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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2021-139403(P2021-139403A)
(43)【公開日】2021年9月16日
(54)【発明の名称】リニアアクチュエータ
(51)【国際特許分類】
F15B 15/14 20060101AFI20210820BHJP
【ＦＩ】
F15B15/14 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】20
(21)【出願番号】特願2020-35823(P2020-35823)
(22)【出願日】2020年3月3日
(71)【出願人】
【識別番号】000102511
【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100077665
【弁理士】
【氏名又は名称】千葉 剛宏
(74)【代理人】
【識別番号】100116676
【弁理士】
【氏名又は名称】宮寺 利幸
(74)【代理人】
【識別番号】100191134
【弁理士】
【氏名又は名称】千馬 隆之
(74)【代理人】
【識別番号】100136548
【弁理士】
【氏名又は名称】仲宗根 康晴
(74)【代理人】
【識別番号】100136641
【弁理士】
【氏名又は名称】坂井 志郎
(74)【代理人】
【識別番号】100180448
【弁理士】
【氏名又は名称】関口 亨祐
(72)【発明者】
【氏名】年森 良裕
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 俊夫
(72)【発明者】
【氏名】塚田 敦海
【テーマコード（参考）】
3H081
【Ｆターム（参考）】
3H081AA03
3H081CC04
3H081CC07
3H081CC08
3H081DD18
3H081EE22
3H081EE23
3H081FF03
3H081FF08
3H081GG04
3H081GG15
3H081GG23
(57)【要約】
【課題】粉塵等の塵埃が飛散する環境下において、リニアアクチュエータに対する塵埃の堆積を防止して円滑に作動させる。【解決手段】リニアアクチュエータ１０において、シリンダ本体１２に対してガイド機構１８を介してスライドテーブル１４が長手方向に移動自在に設けられ、該スライドテーブル１４は、前記シリンダ本体１２の上部に配置され長手方向に沿って延在するテーブル本体７８と、該テーブル本体７８の長手方向他端に連結され略直角に設けられたエンドプレート８０とを備える。そして、エンドプレート８０には、ガイド機構１８に臨む長手方向一面８０ａに該ガイド機構１８から離間する方向に窪んだ収納室９４が設けられ、例えば、粉塵等の飛散する環境下で用いた場合に、該粉塵等から生じる固化物を前記収納室９４に収納可能に構成される。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
圧力流体が供給されるシリンダ室を内部に有したシリンダ本体と、該シリンダ本体の長手方向に沿って移動自在に設けられるスライドテーブルと、前記シリンダ室に沿って移動自在に設けられるピストンを有したシリンダ機構と、前記シリンダ本体に取り付けられ、通路を循環する複数の転動体の転動作用下に前記スライドテーブルを前記シリンダ本体の長手方向に沿って案内するガイド機構とを備え、前記ピストンの移動作用下に前記スライドテーブルを前記シリンダ本体に対して往復動作させるリニアアクチュエータであって、
前記スライドテーブルは、前記シリンダ本体の長手方向に沿って延在する本体部と、該本体部に対して略直角に設けられ前記シリンダ本体の長手方向端部に臨むエンド部とを備え、
前記エンド部には、前記シリンダ本体に臨む端面に開口し前記長手方向に延在して塵埃を内部に収納可能な収納部が設けられる、リニアアクチュエータ。
前記スライドテーブルは、前記シリンダ本体の長手方向に沿って延在する本体部と、該本体部に対して略直角に設けられ前記シリンダ本体の長手方向端部に臨むエンド部とを備え、
前記エンド部には、前記シリンダ本体に臨む端面に開口し前記長手方向に延在して塵埃を内部に収納可能な収納部が設けられる、リニアアクチュエータ。
【請求項2】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記収納部は、前記長手方向から見て前記ガイド機構に臨む位置に形成される、リニアアクチュエータ。
前記収納部は、前記長手方向から見て前記ガイド機構に臨む位置に形成される、リニアアクチュエータ。
【請求項3】
請求項１又は２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記収納部は、前記エンド部の長手方向に貫通して形成される、リニアアクチュエータ。
前記収納部は、前記エンド部の長手方向に貫通して形成される、リニアアクチュエータ。
【請求項4】
請求項１又は２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記収納部は、前記エンド部の長手方向に非貫通で形成される、リニアアクチュエータ。
前記収納部は、前記エンド部の長手方向に非貫通で形成される、リニアアクチュエータ。
