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特開2021-116437ターゲット容器、成膜方法、ターゲット容器製造方法、及び、圧力センサー
発明の名称 ターゲット容器、成膜方法、ターゲット容器製造方法、及び、圧力センサー
出願人 学校法人同志社 （識別番号 503027931）
特許公開件数ランキング 2138 位（6件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1073 位（10件）（共同出願を含む）
出願人 大鉢 忠 （識別番号 516088190）
特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 ヤマナカヒューテック株式会社 （識別番号 502265367）
特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2021-116437
公報発行日 2021年8月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-116437
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