特開2021-134697真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品

発明の名称　真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品

出願人　エドワーズ株式会社　（識別番号 508275939）

　　　　特許公開件数ランキング 1163 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1021 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-134697

公報発行日　2021年9月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-134697

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