体部１１０を向くように配設されてもよく、上マークプレート１３０ａに対向してパターン面を向く方向（例えば、パターン面と垂直な方向）から上マークプレート１３０ａを撮影することができ、上マークプレート１３０ａのマークパターンイメージを得ることができる。

【0054】

下カメラ１４０ｂは、下壁体部１２０を向くように配設されてもよく、下マークプレート１３０ｂに対向してパターン面を向く方向から下マークプレート１３０ｂを撮影することができ、下マークプレート１３０ｂのマークパターンイメージを得ることができる。

【0055】

位置情報分析部（図示せず）は、上カメラ１４０ａが上マークプレート１３０ａを撮影した上マークプレート１３０ａのマークパターンイメージと、下カメラ１４０ｂが下マークプレート１３０ｂを撮影した下マークプレート１３０ｂのマークパターンイメージとを分析して、上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とをそれぞれ取得してもよい。位置情報分析部（図示せず）は、それぞれ取得された上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とに基づいて、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報を生成してもよい。上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度又は傾斜とに応じてマークパターンイメージにおけるマークパターン１３１の形状が異なる。このため、マークパターンイメージにおけるマークパターン１３１の形状を分析して上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置ずれ（例えば、傾き）を知ることができる。これにより、上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とを取得することができる。このようにして取得した上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報との差分を計算して、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報を算出することができる。

【0056】

本発明においては、上壁体部１１０と下壁体部１２０とにそれぞれ配設される上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂを、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂを用いてそれぞれ撮影し、撮影されたマークパターンイメージを分析することにより、上壁体部１１０と下壁体部１２０との高精細の位置情報を容易に取得することができる。

【0057】

図３は本発明の一実施形態に係る第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との特徴点を説明するための概念図であり、図３（ａ）は第１の貼り合わせ部材の特徴点を示し、図３（ｂ）は第２の貼り合わせ部材の特徴点を示し、図３（ｃ）は第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との特徴点同士の間の相対位置を示す。

【0058】

図３を参照すると、上カメラ１４０ａは、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａを撮影してもよく、下カメラ１４０ｂは、第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａを撮影してもよい。第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａを撮影した第１の特徴点のイメージと、第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａを撮影した第２の特徴点のイメージとを用いて、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａと第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａとの互いの位置を比較する。これにより、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａと第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａとの位置ずれ（又はねじれ）を確認することができる。

【0059】

ここで、特徴点は、マーカー（ｍａｒｋｅｒ）であってもよく、貼り合わせ部材（第１の貼り合わせ部材及び第２の貼り合わせ部材の少なくとも一方）の頂点又は辺間の交点であってもよい。例えば、第１の貼り合わせ部材１１は、ウィンドウガラス又はカバーガラスであってもよく、透明な部分と不透明な（又は黒色の）ベゼル（ｂｅｚｅｌ）とを含んでいてもよい。第２の貼り合わせ部材１２は、ディスプレイパネル又はタッチスクリーンパネルから透明に形成されてもよい。この場合、第１の貼り合わせ部材１１及び第２の貼り合わせ部材１２の少なくとも一方には、マーカーを表示することができないため、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とのそれぞれの辺間の交差点を特徴点とすることができる。このとき、マーカーがないため、マーカーを見て第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを位置合わせすることができない。従って、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを位置合わせすることにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせることが重要である。本発明においては、上壁体部１１０と下壁体部１２０との互いの位置を合わせることにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との互いの位置合わせを行うことなく、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを貼り合わせることができる。

【0060】

位置情報分析部（図示せず）は、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａを撮影した第１の特徴点イメージと、第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａを撮影した第２の特徴点イメージとを分析して、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との特徴点同士の間の相対位置情報を取得してもよい。制御部（図示せず）は、取得された特徴点同士の間の相対位置情報を上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報に反映して制御情報を生成してもよい。位置情報分析部（図示せず）は、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａを撮影した第１の特徴点イメージと、第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａを撮影した第２の特徴点イメージとを分析してもよい。これにより、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点の位置情報と、第２の貼り合わせ部材１２の特徴点の位置情報とを知ることができる。従って、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点の位置情報と、第２の貼り合わせ部材１２の特徴点の位置情報との差分を計算することにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との特徴点同士の間の相対位置情報を取得することができる。

【0061】

ここで、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａと第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａとは、それぞれ複数であってもよく、複数の第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａがなす平面と、複数の第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａがなす平面との、互いにねじれ度合いを計算してもよい。これにより、複数の第１の貼り合わせ部材１１の特徴点１１ａがなす平面と、複数の第２の貼り合わせ部材１２の特徴点１２ａがなす平面との互いにねじれ度合いを示す回転位置情報（例えば、θ値）を取得することができる。ここで、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との特徴点同士の間の相対位置情報は、回転位置情報を含んでいてもよい。このとき、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との互いのねじれ度合いを正確に計算できるように、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とのそれぞれは、各頂点又は辺ごとに一つずつ、併せて４個の特徴点１１ａ又は１２ａを有することが好ましい。

【0062】

制御部（図示せず）は、取得された特徴点同士の間の相対位置情報を、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の相対位置情報に反映して制御情報を生成してもよく、生成された制御情報を用いて駆動部（図示せず）を制御してもよい。例えば、制御部（図示せず）は、いずれか一方の壁体部を相対的に移動して、上壁体部１１０と下壁体部１２０、及び第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とが、それぞれ位置合わせされるように駆動部（図示せず）を制御してもよい。第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との間に位置合わせの誤差を生じないように、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを精度良く貼り合わせるには、上壁体部１１０と下壁体部１２０との互いの位置を合わせすることにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２とを平行にするだけではなく、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との位置合わせ（又は水平の位置合わせ）を行うことも必要である。これにより、取得された第１の貼り合わせ部材１１の特徴点と第２の貼り合わせ部材１２の特徴点との間の相対位置情報を反映して、いずれか一方の壁体部を相対的に移動することができる。これにより、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との位置合わせを精度良く行うことができる。その結果、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との間の位置合わせに誤差を生じることがない。

