特開2020-63889(P2020-63889A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-63889空気調和装置、空気調和装置を具備する基板の浮上式搬送ユニット、並びに基板の浮上式搬送用空気の供給方法
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