【請求項5】
請求項３又は４記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記エンド部には、前記収納部の延在方向と略直交方向に延在して前記収納部と外部とを連通する作業孔が形成される、リニアアクチュエータ。
前記エンド部には、前記収納部の延在方向と略直交方向に延在して前記収納部と外部とを連通する作業孔が形成される、リニアアクチュエータ。
【請求項6】
請求項３記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記エンド部には、前記収納部の開口部を覆うカバー部材が着脱自在に設けられる、リニアアクチュエータ。
前記エンド部には、前記収納部の開口部を覆うカバー部材が着脱自在に設けられる、リニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、シリンダ本体の軸方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、ワーク等の搬送手段として、例えば、圧力流体の供給作用下に流体圧シリンダ等のリニアアクチュエータが用いられており、本出願人は、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復運動させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送可能なリニアアクチュエータを提案している（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第３７９５９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明は、前記の提案に関連してなされたものであり、粉塵等の塵埃が飛散する環境下において、該塵埃の堆積を防止することで円滑に作動させることが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
前記の目的を達成するために、本発明の態様は、圧力流体が供給されるシリンダ室を内部に有したシリンダ本体と、シリンダ本体の長手方向に沿って移動自在に設けられるスライドテーブルと、シリンダ室に沿って移動自在に設けられるピストンを有したシリンダ機構と、シリンダ本体に取り付けられ、通路を循環する複数の転動体の転動作用下にスライドテーブルをシリンダ本体の長手方向に沿って案内するガイド機構とを備え、ピストンの移動作用下にスライドテーブルをシリンダ本体に対して往復動作させるリニアアクチュエータであって、スライドテーブルは、シリンダ本体の長手方向に沿って延在する本体部と、本体部に対して略直角に設けられシリンダ本体の長手方向端部に臨むエンド部とを備え、
エンド部には、シリンダ本体に臨む端面に開口し長手方向に延在して塵埃を内部に収納可能な収納部が設けられる。
【0006】
本発明によれば、リニアアクチュエータを構成するスライドテーブルが、シリンダ本体の長手方向に沿って延在する本体部と、本体部に対して略直角に設けられシリンダ本体の長手方向端部に臨むエンド部とから構成され、エンド部には、スライドテーブルが移動自在に設けられるシリンダ本体に臨む端面に開口し、且つ、長手方向に延在して内部に塵埃を収納可能な収納部が設けられる。
【0007】
従って、リニアアクチュエータを粉塵等が飛散する環境下で使用し、例えば、ガイド機構を構成する転動体を潤滑するための潤滑剤と粉塵等が混ざった塵埃（固化物）がエンド部に臨むガイド機構の長手方向端部近傍に発生した場合でも、スライドテーブルのエンド部がシリンダ本体側へと移動した際、その塵埃が収納部へと好適に収納される。
【0008】
その結果、リニアアクチュエータを粉塵等が飛散する環境下で使用し、粉塵等を含む塵埃が発生した場合であっても、塵埃をエンド部の端面に開口した収納部へと収納することで、スライドテーブルの移動作用下にエンド部が堆積した塵埃に対して接触してしまうことが防止され、上記のような環境下においてもスライドテーブルを長手方向に沿って円滑に動作させることができる。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【0010】
すなわち、リニアアクチュエータを構成するスライドテーブルのエンド部には、シリンダ本体に臨む端面に開口し長手方向に延在した収納部が設けられ、リニアアクチュエータを粉塵等が飛散する環境下で使用し、例えば、ガイド機構を構成する転動体を潤滑するための潤滑剤と粉塵等が混ざった塵埃（固化物）がガイド機構の端部近傍に発生した場合でも、スライドテーブルのエンド部がシリンダ本体側へと移動した際に、その塵埃を好適に収納部へと収納することが可能となる。
【0011】
その結果、リニアアクチュエータを粉塵等が飛散する環境下で使用し、粉塵等を含む塵埃が発生した場合であっても、塵埃をエンド部の端面に開口した収納部へと収納することで、エンド部の端面とガイド機構との間に塵埃が堆積していくことがなく、スライドテーブルの移動時においてエンド部が堆積した塵埃と接触してしまうことが防止される。そのため、上記のような環境下においてもスライドテーブルを長手方向に沿って円滑に動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【図9】本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータの平面図である。