【0063】

図４は本発明の一実施形態に係るマークパターンイメージにおけるマークパターンの形状の変化及びねじれを説明するための概念図であって、図４（ａ）はカメラの光軸とパターン面とが垂直である状態を示し、図４（ｂ）はカメラの光軸に対してパターン面が傾いた状態を示す。

【0064】

図４を参照すると、位置情報分析部（図示せず）は、マークパターンイメージに写されたマークパターン１３１の形状の変化及びねじれを測定して、上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とを取得してもよい。位置情報分析部（図示せず）は、マークパターンイメージに写されたマークパターン１３１の形状の変化及びねじれを測定してもよい。これにより、上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とを取得することができる。上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂの少なくとも一方の光軸とパターン面とが垂直である状態でマークパターンイメージが撮影される場合は、図４（ａ）に示すように、マークパターンイメージにおいて、マークパターン１３１が元の形状の通りに２次元平面（２Ｄ平面）にスムーズに写される。しかしながら、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂの少なくとも一方の光軸に対して、パターン面が傾いた状態でマークパターンイメージが撮影される場合は、図４（ｂ）に示すように、マークパターンイメージにおいて、マークパターン１３１が元の形状の通りに写されず、マークパターン１３１の形状が異なってしまう。

【0065】

上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度とに応じて、マークパターンイメージにおけるマークパターン１３１の形状が異なってくる。これにより、マークパターンイメージに写されたマークパターン１３１の形状の変化及びねじれを測定して、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度とを計算することができる。計算された上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度、及び上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂの少なくとも一方の位置座標に基づいて、基準軸に対する上壁体部１１０の位置情報と下壁体部１２０の位置情報とを取得することができる。

【0066】

位置情報は、一つの平面の上に存在する第１の軸及び第２の軸に沿って決定される、第１の軸の線形位置情報、第２の軸の線形位置情報、及び平面の傾き度合いを示す傾斜情報を含んでいてもよい。上壁体部１１０と下壁体部１２０とのそれぞれに対して、第１の軸の線形位置情報（例えば、第１の軸座標値）、第２の軸の線形位置情報（例えば、第２の軸座標値）及び傾斜情報（例えば、φ値）を取り出してもよい。このようにして取り出されたそれぞれの第１の軸の線形位置情報、第２の軸の線形位置情報及び傾斜情報を用いて、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置情報を取得することができる。第１の軸の線形位置情報、第２の軸の線形位置情報及び傾斜情報を用いて、いずれか一方の壁体部を第１の軸の方向及び第２の軸の方向に線形移動させる。その後、上壁体部１１０の第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報、及び下壁体部１２０の第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報によって決定される平面のねじれ度合いが調整されるように、いずれか一方の壁体部を回転して、上壁体部１１０と下壁体部１２０とを位置合わせしてもよい。ここで、第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報とは、方向情報と距離情報とを含んでいてもよい。一方、平面の傾斜を調整して、上壁体部１１０と下壁体部１２０とが互いに平行となるように傾斜情報を用いて、いずれか一方の壁体部をチルト（ｔｉｌｔｉｎｇ）してもよい。

【0067】

位置情報は、平面のねじれ度合いを示す回転位置情報（例えば、θ値）をさらに含んでいてもよく、上壁体部１１０の第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報、及び下壁体部１２０の第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報により算出されてもよい。このとき、複数の上マークプレート１３０ａ及び複数の下マークプレート１３０ｂを用いて、複数の上マークプレート１３０ａがなす平面と、複数の下マークプレート１３０ｂがなす平面とのねじれ度合いを計算して回転位置情報を算出してもよい。ここで、上壁体部１１０と下壁体部１２０とのねじれ度合いを正確に計算できるように、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂのそれぞれは、上壁体部１１０と下壁体部１２０とのそれぞれの各頂点又は辺ごとに、一つずつ合計で４個ずつであることが好ましい。

【0068】

例えば、駆動部（図示せず）は、ｘ軸、ｙ軸及びθの方向の３軸の方向にいずれか一方の壁体部を相対的に移動してもよく、いずれか一方の壁体部が、ｘ軸、ｙ軸の方向はもとより、θの方向にも他方の壁体部に対して位置合わせが行われてもよい。駆動部（図示せず）は、上壁体部１１０と下壁体部１２０とが位置合わせされていない場合は、いずれか一方の壁体部をｘ、ｙ及びθの方向に微調整しながら、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置を合わせする位置合わせ作業を行ってもよい。このようにして、位置合わせ作業が終わった後には、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との水平移動又は回転移動が行われなくてもよく、位置合わせの位置がねじれる可能性がないことがある。駆動部（図示せず）は、第１の軸駆動部、第２の軸駆動部及び軸回転部を備えていてもよい。第１の軸駆動部は、いずれか一方の壁体部を第１の軸の方向に線形移動させて、その一方の壁体部を第１の軸の方向に位置合わせしてもよい。また、第２の軸駆動部は、いずれか一方の壁体部を第２の軸の方向に移動して、その一方の壁体部を第２の軸の方向に位置合わせしてもよい。軸回転部は、いずれか一方の壁体部をθの方向に回転して、上壁体部１１０と下壁体部１２０とがθの方向にねじれないように位置合わせしてもよい。

【0069】

一方、駆動部（図示せず）は、いずれか一方の壁体部をφの方向に相対的に移動してもよく、チルト部をさらに備えていてもよい。いずれか一方の壁体部をφの方向に相対移動又は回転して、その一方の壁体部をチルトしてもよく、上壁体部１１０と下壁体部１２０と（すなわち、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材）を平行にしてもよい。

