特開 2021-139891 センサシステムおよび動力伝達装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-139891(P2021-139891A)

(43)【公開日】2021年9月16日

(54)【発明の名称】センサシステムおよび動力伝達装置

(51)【国際特許分類】

   G01L 25/00 20060101AFI20210820BHJP

   G01L 3/14 20060101ALI20210820BHJP

【ＦＩ】

   G01L25/00 A

   G01L3/14 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2021-26773(P2021-26773)

(22)【出願日】2021年2月22日

(31)【優先権主張番号】特願2020-32516(P2020-32516)

(32)【優先日】2020年2月28日

(33)【優先権主張国】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000107147

【氏名又は名称】日本電産シンポ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100118496

【弁理士】

【氏名又は名称】青山 耕三

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼木 大輔

(72)【発明者】

【氏名】赤峰 勇佑

(57)【要約】      （修正有）

【課題】同一の計測対象に対して２つのセンサを設けることなく、センサの故障を検出できるセンサシステムを提供する。
【解決手段】センサシステム５０は、計測対象が異なる第１センサおよび第２センサと、故障検出部５１とを備える。故障検出部５１は、第１センサおよび第２センサのいずれか一方の故障を検出する。故障検出部５１は、第１センサから、温度に応じて変動する第１出力値を取得する。また、故障検出部５１は、第２センサから、温度に応じて変動する第２出力値を取得する。そして、故障検出部５１は、第１出力値と第２出力値との関係が、所定の正常範囲内であるか否かに基づいて、第１センサおよび第２センサのいずれか一方の故障を検出する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

計測対象が異なる第１センサおよび第２センサと、
前記第１センサおよび前記第２センサのいずれか一方の故障を検出する故障検出部と、を備えたセンサシステムであって、
前記故障検出部は、前記第１センサから、温度に応じて変動する第１出力値を取得するとともに、前記第２センサから、温度に応じて変動する第２出力値を取得し、前記第１出力値と前記第２出力値との関係が、所定の正常範囲内であるか否かに基づいて、前記第１センサおよび前記第２センサのいずれか一方の故障を検出する、センサシステム。

【請求項2】

請求項１に記載のセンサシステムであって、
基板をさらに備え、
前記第１センサおよび前記第２センサは、前記基板に搭載されている、センサシステム。

【請求項3】

請求項２に記載のセンサシステムであって、
前記第１センサは、前記基板が固定される対象物の歪みを検出する歪みセンサであり、
前記第２センサは、前記対象物の温度を検出する温度センサである、センサシステム。

【請求項4】

請求項３に記載のセンサシステムであって、
前記第１センサは、
前記対象物の歪みに基づいて、前記対象物にかかるトルクを検出するセンサと、
前記対象物の歪みに基づいて、前記対象物に入力される回転運動の回転角度を検出するセンサと、の少なくともいずれか１つを含む、センサシステム。

【請求項5】

請求項２から請求項４までのいずれか１項に記載のセンサシステムであって、
前記第１センサは、
前記基板に設けられた複数の抵抗線により構成されるブリッジ回路と、
前記ブリッジ回路と直列に接続された電流計と、を有し、
前記第１出力値は、前記電流計の計測値である、センサシステム。

【請求項6】

請求項２から請求項５までのいずれか１項に記載のセンサシステムであって、
前記第２センサは、
前記基板に設けられた円弧状または円環状の抵抗線を有する、センサシステム。

【請求項7】

請求項２から請求項６までのいずれか１項に記載のセンサシステムを備えた動力伝達装置であって、
前記基板が固定されるギアを有する、動力伝達装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、センサシステムおよび動力伝達装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、ロボットの関節などに搭載される減速機の需要が急速に高まっている。従来の減速機については、例えば、特開２００４−１９８４００号公報に記載されている。この公報では、減速後の回転数で回転する可撓性外歯歯車に、歪みゲージが貼り付けられている。これにより、可撓性外歯歯車にかかるトルクの計測が可能となっている。

【特許文献1】特開２００４−１９８４００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

しかしながら、トルクの計測に用いられる歪みゲージの抵抗線は、ジグザグに折り返された複雑な形状を有する。このため、減速機の駆動時に、可撓性外歯歯車が撓み変形を繰り返すことによって、歪みゲージの抵抗線の一部に断線等の故障が発生する場合がある。このような故障が発生すると、歪みゲージの計測値が変化する。ただし、歪みゲージの計測値の変化を検出するだけでは、その変化が、断線等の故障によるものか、それとも、可撓性外歯歯車にかかるトルクの変化によるものかの区別がつかない。