【図12】本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【図18】本発明の第４の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0014】
このリニアアクチュエータ１０は、図１〜図６に示されるように、シリンダ本体１２と、該シリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル１４と、前記シリンダ本体１２と前記スライドテーブル１４との間に介装され、一組のピン部材１６を介して該シリンダ本体１２に保持されるガイド機構１８とを含む。
【0015】
シリンダ本体１２の上面部には、長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿って延在する凹部２０が形成され、該凹部２０にはピン部材１６が挿入される一組のピン挿入孔２２が長手方向に所定間隔離間して設けられる。また、凹部２０には、ピン挿入孔２２に近接する部位にガイド機構１８をシリンダ本体１２に取り付けるための一組の取付用孔部２４が貫通して形成される（図２及び図３参照）。
【0016】
また、シリンダ本体１２の一側面には、長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿って２本のセンサ取付溝２６が形成され、図示しないセンサが装着される。一方、前記一側面とは反対側となるシリンダ本体１２の他側面には、後述するストッパブロック９２が当接することでスライドテーブル１４の移動を規制するストローク調整部材２８が設けられている。
【0017】
このストローク調整部材２８は、図１、図２及び図４に示されるように、ブロック体３０と、該ブロック体３０の孔部に螺合され、ナット３２を介して前記ブロック体３０に固定されるスタッドボルト３４と、該スタッドボルト３４の長手方向一端部に装着されるダンパ部材３６とから構成される。そして、ストローク調整部材２８において、ブロック体３０に対してスタッドボルト３４を螺回させることで長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に進退動作させ、スライドテーブル１４の長手方向への移動量を調整することができる。
【0018】
一方、シリンダ本体１２の内部には、図２、図３、図５及び図６に示されるように、その長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿って延在する一組の貫通孔３８が形成される。この貫通孔３８は、断面円形状で略同一径に形成されると共に、長手方向と直交する幅方向（矢印Ｂ方向）に離間して平行に形成される。
【0019】
また、各貫通孔３８の内部には、図６に示されるように、外周面にピストンパッキン４０及び磁性体４２の装着されたピストン４４と、該ピストン４４に連結されるピストンロッド４６とがそれぞれ収納され、前記ピストンロッド４６の長手方向他端には、ねじ部材４８を介してフローティングブッシュ５０が連結されている。
【0020】
また、各貫通孔３８の長手方向に沿った一端部には、エンドキャップ５２が挿入され止め輪５４によって係止されることで閉塞され、一方、前記貫通孔３８の長手方向に沿った他端部には、リング体５６及びカラー部材５８が挿入され止め輪５４によって長手方向に係止されることで閉塞される。
【0021】
カラー部材５８の外周面には、環状溝を介してＯリング６０が装着され貫通孔３８の内周面に当接すると共に、前記カラー部材５８の中央には、長手方向に沿ってピストンロッド４６の挿通されるロッド孔６２ａが貫通し、その内周面には環状溝を介してロッドパッキン６４が設けられる。このロッドパッキン６４は弾性材料からなり、ピストンロッド４６の外周面に摺接することでシールを営む。
【0022】
一方、リング体５６は、カラー部材５８に対して長手方向他方側（矢印Ａ２方向）に設けられ、その内部には長手方向に沿ってピストンロッド４６の挿通されるロッド孔６２ｂが貫通し、該ロッド孔６２ｂの内周面には、環状溝を介して潤滑用リング６６及び防塵用リング６８がそれぞれ設けられている。この防塵用リング６８が、貫通孔３８の長手方向他方側（矢印Ａ２方向）となり、潤滑用リング６６が該防塵用リング６８に対して長手方向一方側（矢印Ａ１方向）となるように配置される。
【0023】
潤滑用リング６６は、グリス等の潤滑剤が含侵され柔軟性及び圧縮性を有した材質から環状に形成されており、ピストンロッド４６の外周面に摺接する。防塵用リング６８は、潤滑用リング６６と同様に柔軟性及び圧縮性を有した材質から環状に形成されている。なお、防塵用リング６８には潤滑剤は含侵されておらず乾燥状態で用いられる。
【0024】
また、各貫通孔３８の一端部及び他端部をそれぞれエンドキャップ５２及びカラー部材５８で閉塞することで、その内部にピストン４４及びピストンロッド４６の収納される一組のシリンダ室７０が構成され、一方のシリンダ室７０と他方のシリンダ室７０とが、幅方向（矢印Ｂ方向）に延在する一対の連通路７２を介して互いに連通している。
【0025】
