特開2021-122077(P2021-122077A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2021-122077プラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔の測定方法、電極、電極の再生方法およびプラズマエッチング装置
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