【0070】

上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂは移動可能に設置されて、上壁体部１１０と下壁体部１２０との組み合わせに際して、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の空間から逸脱してもよい。上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂは移動可能に設置され、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂの少なくとも一方が複数形成される場合は、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂが移動しながら、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂのうち複数のマークプレートを撮影してもよい。また、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂは、上壁体部１１０と下壁体部１２０との組み合わせに際して干渉しないように移動して、上壁体部１１０と下壁体部１２０との間の空間から逸脱（又は離脱）してもよい。この場合、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂが上壁体部１１０と下壁体部１２０との組み合わせに際して干渉しない。これにより、上壁体部１１０と下壁体部１２０との組み合わせにより、内部の真空引きをスムーズに行うことができ、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との貼り合わせがスムーズに行われる。

【0071】

なお、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂの少なくとも一方が複数形成されなければ、複数の軸（例えば、第１の軸と第２の軸）に対する位置合わせが行われないため、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂを複数形成することが好ましい。

【0072】

マークパターン１３１は、複数のマーク１３１ａがマットリックス状に配列されたマークマットリックスと、マークマットリックスの外側に配置され、一つの円軌跡に位置する複数の円軌跡マーク１３１ｂとを備えていてもよい。マークマットリックスは、同一形状の複数のマーク１３１ａがマットリックス状に配列されてもよく、複数のマーク１３１ａの間に、第１の方向の間隔が同一であり、且つ、第１の方向と交差する第２の方向の間隔が同一であってもよい。マークマットリックスを含むマークパターン１３１を撮影してマークパターンイメージを取得すれば、取得されたマークパターンイメージにおけるマーク１３１ａの形状の変化及びねじれを測定して、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度とを計算してもよい。また、計算された上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度、及び上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂの少なくとも一方の位置座標に基づいて、基準軸に対する上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置情報を取得してもよい。これにより、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置ずれを算出することができる。

【0073】

また、取得されたマークパターンイメージにおけるマーク１３１ａの大きさ又は間隔を測定して、上カメラ１４０ａ及び下カメラ１４０ｂのうち、取得されたマークパターンイメージを撮影したカメラの倍率及び分解能を計算してもよい。これにより、第１の特徴点イメージと第２の特徴点イメージとにおいて、第１の貼り合わせ部材１１の特徴点と第２の貼り合わせ部材１２の特徴点との位置に差が出る場合は、位置合わせのために、実際に移動すべき距離を算出することができる。

【0074】

一方、複数のマーク１３１ａがマットリックス状に配列されたマークマットリックスを分析すれば、平面の方程式をなす座標を取得することができ、変換行列を得ることができる。

【0075】

図５は本発明の一実施形態に係る円軌跡マークを説明するための概念図である。

【0076】

図５を参照すると、複数の円軌跡マーク１３１ｂは、マークマットリックスの外側に配置されてもよく、一つの円軌跡に位置してもよい。上マークプレート１３０ａと下マークプレート１３０ｂのうち、同一のマークプレート１３０ａ又は１３０ｂに形成された複数の円軌跡マーク１３１ｂを互いにつなぐと、一つの円を形成することができる。このようにして形成される円の中心を用いて、上壁体部１１０と下壁体部１２０とのうち、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心を取り出すことができる。このとき、複数の円軌跡マーク１３１ｂが形成する円の中心は、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心と同一であることが好ましい。この場合、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転に伴う傾斜の変化が、同一のマークプレートの傾斜の変化に適切に反映することが可能であり、θの方向を円滑に算出することができる。

【0077】

位置情報分析部（図示せず）は、マークパターンイメージにおける複数の円軌跡マーク１３１ｂの位置を測定して、上壁体部１１０と下壁体部１２０との少なくとも一方の回転中心を算出してもよい。このため、位置情報は、平面の回転中心の位置情報をさらに含むことができ、いずれか一方の壁体部をθの方向に回転したり、φの方向にチルトしたりする場合に用いることができる。複数の円軌跡マーク１３１ｂが形成する円の中心が、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心と同一である場合は、複数の円軌跡マーク１３１ｂが形成する円の中心を同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心として取り出してもよい。複数の円軌跡マーク１３１ｂが形成する円の中心が、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心とは異なる場合は、複数の円軌跡マーク１３１ｂが形成する円の中心と同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心との位置の差を用いて、上壁体部１１０と下壁体部１２０との少なくとも一方の壁体部の回転中心を算出してもよい。少なくとも一方の壁体部が回転中心を中心として回転すれば、複数の円軌跡マーク１３１ｂが形成する円の中心と同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心との位置の差が変化することがある。これを反映して、たとえ少なくとも一方の壁体部が回転中心を中心として回転したとしても、上壁体部１１０と下壁体部１２０との少なくとも一方の壁体部の回転中心を算出することができる。このため、少なくとも一方の壁体部の回転中心を用いて、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転に伴う傾斜の変化を計算することができ、θの方向を適切に算出することができる。さらに、上壁体部１１０と下壁体部１２０との回転中心を位置合わせ（又は整合）して、いずれか一方の壁体部をθの方向に回転するか若しくはφ方向にチルトするか、又はこれらの回転及びチルトの両方を行ってもよい。

