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特開2021-120488磁性ターゲット材料を用いたスパッタリング源の磁力解放
発明の名称 磁性ターゲット材料を用いたスパッタリング源の磁力解放
出願人 スパッタリング・コンポーネンツ・インコーポレーテッド （識別番号 513159066）
特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2021-120488
公報発行日 2021年8月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-120488
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