発明の名称 レーザーリソグラフィーによって3D構造を描く装置のためのディスペンサー付属品の使用、及びディスペンサー付属品
出願人 ナノスクライブ ゲーエムベーハー (識別番号 511206401)
特許公開件数ランキング 11776 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 9069 位(1件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2020-78927
公報発行日 2020年5月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-78927
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