【0078】

上マークプレート１３０ａは、第１の支持部１１１の外縁部に配置されてもよく、下マークプレート１３０ｂは、第２の支持部１２１の外縁部に配置されてもよい。これにより、上壁体部１１０と下壁体部１２０との組み合わせに際して干渉が起こることを防止でき、従って、第１の貼り合わせ部材１１と第２の貼り合わせ部材１２との貼り合わせ工程において相互に干渉が起こることを防止することができる。これにより、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂを、上壁体部１１０と下壁体部１２０とにそれぞれ固設することができる。これにより、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂの移動及び固設に伴って生じる組立て誤差、移動誤差及び振動の発生を防止することができ、誤差の発生を抑えて、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置情報の精細度をより一層向上することができる。また、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂが、上壁体部１１０と下壁体部１２０とにそれぞれ固設されることにより、連続した貼り合わせ工程を行う間に、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂをそれぞれリアルタイムで撮影し、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置情報を新たに（又は再び）取得して更新することができる。

【0079】

上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂはクォーツ（ｑｕａｒｔｚ）製であってもよく、マークパターン１３１は印刷されて形成されてもよい。金属（ｍｅｔａｌ）素材を用いる場合は、上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂの撮影の際に光が反射されて、鮮明なマークパターンイメージを得られなくなる虞がある。また、プレートを加工することにより孔を形成して、マークパターン１３１を形成する場合は、加工の誤差によって、マークパターン１３１の精細度が低くなってしまうという問題がある。

【0080】

しかしながら、本発明においては、クォーツ製の上マークプレート１３０ａ及び下マークプレート１３０ｂにマークパターン１３１をインキ等で印刷して用いることにより、マークパターン１３１の精細度が高くなる。また、高精細度のマークパターン１３１により、マークパターンイメージの解像度（又は分解能）が向上し、上壁体部１１０と下壁体部１２０との位置情報の精細度を最大化することもできる。印刷によりマークパターン１３１を形成する場合は、印刷の精細度が高いので、マークパターン１３１の精細度が向上し、クォーツ素材に印刷が行われる場合は、印刷がさらに好適に行われ、マークパターン１３１の剥離が生じない。また、印刷の場合は、マークパターン１３１の色を容易に調整することができ、マークパターン１３１の色を黒色にする場合は、マークパターン１３１が光を吸収してマークパターン１３１の視認性がより一層向上する。また、マークパターン１３１が印刷された部分においては光が吸収される一方、マークパターン１３１が印刷されていない部分においては透明であり、光が透過されるので、マークパターンイメージにおけるマークパターン１３１の境界が明確（鮮明）となる。

【0081】

図６は本発明の他の実施形態に係る貼り合わせ方法を示す手順図である。

【0082】

図６に基づいて、本発明の他の実施形態に係る貼り合わせ方法を詳述する。但し、本発明の一実施形態に係る貼り合わせ装置に関連して、上述した部分と重複する事項は省略する。

【0083】

本発明の他の実施形態に係る貼り合わせ方法は、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ方法において、（ａ）上壁体部の第１の支持部に第１の貼り合わせ部材を配設し、下壁体部の第２の支持部に第２の貼り合わせ部材を配設する過程（Ｓ１００）と、（ｂ）上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とから、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を算出する過程（Ｓ２００）と、（ｃ）上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部とを位置合わせする過程（Ｓ３００）と、（ｄ）位置合わせされた上壁体部と下壁体部との間隔を調整して、上壁体部と下壁体部とを組み合わせる過程（Ｓ４００）とを含んでいてもよい。

【0084】

まず、上壁体部の第１の支持部に第１の貼り合わせ部材を配設し、下壁体部の第２の支持部に第２の貼り合わせ部材を配設する（Ｓ１００）。第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせるために、第１の貼り合わせ部材を上壁体部の第１の支持部に配設（又は支持）してもよく、第２の貼り合わせ部材を下壁体部の第２の支持部に配設してもよい。このとき、第１の貼り合わせ部材を先に支持してもよく、これとは逆に、第２の貼り合わせ部材を先に支持してもよい。また、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材を同時に支持してもよい。

【0085】

次に、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とから、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を算出する（Ｓ２００）。上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部とを位置合わせするために、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得してもよい。その後、それぞれ取得された上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とから、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を算出してもよい。

【0086】

一方、（ａ）過程（Ｓ１００）よりも先に（ｂ）過程（Ｓ２００）を行ってもよく、（ａ）過程（Ｓ１００）と（ｂ）過程（Ｓ２００）を同時に行ってもよい。

【0087】

次に、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部とを位置合わせする（Ｓ３００）。上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部とのいずれか一方の壁体部を他方の壁体部に対して相対的に移動して、上壁体部と下壁体部とを位置合わせしてもよい。これにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との水平の位置合わせを行うことができるだけではなく、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを平行にすることができる。その結果、第１の貼り合わせ部材の取付け面と第２の貼り合わせ部材の取付け面とが対向することができる。これにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを精度良く位置合わせすることができ、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との間の位置合わせの誤差を生じなくなる。

【0088】

上述のように、位置合わせされた上壁体部と下壁体部との間隔を調整して上壁体部と下壁体部とを組み合わせてもよい（Ｓ４００）。互いの位置を合わされた上壁体部と下壁体部とを組み合わせて、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせのための工程チャンバーを形成してもよく、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせてもよい。ここで、上壁体部と下壁体部との間隔の調整がなされた上壁体部と下壁体部との組み合わせにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが貼り合わせられてもよい。また、上壁体部と下壁体部とを組み合わせて工程チャンバーを形成した後、第１の支持部及び第２の支持部の少なくとも一方の昇降により別途の貼り合わせ工程を行って、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせてもよい。

【0089】

（ｄ）過程（Ｓ４００）の間に、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせてもよい。これにより、上壁体部と下壁体部とを組み合わせる駆動力によって、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを一度に貼り合わせることができるので、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせのための工程時間を短縮することができる。

【0090】

また、（ｄ）過程（Ｓ４００）の後に、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせる過程（Ｓ４５０）をさらに含んでいてもよい。

【0091】

すなわち、（ｄ）過程（Ｓ４００）の後に、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせてもよい（Ｓ４５０）。第１の支持部及び第２の支持部の少なくとも一方の駆動によって、この駆動に対応する第１の貼り合わせ部材及び第２の貼り合わせ部材を加圧して、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせてもよい。