さらに、シリンダ本体１２の他側面には、一組の第１及び第２流体ポート７４、７６が形成され、前記第１及び第２流体ポート７４、７６が一方のシリンダ室７０にそれぞれ接続され連通している。なお、第１流体ポート７４が、シリンダ本体１２の長手方向一方側（矢印Ａ１方向）、第２流体ポート７６が前記シリンダ本体１２の長手方向他方側（矢印Ａ２方向）となるように配置される。
【0026】
すなわち、上述したピストン４４及びピストンロッド４６が、シリンダ室７０に対する圧力流体の供給作用下に長手方向に沿って移動自在なシリンダ機構として機能する。
【0027】
スライドテーブル１４は、図１〜図８に示されるように、長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿って延在するテーブル本体（本体部）７８と、該テーブル本体７８の長手方向他端に対して直交するように固定されるエンドプレート（エンド部）８０とから構成され、前記テーブル本体７８と前記エンドプレート８０とが一組のボルト８２によって断面略Ｌ字状に直交した状態でねじ締結される。すなわち、エンドプレート８０は、水平方向に延在するテーブル本体７８に対して鉛直方向に延在するように形成されている。
【0028】
テーブル本体７８は、その幅方向両端においてシリンダ本体１２側（下方）へと突出した一対のガイド部８６を有する断面略Ｕ字状に形成され、前記ガイド部８６が長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿って延在すると共に、互いに対向するガイド部８６の内壁面には、ボール転動溝１１０がそれぞれ前記長手方向に沿って形成される（図５及び図６参照）。また、テーブル本体７８の上面には４個のワーク保持用孔部９０が形成されている。なお、ワーク保持用孔部９０の数量は４個に限定されるものではなく、例えば、スライドテーブル１４のストローク量に応じた数量で適宜設定される。
【0029】
さらに、テーブル本体７８の一側面には、幅方向へ突出するようにストッパブロック９２が固定され、該ストッパブロック９２がスライドテーブル１４と一体的に移動すると共に、シリンダ本体１２に設けられたストローク調整部材２８に臨むように設けられる。そして、テーブル本体７８を含むスライドテーブル１４がシリンダ本体１２に対して長手方向に沿って移動した際、ストッパブロック９２がストローク調整部材２８のダンパ部材３６へと当接することにより、前記スライドテーブル１４の長手方向に沿った移動が規制される。
【0030】
エンドプレート８０は、幅方向（矢印Ｂ方向）に長尺な断面長方形状、且つ、長手方向に一定厚さを有したプレート体からなり、その下端に形成された略半円形状の孔部８４を介してフローティングブッシュ５０が保持されると共に、図６及び図８に示されるように、テーブル本体７８側（矢印Ａ１方向）となる長手方向一面（端面）８０ａには所定容積を有した収納室（収納部）９４が形成される。
【0031】
この収納室９４は、エンドプレート８０の長手方向一面８０ａに対してテーブル本体７８から離間する方向（矢印Ａ２方向）に所定深さで窪み、ガイド機構１８に臨む位置に設けられる。すなわち、収納室９４は、その幅方向（矢印Ｂ方向）が少なくともガイドブロック９６の幅寸法以上となるように形成されると共に、高さ方向が前記ガイドブロック９６の高さ寸法以上となるように形成される。
【0032】
なお、収納室９４の幅寸法及び高さ寸法は、上述したようにガイド機構１８を構成するガイドブロック９６の幅寸法及び高さ寸法に対応した場合に限定されるものではなく、長手方向から見た前記ガイドブロック９６の断面形状よりも大きな形状で形成されていればよい。
【0033】
ガイド機構１８は、図２、図３、図５及び図６に示されるように、幅方向（矢印Ｂ方向）に扁平状のガイドブロック９６と、該ガイドブロック９６の長手方向に沿った両端部にそれぞれ装着される一組のボールリターン部材９８、カバーブロック１００及びスクレーパ１０２と、前記ガイドブロック９６をシリンダ本体１２に対して位置決めして保持する一組のピン部材１６とを含む。そして、カバーブロック１００には、ボールリターン部材９８と共にボールベアリング（転動体）１０４を循環させる半円状のボールリターン溝１０６が形成されている。
【0034】
また、カバーブロック１００とスクレーパ１０２との間には第１防塵プレート１０８が挟持されている。この第１防塵プレート１０８は、例えば、柔軟性及び圧縮性を有した材質からプレート状に形成されると共に、その上面がスライドテーブル１４におけるテーブル本体７８の内面に摺接し、幅方向（矢印Ｂ方向）に沿った幅方向両端が前記スライドテーブル１４のガイド部８６に摺接可能に設けられる。また、スクレーパ１０２が、ボール転動溝８８に対してわずかな隙間を有した状態、又は、摺接するように設けられることで、ガイド機構１８側への粉塵等の侵入が防止される。
【0035】
一方、ガイドブロック９６の幅方向となる両側面には、長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿った一対のボール転動溝１１０が形成され、該ボール転動溝１１０に対して幅方向内側となる部位には、長手方向に沿って貫通する一組のボール循環穴１１２が所定間隔離間して形成される。そして、スライドテーブル１４におけるガイド部８６のボール転動溝８８、ガイドブロック９６におけるボール転動溝１１０、ボール循環穴１１２及びカバーブロック１００のボールリターン溝１０６によってボールベアリング１０４が循環可能な連続したボール循環通路が構成される。