【0004】

このため、従来、歪みゲージの故障を検出するためには、可撓性外歯歯車の同一の箇所に２つの歪みゲージを配置し、それらの歪みゲージの計測値を比較する必要があった。

【0005】

本発明の目的は、同一の計測対象に対して２つのセンサを設けることなく、センサの故障を検出できるセンサシステムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本願発明は、計測対象が異なる第１センサおよび第２センサと、前記第１センサおよび前記第２センサのいずれか一方の故障を検出する故障検出部と、を備えたセンサシステムであって、前記故障検出部は、前記第１センサから、温度に応じて変動する第１出力値を取得するとともに、前記第２センサから、温度に応じて変動する第２出力値を取得し、前記第１出力値と前記第２出力値との関係が、所定の正常範囲内であるか否かに基づいて、前記第１センサおよび前記第２センサのいずれか一方の故障を検出する。

【発明の効果】

【0007】

本願発明によれば、計測対象が異なる第１センサおよび第２センサの出力値を取得し、それらの出力値の関係が、正常範囲内であるか否かに基づいて、第１センサおよび第２センサのいずれか一方の故障を検出する。これにより、同一の計測対象に対して２つのセンサを設けることなく、センサの故障を検出できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、動力伝達装置の縦断面図である。

【図2】図２は、動力伝達装置の横断面図である。

【図3】図３は、センサ基板の裏面を示した図である。

【図4】図４は、センサ基板表面を示した図である。

【図5】図５は、ダイヤフラム部およびセンサ基板の部分断面図である。

【図6】図６は、第１ブリッジ回路の回路図である。

【図7】図７は、第２ブリッジ回路の回路図である。

【図8】図８は、第１電圧計の計測値および第２電圧計の計測値を示したグラフである。

【図9】図９は、第３ブリッジ回路の回路図である。

【図10】図１０は、補正処理を概念的に示した図である。

【図11】図１１は、温度センサの検出回路の回路図である。

【図12】図１２は、ブリッジ回路と直列に接続された電流計の計測値に基づいて温度補正をする方法について、温度補正の流れを示したフローチャートである

【図13】第３ブリッジ回路の変形回路図である。

【図14】図１４は、故障検出部の入出力を概念的に示した図である。

【図15】図１５は、故障検出処理の流れを示したフローチャートである。

【図16】図１６は、計測値の変化を示したグラフである。

【図17】図１７は、変形例に係る温度センサの検出回路の回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本願の例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本願では、動力伝達装置の中心軸と平行な方向を「軸方向」、動力伝達装置の中心軸に直交する方向を「半径方向」、動力伝達装置の中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、とそれぞれ称する。ただし、上記の「平行な方向」は、略平行な方向も含む。また、上記の「直交する方向」は、略直交する方向も含む。

【0010】

＜１．動力伝達装置の構成＞
図１は、第１実施形態に係る動力伝達装置１の縦断面図である。図２は、図１のＡ−Ａ位置から見た動力伝達装置１の横断面図である。この動力伝達装置１は、モータから得られる第１回転数の回転運動を、第１回転数よりも低い第２回転数に減速させつつ後段へ伝達する装置である。動力伝達装置１は、例えば、ロボットの関節に、モータとともに組み込まれて使用される。ただし、本発明の動力伝達装置は、アシストスーツ、無人搬送台車などの他の装置に用いられるものであってもよい。

【0011】

図１および図２に示すように、本実施形態の動力伝達装置１は、インタナルギア１０、フレックスギア２０、波動発生器３０、およびセンサ基板４０を備えている。

【0012】

インタナルギア１０は、内周面に複数の内歯１１を有する円環状のギアである。インタナルギア１０は、動力伝達装置１が搭載される装置の枠体に、例えばねじ止めで固定される。インタナルギア１０は、中心軸９と同軸に配置される。また、インタナルギア１０は、フレックスギア２０の後述する筒状部２１の半径方向外側に位置する。インタナルギア１０の剛性は、フレックスギア２０の筒状部２１の剛性よりも、はるかに高い。このため、インタナルギア１０は、実質的に剛体とみなすことができる。インタナルギア１０は、円筒状の内周面を有する。複数の内歯１１は、当該内周面において、周方向に一定のピッチで配列されている。各内歯１１は、半径方向内側へ向けて突出する。