【0092】

例えば、上壁体部と下壁体部との組み合わせにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを接触させた後、流体（例えば、水又は空気等）を供給することにより加圧部等を膨らませて、第１の貼り合わせ部材及び第２の貼り合わせ部材の少なくとも一方を加圧してもよい。

【0093】

本発明に係る貼り合わせ方法は、マークパターン付きパターン面を含む上マークプレート及び下マークプレートを、上壁体部と下壁体部とにそれぞれ配設する過程（Ｓ１５０）をさらに含んでいてもよい。また、（ｂ）過程（Ｓ２００）は、上壁体部と下壁体部とをそれぞれ向くように配設される上カメラ及び下カメラを用いて、それぞれに対向する上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影する過程（Ｓ２１０）と、上カメラ及び下カメラが上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析する過程（Ｓ２２０）と、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得する過程（Ｓ２３０）と、取得した上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とに基づいて、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を生成する過程（Ｓ２４０）とを含んでいてもよい。

【0094】

従って、マークパターン付きパターン面を含む上マークプレート及び下マークプレートを上壁体部と下壁体部とにそれぞれ配設してもよい（Ｓ１５０）。上壁体部と下壁体部との位置情報を容易に取得できるように、上マークプレート及び下マークプレートを、上壁体部と下壁体部とにそれぞれ配設してもよい。

【0095】

それぞれ配設する過程（Ｓ１５０）の後に、上壁体部と下壁体部とをそれぞれ向くように配設される上カメラ及び下カメラを用いて、それぞれに対向する上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影してもよい（Ｓ２１０）。上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析するために、上カメラ及び下カメラを用いて、それぞれに対向する上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影してもよい。

【0096】

上カメラ及び下カメラが、上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析してもよい（Ｓ２２０）。上壁体部と下壁体部とにそれぞれ配設される上マークプレート及び下マークプレートを、上カメラ及び下カメラを用いてそれぞれ撮影し、撮影されたマークパターンイメージを分析することにより、上壁体部と下壁体部との高精細度の位置情報を容易に取得することができる。

【0097】

次に、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれに取得してもよい（Ｓ２３０）。マークパターンイメージを分析して、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得してもよく、取得した上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とに基づいて、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を計算してもよい。上カメラ及び下カメラの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度又は傾斜とに応じて、マークパターンイメージにおけるマークパターンの形状が異なってくる。これにより、マークパターンイメージにおけるマークパターンの形状を分析して、上壁体部と下壁体部との位置ずれ（例えば、傾き）を知ることができる。これにより、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とを取得することができる。

【0098】

次に、取得した上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とに基づいて、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を生成してもよい（Ｓ２４０）。このようにして取得した上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報との差分を計算して、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を算出してもよい。

【0099】

本発明に係る貼り合わせ方法は、上カメラ及び下カメラを用いて、第１の貼り合わせ部材の特徴点と、第２の貼り合わせ部材の特徴点とをそれぞれ撮影する過程（Ｓ２５０）と、第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第１の特徴点イメージと、第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第２の特徴点イメージとを分析して、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材の特徴点同士の間の相対位置情報を取得する過程（Ｓ２６０）とをさらに含んでいてもよい。また、（ｃ）過程（Ｓ３００）は、取得された特徴点同士の間の相対位置情報を上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に反映して行ってもよい。

【0100】

上カメラ及び下カメラを用いて、第１の貼り合わせ部材の特徴点と、第２の貼り合わせ部材の特徴点とをそれぞれ撮影してもよい（Ｓ２５０）。すなわち、第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第１の特徴点イメージと、第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第２の特徴点イメージとを用いて、第１の貼り合わせ部材の特徴点の位置と、第２の貼り合わせ部材の特徴点の位置とを比較するために、第１の貼り合わせ部材の特徴点と、第２の貼り合わせ部材の特徴点とをそれぞれ撮影してもよい。

【0101】

次に、第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第１の特徴点イメージと、第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第２の特徴点イメージとを分析して、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との特徴点同士の間の相対位置情報を取得してもよい（Ｓ２６０）。第１の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第１の特徴点イメージと、第２の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第２の特徴点イメージとを分析して、第１の貼り合わせ部材の特徴点の位置と、第２の貼り合わせ部材の特徴点の位置とを比較することにより、第１の貼り合わせ部材の特徴点と第２の貼り合わせ部材の特徴点との位置ずれを確認することができる。

【0102】

すなわち、第１の特徴点イメージと第２の特徴点イメージとを分析して、基準軸に対する第１の貼り合わせ部材の特徴点の位置情報と、第２の貼り合わせ部材の特徴点の位置情報とを知ることができる。従って、第１の貼り合わせ部材の特徴点の位置と第２の貼り合わせ部材の特徴点の位置との差分により、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との特徴点同士の間の相対位置情報を取得することができる。

【0103】

（ｃ）過程（Ｓ３００）は、取得された特徴点同士の間の相対位置情報を、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に反映して行ってもよい。第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との間に位置合わせの誤差を生じさせることなく、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを精度良く貼り合わせるには、上壁体部と下壁体部との位置を合わせることにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを平行にするだけではなく、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との水平の位置合わせを行うことも必要である。これにより、取得された第１の貼り合わせ部材の特徴点と、第２の貼り合わせ部材の特徴点との間の相対位置情報を反映して、いずれか一方の壁体部を相対的に移動することができる。これにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを精度良く位置合わせすることができ、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との間の位置合わせの誤差を生じることがない。

【0104】

（ｂ）過程（Ｓ２００）は、一つの平面の上に存在する第１の軸及び第２の軸に沿って決定される第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報とを、上壁体部と下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程（Ｓ２２５）と、平面の傾き度合いを示す傾斜情報を上壁体部と下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程（Ｓ２２６）とを含んでいてもよい。