【0036】
また、ガイドブロック９６の両側面には、ボール転動溝１１０に対して上下方向となる位置に一対の第２防塵プレート１１４ａ、１１４ｂがそれぞれ設けられる。この第２防塵プレート１１４ａ、１１４ｂは、例えば、柔軟性及び圧縮性を有した材質から長手方向に沿って長尺に形成されている。そして、第２防塵プレート１１４ａ、１１４ｂは、ガイドブロック９６の両側面に固定され、スライドテーブル１４のガイド部８６へと摺接可能に設けられる。
【0037】
そして、ガイド機構１８において複数のボールベアリング１０４がボール循環通路に沿って転動することにより、前記ガイド機構１８を覆うように設けられたスライドテーブル１４がガイドブロック９６に対して長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）へ往復動作自在に保持される。また、第２防塵プレート１１４ａ、１１４ｂがスライドテーブル１４のガイド部８６に対して摺接することで、前記ガイド部８６と前記ガイドブロック９６との間へ侵入した塵埃のボール転動溝８８、１１０への侵入が防止される。
【0038】
また、ガイドブロック９６の底面には、一組のピン部材１６を挿入するためのピン挿入孔（図示せず）が所定間隔離間して形成されると共に、前記ピン挿入孔に近接する部位には、ねじ溝が刻設された一組の取付用ボルト孔１１８が貫通して形成される（図５参照）。そして、図５に示されるように、シリンダ本体１２の取付用孔部２４に下方から挿通された固定用ボルト１２０が、ガイドブロック９６の取付用ボルト孔１１８へと螺合されることで、前記ガイドブロック９６を含むガイド機構１８が前記シリンダ本体１２の上面部（凹部２０）に対して取り付けられる。
【0039】
本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、ここでは、図６に示されるピストン４４が長手方向一方側（矢印Ａ１方向）に位置している状態を初期位置として説明する。
【0040】
先ず、図示しない流体圧供給源から圧力流体を第１流体ポート７４に供給すると共に、第２流体ポート７６を図示しない切換装置の切換操作によって大気開放状態としておく。
【0041】
そして、第１流体ポート７４からの圧力流体が、一方のシリンダ室７０から連通路７２を通じて他方のシリンダ室７０へも供給されることで、一対のピストン４４がそれぞれ長手方向他方側（矢印Ａ２方向）へと押圧されてピストンロッド４６と共に移動する。このピストンロッド４６に連結されたフローティングブッシュ５０を介してエンドプレート８０が長手方向他方側（矢印Ａ２方向）へと押圧される。これにより、エンドプレート８０を含むスライドテーブル１４が、ボール循環通路を循環するボールベアリング１０４の転動作用下にガイド機構１８に対して長手方向他方側（矢印Ａ２方向）へと移動する。
【0042】
このスライドテーブル１４が移動する過程において、ストッパブロック９２がストローク調整部材２８のダンパ部材３６へと当接することでさらなる長手方向への移動が規制されて移動終端位置となる。
【0043】
一方、前記とは反対方向となる長手方向一方側（矢印Ａ１方向）へスライドテーブル１４を移動させる場合には、第２流体ポート７６へ圧力流体を供給すると共に、第１流体ポート７４を大気開放状態とすることで、シリンダ室７０へと供給された圧力流体によってピストン４４が長手方向一方側（矢印Ａ１方向）へと押圧されて移動する。このピストン４４の移動に伴ってエンドプレート８０及びスライドテーブル１４が長手方向一方側（矢印Ａ１方向）へと移動し、前記エンドプレート８０が前記スライドテーブル１４の長手方向他端へと当接することにより、図１に示される初期位置へと復帰する。
【0044】
次に、上述したリニアアクチュエータ１０を、例えば、大気中に粉塵等が飛散する環境下で使用する場合について説明する。
【0045】
このような環境下においては、リニアアクチュエータ１０を構成するシリンダ本体１２及びスライドテーブル１４の表面に対して大気中を飛散している粉塵等が付着すると共に、前記リニアアクチュエータ１０を駆動させた際、該シリンダ本体１２の貫通孔３８から外部へと露出するピストンロッド４６の表面にも前記粉塵等が付着することとなる。
【0046】
そして、ピストンロッド４６に付着した粉塵等は、該ピストンロッド４６のシリンダ本体１２の内部へと引き込み動作時において、最も外側に配置された防塵用リング６８によって好適に掻き落とされ、シリンダ室７０の内部への侵入が確実に防止される。
【0047】
また、防塵用リング６８よりも内側（矢印Ａ１方向）に設けられた潤滑用リング６６によってピストンロッド４６の外周面に潤滑剤が供給され、該ピストンロッド４６を長手方向に沿って円滑に動作させることができると共に、防塵用リング６８によって前記ピストンロッド４６に塗布された潤滑剤の外側（矢印Ａ２方向）への漏出が好適に防止される。
【0048】