【0013】

フレックスギア２０は、可撓性を有する円環状のギアである。フレックスギア２０は、中心軸９を中心として回転可能に支持される。フレックスギア２０は、本発明における「ギア」の一例である。

【0014】

本実施形態のフレックスギア２０は、筒状部２１と平板部２２とを有する。筒状部２１は、中心軸９の周囲において、軸方向に筒状に延びる。筒状部２１の軸方向の先端は、波動発生器３０の半径方向外側、かつ、インタナルギア１０の半径方向内側に位置する。筒状部２１は、可撓性を有するため、半径方向に変形可能である。特に、インタナルギア１０の半径方向内側に位置する筒状部２１の先端部は、自由端であるため、他の部分よりも大きく半径方向に変位可能である。

【0015】

フレックスギア２０は、複数の外歯２３を有する。複数の外歯２３は、筒状部２１の軸方向の先端部付近の外周面において、周方向に一定のピッチで配列されている。各外歯２３は、半径方向外側へ向けて突出する。上述したインタナルギア１０が有する内歯１１の数と、フレックスギア２０が有する外歯２３の数とは、僅かに相違する。

【0016】

平板部２２は、ダイヤフラム部２２１と肉厚部２２２とを有する。ダイヤフラム部２２１は、筒状部２１の軸方向の基端部から、半径方向外側へ向けて平板状に広がり、かつ、中心軸９を中心として円環状に広がる。ダイヤフラム部２２１は、軸方向に僅かに撓み変形可能である。肉厚部２２２は、ダイヤフラム部２２１の半径方向外側に位置する、円環状の部分である。肉厚部２２２の軸方向の厚みは、ダイヤフラム部２２１の軸方向の厚みよりも厚い。肉厚部２２２は、動力伝達装置１が搭載される装置の、駆動対象となる部品に、例えばねじ止めで固定される。

【0017】

波動発生器３０は、フレックスギア２０の筒状部２１に、周期的な撓み変形を発生させる機構である。波動発生器３０は、カム３１と可撓性軸受３２とを有する。カム３１は、中心軸９を中心として回転可能に支持される。カム３１は、軸方向に視たときに楕円形の外周面を有する。可撓性軸受３２は、カム３１の外周面と、フレックスギア２０の筒状部２１の内周面との間に介在する。したがって、カム３１と筒状部２１とは、異なる回転数で回転できる。

【0018】

可撓性軸受３２の内輪は、カム３１の外周面に接触する。可撓性軸受３２の外輪は、フレックスギア２０の内周面に接触する。このため、フレックスギア２０の筒状部２１は、カム３１の外周面に沿った楕円形状に変形する。その結果、当該楕円の長軸の両端に相当する２箇所において、フレックスギア２０の外歯２３と、インタナルギア１０の内歯１１とが噛み合う。周方向の他の位置においては、外歯２３と内歯１１とが噛み合わない。

【0019】

カム３１は、直接または他の動力伝達機構を介して、モータに接続される。モータを駆動させると、カム３１は、中心軸９を中心として第１回転数で回転する。これにより、フレックスギア２０の上述した楕円の長軸も、第１回転数で回転する。そうすると、外歯２３と内歯１１との噛み合い位置も、周方向に第１回転数で変化する。また、上述の通り、インタナルギア１０の内歯１１の数と、フレックスギア２０の外歯２３の数とは、僅かに相違する。この歯数の差によって、カム３１の１回転ごとに、外歯２３と内歯１１との噛み合い位置が、周方向に僅かに変化する。その結果、インタナルギア１０に対してフレックスギア２０が、中心軸９を中心として、第１回転数よりも低い第２回転数で回転する。したがって、フレックスギア２０から、減速された第２回転数の回転運動を取り出すことができる。

【0020】

＜２．センサ基板について＞
＜２−１．センサ基板の構成＞
センサ基板４０は、フレックスギア２０にかかるトルクを検出するためのセンサが搭載された基板である。図１に示すように、本実施形態では、円板状のダイヤフラム部２２１の円形の表面に、センサ基板４０が固定されている。

【0021】

図３は、センサ基板４０の表裏面のうち、ダイヤフラム部２２１に対向する裏面を示した図である。図４は、センサ基板４０の表裏面のうち、ダイヤフラム部２２１に対向しない表面を示した図である。図５は、ダイヤフラム部２２１およびセンサ基板４０の部分断面図である。