【0105】

従って、一つの平面の上に存在する第１の軸及び第２の軸に沿って決定される第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報とを、上壁体部と下壁体部とのそれぞれに対して取り出してもよい（Ｓ２２５）。このようにして取り出された第１の軸の線形位置情報と第２の軸の線形位置情報とを用いて、上壁体部と下壁体部との位置情報を取得することができる。

【0106】

また、平面の傾き度合いを示す傾斜情報を上壁体部と下壁体部とのそれぞれに対して取り出してもよい（Ｓ２２６）。平面の傾き度合いを示す傾斜情報を上壁体部と下壁体部との位置情報として取得してもよい。

【0107】

一方、（ｂ）過程（Ｓ２００）は、平面のねじれ度合いを示す回転位置情報を、上壁体部と下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程（Ｓ２２７）をさらに含んでいてもよい。

【0108】

平面のねじれ度合いを示す回転位置情報を、上壁体部と下壁体部とのそれぞれに対して取り出してもよい（Ｓ２２７）。このようにして取り出された平面のねじれ度合いを示す回転位置情報をも、上壁体部と下壁体部との位置情報として取得してもよい。

【0109】

このような第１の軸の線形位置情報、第２の軸の線形位置情報及び傾斜情報を用いて、いずれか一方の壁体部を第１の軸の方向及び第２の軸の方向に線形移動させる。その後、第１の軸の線形位置情報、第２の軸の線形位置情報及び傾斜情報により決定される平面のねじれ度合いが調整されるように、いずれか一方の壁体部を回転して、上壁体部と下壁体部とを位置合わせしてもよい。このとき、回転位置情報を用いて、いずれか一方の壁体部を回転してもよい。また、傾斜情報を用いて、平面の傾斜が調整されるように、いずれか一方の壁体部をチルトしてもよい。

【0110】

一方、（ｃ）過程（Ｓ３００）は、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、いずれか一方の壁体部の移動方向と移動距離を計算する過程（Ｓ３１０）と、計算された移動方向と移動距離とを用いて、その一方の壁体部を相対的に移動する過程（Ｓ３２０）とを含んでいてもよい。

【0111】

従って、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、いずれか一方の壁体部の移動方向と移動距離とを計算してもよい（Ｓ３１０）。マークパターンイメージを分析した上壁体部と下壁体部との位置情報に基づいて、いずれか一方の壁体部の移動方向と移動距離とを計算することもできる。さらに、いずれか一方の壁体部をどのような方向にどれくらいの距離だけ相対的に移動しなければならないかを知ることもできる。すなわち、上壁体部と下壁体部との位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を計算し、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、いずれか一方の壁体部の移動方向と移動距離を計算することができる。

【0112】

また、計算された移動方向と移動距離とを用いて、いずれか一方の壁体部を相対的に移動してもよい（Ｓ３２０）。これにより、上壁体部と下壁体部との位置を合わせることができる。上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、いずれか一方の壁体部の移動方向と移動距離とを計算する。計算された移動方向と移動距離とを用いて、その一方の壁体部を相対的に移動することにより、上壁体部と下壁体部とを位置合わせすることができる。

【0113】

いずれか一方の壁体部を相対的に移動する過程（Ｓ３２０）は、ｘ軸、ｙ軸及びθの方向の３軸の方向に、いずれか一方の壁体部を相対的に移動して行ってもよい。いずれか一方の壁体部をｘ軸、ｙ軸及びθの方向の３軸の方向に相対的に移動してもよく、いずれか一方の壁体部が、ｘ、ｙ軸の方向はもとより、θの方向にも他方の壁体部に対して位置合わせを行ってもよい。上壁体部と下壁体部とが位置合わせされていない場合は、いずれか一方の壁体部をｘ、ｙ及びθの方向に微調整しながら、上壁体部と下壁体部とを位置合わせする位置合わせ作業を行ってもよい。このようにして位置合わせ作業が終わった後には、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材の水平移動又は回転移動が行われず、位置合わせの位置がねじれる可能性もなくなる。

【0114】

一方、いずれか一方の壁体部を相対的に移動する過程（Ｓ３２０）においては、いずれか一方の壁体部をφの方向に相対的な移動を行ってもよい。また、いずれか一方の壁体部をφの方向に相対的に移動して、その一方の壁体部をチルトしてもよく、これにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを平行にしてもよい。

【0115】

本発明の貼り合わせ方法は、上壁体部と下壁体部との間の空間から逸脱するように、上カメラ及び下カメラを移動する過程（Ｓ２７０）をさらに含んでいてもよい。

【0116】

従って、上壁体部と下壁体部とを組み合わせる前に、上壁体部と下壁体部との間の空間から逸脱するように、上カメラ及び下カメラを移動してもよい（Ｓ２７０）。上カメラ及び下カメラが上壁体部と下壁体部との間の空間から逸脱する場合は、上カメラ及び下カメラが上壁体部と下壁体部との組み合わせに際して干渉を起こさない。その結果、上壁体部と下壁体部との組み合わせによって、内部の真空引きをスムーズに行えるので、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせをスムーズに行うことができる。

【0117】

マークパターンは、複数のマークがマットリックス状に配列されたマークマットリックスと、該マークマットリックスの外側に配置され、一つの円軌跡に位置する複数の円軌跡マークとを備えていてもよい。マークマットリックスは、同一の形状の複数のマークがマットリックス状に配列されてもよく、複数のマークの間に、第１の方向の間隔が同一であり、且つ第１の方向と交差する第２の方向の間隔が同一であってもよい。マークマットリックスが含まれたマークパターンを撮影してマークパターンイメージを取得すれば、取得されたマークパターンイメージにおけるマークの形状の変化及びねじれを測定して、上カメラ及び下カメラの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度とを計算することができる。計算された上カメラ及び下カメラの少なくとも一方の光軸とパターン面の角度、及び上マークプレート及び下マークプレートの少なくとも一方の位置座標に基づいて、基準軸に対する上壁体部と下壁体部との位置情報を取得することができる。これにより、上壁体部と下壁体部との位置ずれを算出することができる。