さらに、ガイド機構１８に設けられた第１防塵プレート１０８が、スライドテーブル１４におけるガイド部８６の内面に摺接することで、ガイドブロック９６の長手方向他端と前記スライドテーブル１４のエンドプレート８０との間に侵入した粉塵等が、ボールリターン溝１０６及びボール転動溝８８、１１０へと侵入してしまうことが防止される。さらに、第１防塵プレート１０８の上面が、テーブル本体７８の下面に摺接することで、該下面に付着した粉塵等のガイド機構１８側への侵入が防止される。また、スクレーパ１０２が、ボール転動溝８８に対してわずかな隙間を有した状態、又は、摺接するように設けられることで、ガイド機構１８側への粉塵等の侵入が防止される。
【0049】
さらにまた、ガイド機構１８における両側面に設けられた第２防塵プレート１１４ａ、１１４ｂによってガイド部８６の長手方向一端及び他端側からボール転動溝８８、１１０側への粉塵等の侵入が防止されると共に、前記スライドテーブル１４側及びシリンダ本体１２の下方側から前記ボール転動溝８８、１１０側への粉塵等の侵入も防止される。そのため、ボールベアリング１０４に対する粉塵等の付着が確実に防止される。
【0050】
またさらに、ガイド機構１８及びスライドテーブル１４に構成されるボール循環通路において、複数のボールベアリング１０４はグリス等の潤滑剤によって潤滑された状態で循環しており、例えば、この潤滑剤と粉塵等が混じることで固化して固化物（塵埃）となることがある。詳細には、固化物は、ボールベアリング１０４を循環可能に保持しガイド部８６に臨むガイドブロック９６の幅方向端部近傍に発生することがある。
【0051】
このように固化物が発生した場合には、スライドテーブル１４がシリンダ本体１２に対して長手方向一方側（矢印Ａ１方向）へ移動した際、ガイドブロック９６の長手方向他端に臨み、エンドプレート８０の長手方向一面８０ａに開口した収納室９４が設けられているため、前記長手方向他端近傍で生じた固化物を好適に前記収納室９４の内部へと押し込むことができる。そのため、スライドテーブル１４が長手方向一方側（矢印Ａ１方向）へと移動した際、ガイドブロック９６に付着して堆積した固化物が、エンドプレート８０の長手方向一面８０ａに対して接触してしまうことが防止され、スライドテーブル１４の長手方向への移動を妨げることが防止される。
【0052】
すなわち、粉塵等が飛散する環境下でリニアアクチュエータ１０を用いた場合であっても、例えば、ガイド機構１８の長手方向他端近傍で発生した固化物を収納室９４に収納可能としている。
【0053】
以上のように、第１の実施の形態では、リニアアクチュエータ１０を構成するスライドテーブル１４において、シリンダ本体１２の上部に平行に設けられるテーブル本体７８と、該テーブル本体７８の長手方向他端に直交するように連結されるエンドプレート８０とを備え、前記エンドプレート８０には、前記シリンダ本体１２に固定されるガイド機構１８に臨むように開口し、該ガイド機構１８から離間する方向（矢印Ａ２方向）へ窪んだ収納室９４を備えている。
【0054】
従って、リニアアクチュエータ１０を粉塵等が飛散する環境下で使用し、例えば、ガイド機構１８においてボールベアリング１０４を潤滑するための潤滑剤と前記粉塵等が混ざって固化物が発生した場合でも、スライドテーブル１４のエンドプレート８０が前記ガイド機構１８側（矢印Ａ１方向）へと移動した際に、前記ガイド機構１８近傍に付着して堆積した固化物を前記収納室９４へと好適に収納することができる。
【0055】
その結果、リニアアクチュエータ１０を粉塵等が飛散する環境下で使用して固化物が生じた場合でも、ガイド機構１８の長手方向他端近傍に付着した前記固化物を収納室９４の内部へと収納することで、スライドテーブル１４の移動作用下にエンドプレート８０が前記固化物と接触して動作が妨げられてしまうことが防止される。そのため、上記のような環境下においても、リニアアクチュエータ１０を構成するスライドテーブル１４を長手方向に沿って円滑に動作させることができる。
【0056】
また、収納室９４は、リニアアクチュエータ１０の長手方向から見て、ガイド機構１８の断面形状と略同一形状、又は、該断面形状より大きな断面形状で形成されているため、前記ガイド機構１８の長手方向他端近傍で発生した固化物を確実に内部へと収納することができる。
【0057】
さらに、収納室９４の長手方向に沿った深さを適宜設定することで、固化物の収納可能な容積を自在に調整することが可能となる。
【0058】
さらにまた、ガイド機構１８において長手方向他端に第１防塵プレート１０８を設けているため、そのガイドブロック９６とスライドテーブル１４のエンドプレート８０との間に侵入した粉塵等がボールリターン溝１０６及びボール転動溝８８、１１０へと侵入してしまうことが防止されると共に、テーブル本体７８の下面へと摺接することで、該下面に付着した粉塵等のガイド機構１８側への侵入を防止することも可能となる。
【0059】
またさらに、ガイド機構１８において幅方向両側面に一対の第２防塵プレート１１４ａ、１１４ｂをそれぞれ設けているため、ガイドブロック９６の長手方向一端及び他端側からボール転動溝８８、１１０側への粉塵等の侵入が防止されると共に、前記スライドテーブル１４側及びシリンダ本体１２の下方側から前記ボール転動溝８８、１１０側への粉塵等の侵入も防止することができる。その結果、スライドテーブル１４とガイド機構１８との間へと粉塵等が侵入してボールベアリング１０４へと付着してしまうことが確実に防止され、該粉塵等の侵入に起因したリニアアクチュエータ１０の動作不良を防止することができる。