【0022】

本実施形態のセンサ基板４０は、柔軟に変形可能なフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）である。図３および図４に示すように、センサ基板４０は、中心軸９を中心とする円環状の本体部４１と、本体部４１から半径方向外側へ向けて突出したフラップ部４２とを有する。また、図５に示すように、センサ基板４０は、絶縁層４３と、導体層４４とを有する。絶縁層４３は、絶縁体である樹脂からなる。導体層４４は、導体である金属からなる。導体層４４の材料には、例えば、銅または銅を含む合金が用いられる。本実施形態のセンサ基板４０は、絶縁層４３の表面と裏面との両方に、導体層４４を有する。

【0023】

また、図５に示すように、センサ基板４０は、両面接着テープ４５により、フレックスギア２０のダイヤフラム部２２１に固定される。具体的には、ダイヤフラム部２２１の表面と、センサ基板４０の裏面とが、両面接着テープ４５を介して固定される。両面接着テープ４５は、接着力を有する材料がテープ状に成形されて、形状を維持できる程度に硬化されたものである。このような両面接着テープ４５を用いれば、流動性を有する接着剤を用いる場合よりも、ダイヤフラム部２２１に対するセンサ基板４０の固定作業が容易となる。また、作業者による固定作業のばらつきを低減できる。

【0024】

センサ基板４０には、回転角度検出センサＳ１、トルク検出センサＳ２、および温度センサＳ３と、信号処理回路４６とが搭載されている。回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２は、いずれも、ダイヤフラム部２２１の歪みを検出する歪みセンサであり、本発明における「第１センサ」の一例である。温度センサＳ３は、動力伝達装置１の温度を検出するセンサであり、本発明における「第２センサ」の一例である。

【0025】

回転角度検出センサＳ１は、本体部４１の表裏面のうち、ダイヤフラム部２２１に対向する裏面に形成された抵抗線パターンを有する。すなわち、裏面側の導体層４４が、回転角度検出センサＳ１の抵抗線パターンを含む。トルク検出センサＳ２および温度センサＳ３は、本体部４１の表裏面のうち、ダイヤフラム部２２１に対向しない表面に形成された抵抗線パターンを有する。すなわち、表面側の導体層４４が、トルク検出センサＳ２の抵抗線パターンおよび温度センサＳ３の抵抗線パターンを含む。

【0026】

信号処理回路４６は、フラップ部４２に配置されている。

【0027】

＜２−２．回転角度検出センサについて＞
回転角度検出センサＳ１は、ダイヤフラム部２２１の歪みに基づいて、フレックスギア２０に入力される回転運動の回転角度を検出するセンサである。図３に示すように、回転角度検出センサＳ１は、４つの第１抵抗線パターンＲ１と、４つの第２抵抗線パターンＲ２とを含む。

【0028】

４つの第１抵抗線パターンＲ１は、中心軸９の周囲において、周方向に等間隔に配列されている。第１抵抗線パターンＲ１は、それぞれ、１本の導体がジグザグに曲折しながら周方向に延びる、全体として円弧状のパターンである。本実施形態では、中心軸９の周囲の約４５°の角度範囲に、１つの第１抵抗線パターンＲ１が広がっている。また、第１抵抗線パターンＲ１は、複数の第１抵抗線ｒ１を含む。複数の第１抵抗線ｒ１は、周方向に微小な間隔をあけて配列される。各第１抵抗線ｒ１は、フレックスギア２０の半径方向に沿って、直線状に延びる。周方向に隣り合う第１抵抗線ｒ１の端部同士は、半径方向の内側または外側で交互に接続される。これにより、複数の第１抵抗線ｒ１が、全体として直列に接続される。

【0029】

４つの第２抵抗線パターンＲ２は、中心軸９の周囲において、周方向に等間隔に配列されている。第２抵抗線パターンＲ２は、それぞれ、１本の導体がジグザグに曲折しながら周方向に延びる、全体として円弧状のパターンである。本実施形態では、中心軸９の周囲の約４５°の角度範囲に、１つの第２抵抗線パターンＲ２が広がっている。また、第２抵抗線パターンＲ２は、複数の第２抵抗線ｒ２を含む。複数の第２抵抗線ｒ２は、周方向に微小な間隔をあけて配列される。各第２抵抗線ｒ２は、フレックスギア２０の半径方向に沿って、直線状に延びる。周方向に隣り合う第２抵抗線ｒ２の端部同士は、半径方向の内側または外側で交互に接続される。これにより、複数の第２抵抗線ｒ２が、全体として直列に接続される。

