特開2020-90922(P2020-90922A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-90922窒素昇温ユニット及び当該窒素昇温ユニットを利用してターボ分子ポンプの内部で昇華性物質が固形化すること又は堆積することを抑制又は防止する方法
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  • 特開2020090922-窒素昇温ユニット及び当該窒素昇温ユニットを利用してターボ分子ポンプの内部で昇華性物質が固形化すること又は堆積することを抑制又は防止する方法 図000003
  • 特開2020090922-窒素昇温ユニット及び当該窒素昇温ユニットを利用してターボ分子ポンプの内部で昇華性物質が固形化すること又は堆積することを抑制又は防止する方法 図000004
  • 特開2020090922-窒素昇温ユニット及び当該窒素昇温ユニットを利用してターボ分子ポンプの内部で昇華性物質が固形化すること又は堆積することを抑制又は防止する方法 図000005
  • 特開2020090922-窒素昇温ユニット及び当該窒素昇温ユニットを利用してターボ分子ポンプの内部で昇華性物質が固形化すること又は堆積することを抑制又は防止する方法 図000006
  • 特開2020090922-窒素昇温ユニット及び当該窒素昇温ユニットを利用してターボ分子ポンプの内部で昇華性物質が固形化すること又は堆積することを抑制又は防止する方法 図000007
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