【0060】
また、シリンダ本体１２において、リング体５６のロッド孔６２ｂに環状の防塵用リング６８を設けることで、シリンダ本体１２の外部に露出したピストンロッド４６の外周面に付着した粉塵等を、該ピストンロッド４６の引き込み動作時に確実に掻き落とすことが可能となり、前記塵埃等のシリンダ室７０内への侵入が確実に防止される。
【0061】
次に、第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０を図９〜図１１に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【0062】
この第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、スライドテーブル１５２においてエンドプレート１５４の上方に開口した一対の作業孔１５６ａ、１５６ｂを備えている点で、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と相違している。
【0063】
このリニアアクチュエータ１５０は、図９〜図１１に示されるように、スライドテーブル１５２を構成するエンドプレート１５４に高さ方向（矢印Ｃ方向）に沿って延在する一対の作業孔１５６ａ、１５６ｂが形成される。
【0064】
この作業孔１５６ａ、１５６ｂは、例えば、テーブル本体７８に連結されるエンドプレート１５４の長手方向他面１５４ａに形成され、且つ、幅方向（矢印Ｂ方向）に所定間隔離間して形成されると共に、断面矩形状で前記エンドプレート１５４の上面から内部に形成された収納室９４まで一直線状に貫通して形成される。すなわち、スライドテーブル１５２において、一対の作業孔１５６ａ、１５６ｂを介して収納室９４が外部と連通している。なお、作業孔１５６ａ、１５６ｂの数量や位置等は、上述した構成に限定されるものではなく、必要に応じて適宜設定すればよいものである。
【0065】
そして、上述したリニアアクチュエータ１５０を粉塵等が飛散する環境下で使用し、例えば、ガイド機構１８のボールベアリング１０４を潤滑するための潤滑剤と前記粉塵等とが混ざった固化物が収納室９４へと収納された際、図示しない作業者が、一対の作業孔１５６ａ、１５６ｂに対して圧縮エアを内部へ向けてそれぞれ噴射する。これにより、圧縮エアの供給作用下に収納室９４内が加圧され、堆積した固化物を長手方向他面１５４ａ側となる収納室９４の開口部から外部へと排出することができる。なお、圧縮エアを用いる代わりに、作業孔１５６ａ、１５６ｂへ棒状の部材を挿入して収納室９４内に堆積した固化物を押し出すことも可能である。
【0066】
従って、収納室９４内に収納された固化物を、スライドテーブル１５２を取り外したり移動させることなく、作業孔１５６ａ、１５６ｂを通じて容易且つ確実に外部へと排出させることができるため、そのメンテナンス性を高めることが可能となる。
【0067】
次に、第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１６０を図１２〜図１７に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【0068】
この第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１６０では、スライドテーブル１６２のエンドプレート１６４に設けられた収納室（収納部）１６６が厚さ方向（長さ方向、矢印Ａ１、Ａ２方向）に貫通している点で、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と相違している。
【0069】
このリニアアクチュエータ１６０は、図１２〜図１４に示されるように、スライドテーブル１６２を構成するエンドプレート１６４に収納室１６６を備え、該収納室１６６が、例えば、同一断面形状で前記エンドプレート１６４の厚さ方向、すなわち、スライドテーブル１６２の長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿って貫通して形成される。すなわち、収納室１６６がエンドプレート１６４の長手方向他面１６４ａに開口している。
【0070】
そして、上述したリニアアクチュエータ１６０を粉塵等が飛散する環境下で使用し、該粉塵等と潤滑剤とが混ざることで生成された固化物が収納室１６６に収納された際、例えば、図示しない作業者が、長手方向他方側（矢印Ａ２方向）に開口した前記収納室１６６の開口部位１６８から前記固化物を外部へと容易且つ確実に取り出すことができるため、スライドテーブル１６２を取り外したり移動させる必要がなく、そのメンテナンス性を高めることが可能となる。
【0071】
さらに、収納室１６６がエンドプレート１６４の長手方向他面１６４ａに開口しているため、ガイド機構１８側から該収納室１６６へと固化物が徐々に押し込まれて堆積していった後に、該固化物が開口部位１６８から外部へと押し出されてエンドプレート１６４から排出されることとなる。すなわち、収納室１６６における固化物を除去するための作業が必要ないため、さらにメンテナンス性を高めることができる。
【0072】