【0030】

４つの第２抵抗線パターンＲ２は、４つの第１抵抗線パターンＲ１と同心円状に、かつ、周方向において第１抵抗線パターンＲ１が配置されない領域に、配置される。本実施形態では、第１抵抗線パターンＲ１と、第２抵抗線パターンＲ２とが、周方向に交互に配列される。そして、４つの第１抵抗線パターンＲ１と、４つの第２抵抗線パターンＲ２とが、全体として、中心軸９を中心とする円環状に広がっている。

【0031】

図６は、４つの第１抵抗線パターンＲ１を含む第１ブリッジ回路Ｃ１の回路図である。図６の例では、４つの第１抵抗線パターンＲ１を、Ｒａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄとして区別して示している。第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄは、図３においてＲａを１つ目として反時計回りにこの順に配列されている。

【0032】

図６に示すように、４つの第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄは、第１ブリッジ回路Ｃ１に組み込まれている。第１抵抗線パターンＲａと第１抵抗線パターンＲｂとは、この順に直列に接続される。第１抵抗線パターンＲｄと第１抵抗線パターンＲｃとは、この順に直列に接続される。そして、電源電圧の＋極と−極との間において、２つの第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｂの列と、２つの第１抵抗線パターンＲｄ，Ｒｃの列とが、並列に接続される。また、第１抵抗線パターンＲａおよび第１抵抗線パターンＲｂの中点Ｍ１１と、第１抵抗線パターンＲｄおよび第１抵抗線パターンＲｃの中点Ｍ１２とが、第１電圧計Ｖ１に接続される。

【0033】

図７は、４つの第２抵抗線パターンＲ２を含む第２ブリッジ回路Ｃ２の回路図である。図７の例では、４つの第２抵抗線パターンＲ２を、Ｒｅ，Ｒｆ，Ｒｇ，Ｒｈとして区別して示している。第２抵抗線パターンＲｅは、図３において、第１抵抗線パターンＲａと第１抵抗線パターンＲｄとの間に位置する。また、第２抵抗線パターンＲｅ，Ｒｆ，Ｒｇ，Ｒｈは、図３においてＲｅを１つ目として時計回りにこの順に配列されている。

【0034】

図７に示すように、４つの第２抵抗線パターンＲｅ、Ｒｆ、Ｒｇ、Ｒｈは、第２ブリッジ回路Ｃ２に組み込まれている。第２抵抗線パターンＲｅと第２抵抗線パターンＲｆとは、この順に直列に接続される。第２抵抗線パターンＲｈと第２抵抗線パターンＲｇとは、この順に直列に接続される。そして、電源電圧の＋極と−極との間において、２つの第２抵抗線パターンＲｅ，Ｒｆの列と、２つの第２抵抗線パターンＲｈ，Ｒｇの列とが、並列に接続される。また、第２抵抗線パターンＲｅおよび第２抵抗線パターンＲｆの中点Ｍ２１と、第２抵抗線パターンＲｈおよび第２抵抗線パターンＲｇの中点Ｍ２２とが、第２電圧計Ｖ２に接続される。

【0035】

動力伝達装置１の駆動時には、ダイヤフラム部２２１に、半径方向に伸長する部分（以下「伸長部」と称する）と、半径方向に収縮する部分（以下「収縮部」と称する）とが、発生する。具体的には、２つの伸長部と２つの収縮部とが、周方向に交互に発生する。すなわち、伸長部と収縮部とは、周方向に９０°間隔で交互に発生する。そして、これらの伸長部および収縮部の発生する箇所が、上述した第１回転数で回転する。

【0036】

センサ基板４０の裏面に設けられた第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄおよび第２抵抗線パターンＲｅ、Ｒｆ、Ｒｇ、Ｒｈの各抵抗値は、ダイヤフラム部２２１の半径方向の歪みに応じて変化する。例えば、上述した伸長部が、ある抵抗線パターンと重なるときには、その抵抗線パターンの抵抗値が増加する。また、上述した収縮部が、ある抵抗線パターンと重なるときには、その抵抗線パターンの抵抗値が低下する。