【0118】

複数の円軌跡マークは、マークマットリックスの外側に配置されてもよく、一つの円軌跡に位置してもよい。上マークプレートと下マークプレートとのうち、同一のマークプレートに形成された複数の円軌跡マークを互いにつなぐと、一つの円を形成できる。このようにして形成される円の中心を用いて、上壁体部と下壁体部とのうち、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心を取り出すことができる。このとき、複数の円軌跡マークが形成する円の中心は、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心と同一であることが好ましい。この場合、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転に伴う傾斜の変化が、同一のマークプレートの傾斜の変化に適切に反映することが可能であり、θの方向を好適に算出することができる。

【0119】

マークパターンイメージを分析する過程（Ｓ２２０）は、マークパターンイメージにおける複数の円軌跡マークの位置を測定する過程（Ｓ２２１）と、上壁体部と下壁体部との少なくとも一方の回転中心を算出する過程（Ｓ２２２）とを含んでいてもよい。

【0120】

従って、マークパターンイメージにおける複数の円軌跡マークの位置を測定してもよい（Ｓ２２１）。複数の円軌跡マークが形成する円の中心を知るために、マークパターンイメージにおける複数の円軌跡マークの位置を測定してもよい。マークパターンイメージにおける複数の円軌跡マークの位置を測定することにより、複数の円軌跡マークが形成する円の中心を確認することができる。

【0121】

また、上壁体部と下壁体部との少なくとも一方の回転中心を算出してもよい（Ｓ２２２）。複数の円軌跡マークが形成する円の中心が、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心と同一である場合は、複数の円軌跡マークが形成する円の中心を同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心として取り出してもよい。複数の円軌跡マークが形成する円の中心が、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心とは異なる場合は、複数の円軌跡マークが形成する円の中心と、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心との位置を差を用いて、上壁体部と下壁体部との少なくとも一方の壁体部の回転中心を算出してもよい。少なくとも一方の壁体部が回転中心を中心として回転すれば、複数の円軌跡マークが形成する円の中心と、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転中心との位置差が変化することがある。これを反映して、たとえ少なくとも一方の壁体部が回転中心を中心として回転したとしても、上壁体部と下壁体部との少なくとも一方の壁体部の回転中心を算出することができる。このため、少なくとも一方の壁体部の回転中心を用いて、同一のマークプレートが配設された壁体部の回転に伴う傾斜の変化を計算することができるので、θの方向を適切に算出することができる。

【0122】

本発明の貼り合わせ方法は、上壁体部と下壁体部との間隔を調整して、上壁体部と下壁体部とを引き離す過程（Ｓ５００）と、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが貼り合わされてなる、貼り合わせ組立体を搬出する過程（Ｓ６００）とをさらに含んでいてもよい。

【0123】

従って、上壁体部と下壁体部との間隔を調整して、上壁体部と下壁体部とを引き離してもよい（Ｓ５００）。第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが貼り合わせられた後に、上壁体部と下壁体部との間隔を調整して、上壁体部と下壁体部とを引き離してもよい。

【0124】

また、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが貼り合わされた、貼り合わせ組立体を搬出してもよい（Ｓ６００）。新たな（又は他の）第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを貼り合わせるために、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが貼り合わされた、貼り合わせ組立体を上壁体部又は下壁体部から搬出してもよい。

【0125】

（ａ）過程（Ｓ１００）から（ｄ）過程（Ｓ４００）は、繰り返し行われてもよい。これにより、貼り合わせ工程を連続して行うことができ、貼り合わせ組立体を連続して製造することができる。

【0126】

本発明に係る貼り合わせ方法は、（ａ）過程（Ｓ１００）を再度行う前に、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態を確認する過程（Ｓ７００）をさらに含んでいてもよい。ここで、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との位置合わせがなされた状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、（ｂ）過程（Ｓ２００）を省略し、以前に算出された上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を用いて、（ｃ）過程（Ｓ３００）が行われてもよく、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが位置ずれの状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、（ｂ）過程（Ｓ２００）を行い、新たに算出された上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を用いて、（ｃ）過程（Ｓ３００）が行われてもよい。

【0127】

従って、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態を確認してもよい（Ｓ７００）。すなわち、貼り合わせ組立体の貼り合わせ状態を確認してもよい。長時間に亘っての工程により、上壁体部と下壁体部との位置が変化してしまうと、上壁体部と下壁体部との位置情報（すなわち、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報）を変更する必要がある。このため、連続して貼り合わせ工程を行う間に、貼り合わせ組立体における第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態を確認して、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが位置ずれの状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、（ｂ）過程（Ｓ２００）を再度行ってもよい。これにより、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報をリアルタイムで新たに算出して更新することができるので、貼り合わせ工程を連続して行うことができる。

【0128】

これに対し、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との位置合わせがなされた状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、（ｂ）過程（Ｓ２００）を省略し、以前に算出された上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を用いて、（ｃ）過程（Ｓ３００）を行ってもよい。また、後続する第１の貼り合わせ部材と後続する第２の貼り合わせ部材との貼り合わせに際して、（ｂ）過程（Ｓ２００）を省略してもよい。従って、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を再度算出し直す必要はなく、連続した貼り合わせ工程を行ってもよい。