また、図１５〜図１７に示されるように、収納室１６６の開口部位１６８を覆うためのカバー部材１７０をエンドプレート１６４の長手方向他面１６４ａに対して設けるようにしてもよい。カバー部材１７０は、例えば、収納室１６６の開口断面積よりも大きなプレート状に形成され、その四隅をカバー固定ボルト１７２でエンドプレート１６４の長手方向他面１６４ａに対して締結することで、前記収納室１６６の開口部位１６８が覆われる。すなわち、カバー部材１７０は、エンドプレート１６４に対して着脱自在に設けられる。
【0073】
そして、上述したリニアアクチュエータ１６０において、通常の使用状態ではカバー部材１７０をエンドプレート１６４に取り付けた状態とすることで、収納室１６６の開口部位１６８を通じた粉塵等の内部への侵入が防止される。一方、収納室１６６内に堆積した固化物を取り除く場合には、カバー固定ボルト１７２を取り外してカバー部材１７０をエンドプレート１６４から取り外すことで、開口した収納室１６６から前記固化物を取り除き、作業が完了した後に再びカバー部材１７０で覆う。
【0074】
最後に、第４の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１８０を図１８〜図２１に示す。なお、上述した第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１６０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【0075】
この第４の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１８０では、スライドテーブル１８２において厚さ方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に貫通した収納室（収納部）１８４を備えると共に、エンドプレート１８６に一対の作業孔１８８ａ、１８８ｂを備えている点で、第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１６０と相違している。
【0076】
このリニアアクチュエータ１８０は、図１８〜図２１に示されるように、スライドテーブル１８２を構成するエンドプレート１８６の収納室１８４が同一断面形状で厚さ方向、すなわち、スライドテーブル１８２の長手方向（矢印Ａ１、Ａ２方向）に沿って貫通している。また、エンドプレート１８６は、その上面から収納室１８４側に向かって高さ方向（矢印Ｃ方向）に沿って延在する一対の作業孔１８８ａ、１８８ｂが形成され収納室１８４と連通している。
【0077】
そして、上述したリニアアクチュエータ１８０を粉塵等が飛散する環境下で使用し、該粉塵等と潤滑剤とが混ざることで生成された固化物が収納室１８４へと収納された場合に、例えば、図示しない作業者が、長手方向他方側（矢印Ａ２方向）へ開口した収納室１８４の開口部位１９０から前記固化物を外部へと容易且つ確実に取り出すことができる。また、作業孔１８８ａ、１８８ｂを通じて圧縮エアを収納室１８４へと供給することで、前記収納室１８４の内部に堆積している固化物をより一層円滑に前から外部へと排出することができる。
【0078】
その結果、収納室１８４内の固化物を、その開口部位１９０から取り出せると同時に、作業孔１８８ａ、１８８ｂから供給される圧縮エアも利用することで、前記固化物を取り除くためのメンテナンス性を大幅に高めることが可能となる。
【0080】
このカバー部材１９２は、例えば、収納室１８４の開口部位１９０を覆う第１蓋部１９４と、該第１蓋部１９４の上端に直交するように形成された第２蓋部１９６とから断面Ｌ字状に形成される。そして、カバー部材１９２は、その第１蓋部１９４の四隅をカバー固定ボルト１９８でエンドプレート１８６の長手方向他面１８６ａに締結することで、前記収納室１８４の開口部位１９０が覆われると共に、第２蓋部１９６が前記エンドプレート１８６の上面に当接して一対の作業孔１８８ａ、１８８ｂを覆う。
【0081】
そして、上述したリニアアクチュエータ１８０において、通常の使用状態ではカバー部材１９２をエンドプレート１８６に取り付けた状態とすることで、収納室１８４の開口部位１９０及び作業孔１８８ａ、１８８ｂを通じた粉塵等の内部への侵入が防止される。
【0082】
一方、収納室１８４内に堆積した固化物を取り除く場合には、カバー固定ボルト１９８を取り外してカバー部材１９２を離脱させることで、収納室１８４の開口部位１９０から前記固化物を外部へと取り出し、作業が完了した後に再びカバー部材１９２で覆うことで該収納室１８４の開口部位１９０及び作業孔１８８ａ、１８８ｂを通じた粉塵等の侵入が好適に防止される。
【0083】
なお、本発明に係るリニアアクチュエータは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【0084】
１０、１５０、１６０、１８０…リニアアクチュエータ１２…シリンダ本体
１４、１５２、１６２、１８２…スライドテーブル
１８…ガイド機構 ６８…防塵用リング
７０…シリンダ室 ７８…テーブル本体
８０、１５４、１６４、１８６…エンドプレート
９４、１６６、１８４…収納室 ９６…ガイドブロック
１０８…第１防塵プレート １１４ａ、１１４ｂ…第２防塵プレート
１５６ａ、１５６ｂ、１８８ａ、１８８ｂ…作業孔
１７０、１９２…カバー部材