特開2020-77859検査装置

発明の名称　検査装置

出願人　株式会社半導体エネルギー研究所　（識別番号 153878）

　　　　特許公開件数ランキング 11 位（1201件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 14 位（958件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2020-77859

公報発行日　2020年5月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-77859

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