【0129】

なお、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とが位置ずれの状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、（ｂ）過程（Ｓ２００）を再度行い、新たに算出された上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を用いて、（ｃ）過程（Ｓ３００）を行ってもよい。また、後続する第１の貼り合わせ部材と後続する第２の貼り合わせ部材との貼り合わせに際して、（ｂ）過程（Ｓ２００）を再度行って、後続する第１の貼り合わせ部材と後続する第２の貼り合わせ部材との位置が互いに合うように、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を更新してもよい。

【0130】

すなわち、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報が算出された後は、（ａ）過程（Ｓ１００）、それぞれ撮影する過程（Ｓ２５０）、特徴点同士の間の相対位置情報を取得する過程（Ｓ２６０）、（ｃ）過程（Ｓ３００）、（ｄ）過程（Ｓ４００）、上壁体部と下壁体部とを引き離す過程（Ｓ５００）、及び貼り合わせ組立体を搬出する過程（Ｓ６００）を順次繰り返し行って、貼り合わせ組立体を連続して製造してもよい。上マークプレート及び下マークプレートを上壁体部と下壁体部とにそれぞれ固設して、一度の上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を算出した後に、（ａ）過程（Ｓ１００）、それぞれ撮影する過程（Ｓ２５０）、特徴点同士の間の相対位置情報を取得する過程（Ｓ２６０）、（ｃ）過程（Ｓ３００）、（ｄ）過程（Ｓ４００）、上壁体部と下壁体部とを引き離す過程（Ｓ５００）及び貼り合わせ組立体を搬出する過程（Ｓ６００）を順次繰り返し行って、貼り合わせ工程を連続して行ってもよい。これにより、貼り合わせ組立体を連続して製造することができるので、貼り合わせ組立体の生産量の増大が可能となる。

【0131】

換言すれば、周期的に又は直ちに、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態を確認して、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態が不良であるときには、上カメラ及び下カメラの校正（ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ）を直ちに実行及び適用してもよい。これにより、上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報を更新することができる。

【0132】

一方、本発明の貼り合わせ方法は、上カメラ及び下カメラの締め付け状態及びねじの緩み状態の少なくとも一方を確認（チェック）する過程（Ｓ７１０）をさらに含んでいてもよい。長時間に亘っての工程により上カメラ及び下カメラのねじの緩み等、締め付け状態の不良が生じることがあり、周期的に又は直ちに、上カメラ及び下カメラの締め付け状態及びねじの緩み状態の少なくとも一方をチェックしてもよい。これにより、上カメラ及び下カメラの締め付け状態及びねじの緩み状態の少なくとも一方をメンテナンス（ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ）することができる。その結果、上カメラ及び下カメラの締め付け状態及びねじの緩み状態の少なくとも一方の不良を通じて、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態の不良を間接的に確認することもできる。

【0133】

このように、本発明においては、上壁体部の位置情報と下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得して算出された上壁体部と下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、上壁体部と下壁体部とのいずれか一方の壁体部を他方の壁体部に対して相対的に移動して、上壁体部と下壁体部との位置を合わせすることにより、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを精度良く位置合わせすることができる。また、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材との間の位置合わせの誤差を生じることなく、第１の貼り合わせ部材と第２の貼り合わせ部材とを精度良く貼り合わせることができる。上壁体部と下壁体部とにそれぞれ配設される上マークプレート及び下マークプレートを上カメラ及び下カメラを用いてそれぞれ撮影し、撮影されたマークパターンイメージを分析することにより、高精細度の上壁体部と下壁体部の位置情報を容易に取得することができる。また、上マークプレートを第１の支持部の外縁部に配置し、下マークプレートを第２の支持部の外縁部に配置することにより、上壁体部と下壁体部との組み合わせに際して、両者の互いの干渉を防止することができる。これにより、上マークプレート及び下マークプレートを上壁体部と下壁体部とにそれぞれ固設できるので、上マークプレート及び下マークプレートの移動及び固設に伴って生じる組立て誤差、移動誤差及び振動の発生を防止することができる。従って、上壁体部と下壁体部との位置情報の精細度がより一層向上する。一方、クォーツ製の上マークプレート及び下マークプレートにそれぞれマークパターンを印刷して用いることにより、マークパターンの精細度が高くなる。この高精細度のマークパターンによって、マークパターンイメージの解像度（又は分解能）が向上するので、上壁体部と下壁体部との位置情報の精細度を最大化することもできる。

【0134】

上記の説明の欄において用いた「〜の上に」という言い回しの意味は、直接的に接触する場合と、直接的に接触はしないものの、上部又は下部に対向して位置する場合とを網羅し、上面又は下面の全体に対向して位置することも可能であれば、部分的に対向して位置することも可能であり、位置上に離れて対向するか、又は上面若しくは下面に直接的に接触するという意味として用いられる。

【0135】

以上、本発明の好適な実施形態について特定の用語を用いて説明され且つ示されたが、これらの用語は、単に本発明を明確に説明するためのものに過ぎず、本発明の実施形態及び記述された用語は、特許請求の範囲の技術的思想及び範囲から逸脱することなく、種々の変更及び変化が加えられるということは明らかである。これらの変形された実施形態は、本発明の思想及び範囲から個別的に理解されてはならず、本発明の特許請求の範囲内に属するものといえるべきである。

【符号の説明】

【0136】

１１：第１の貼り合わせ部材
１２：第２の貼り合わせ部材
１１ａ：第１の貼り合わせ部材の特徴点
１２ａ：第２の貼り合わせ部材の特徴点
１００：貼り合わせ装置
１１０：上壁体部
１１１：第１の支持部
１１２：上マークプレート支持部
１２０：下壁体部
１２１：第２の支持部
１２２：下マークプレート支持部
１３０ａ：上マークプレート
１３０ｂ：下マークプレート
１３１：マークパターン
１３１ａ：マーク
１３１ｂ：円軌跡マーク
１４０ａ：上カメラ
１４０ｂ：下カメラ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】