【0037】

図３の例では、収縮部が第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｃと重なるときには、伸長部が第１抵抗線パターンＲｂ，Ｒｄと重なる。また、伸長部が第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｃと重なるときには、収縮部が第１抵抗線パターンＲｂ，Ｒｄと重なる。したがって、第１ブリッジ回路Ｃ１では、第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｃと、第１抵抗線パターンＲｂ，Ｒｄとが、逆向きの抵抗値変化を示す。

【0038】

また、図３の例では、収縮部が第２抵抗線パターンＲｅ，Ｒｇと重なるときには、伸長部が第２抵抗線パターンＲｆ，Ｒｈと重なる。また、伸長部が第２抵抗線パターンＲｅ，Ｒｇと重なるときには、収縮部が第２抵抗線パターンＲｆ，Ｒｈと重なる。したがって、第２ブリッジ回路Ｃ２では、第２抵抗線パターンＲｅ，Ｒｇと、第２抵抗線パターンＲｆ，Ｒｈとが、逆向きの抵抗値変化を示す。

【0039】

図８は、第１ブリッジ回路Ｃ１の第１電圧計Ｖ１の計測値ｖ１と、第２ブリッジ回路Ｃ２の第２電圧計Ｖ２の計測値ｖ２とを、示したグラフである。図８のように、第１電圧計Ｖ１および第２電圧計Ｖ２からは、それぞれ、周期的に変化する正弦波状の計測値ｖ１，ｖ２が出力される。この計測値の周期Ｔは、上述した第１回転数の周期の１／２倍に相当する。また、第１電圧計Ｖ１の計測値の位相に対して、第２電圧計Ｖ２の計測値の位相が、第１回転数の１／８周期分（計測値ｖ１，ｖ２の１／４周期分）進んでいるか、それとも第１回転数の１／８周期分（計測値ｖ１，ｖ２の１／４周期分）遅れているかにより、入力される回転運動の向きを判断できる。

【0040】

したがって、これらの２つの電圧計Ｖ１，Ｖ２の計測値ｖ１，ｖ２に基づいて、フレックスギア２０に入力される回転運動の回転角度を検出することができる。具体的には、例えば、第１電圧計Ｖ１および第２電圧計Ｖ２の各計測値ｖ１，ｖ２の組み合わせと、回転角度とを対応づけた関数テーブルを予め用意し、その関数テーブルに計測値ｖ１，ｖ２を入力することにより、回転角度を出力すればよい。

【0041】

また、この回転角度検出センサＳ１は、第１電流計Ａ１を有する。図６に示すように、第１電流計Ａ１は、第１ブリッジ回路Ｃ１に対して直列に接続されている。したがって、第１電流計Ａ１は、第１ブリッジ回路Ｃ１における第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄの合成抵抗に応じた電流値を計測する。具体的には、電源電圧をＶｏとし、第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄの合成抵抗をＲｃ１とすると、第１電流計Ａ１の計測値Ｉ１は、Ｉ１＝Ｖｏ／Ｒｃ１となる。

【0042】

第１抵抗線パターンＲａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄの個々の抵抗値は、上述したダイヤフラム部２２１の伸長・収縮に応じて変化する。しかしながら、これらの合成抵抗Ｒｃ１は、ダイヤフラム部２２１の伸長・収縮の影響を受けにくく、温度による変化が支配的となる。したがって、第１電流計Ａ１の計測値Ｉ１は、動力伝達装置１の温度に応じて変動する。この第１電流計Ａ１の計測値Ｉ１は、本発明における「第１出力値」の一例である。

【0043】

また、この回転角度検出センサＳ１は、第２電流計Ａ２を有する。図７に示すように、第２電流計Ａ２は、第２ブリッジ回路Ｃ２に対して直列に接続されている。したがって、第２電流計Ａ２は、第２ブリッジ回路Ｃ２における第２抵抗線パターンＲｅ，Ｒｆ，Ｒｇ，Ｒｈの合成抵抗に応じた電流値を計測する。具体的には、電源電圧をＶｏとし、第２抵抗線パターンＲｅ，Ｒｆ，Ｒｇ，Ｒｈの合成抵抗をＲｃ２とすると、第２電流計Ａ２の計測値Ｉ２は、Ｉ２＝Ｖｏ／Ｒｃ２となる。

【0044】

第２抵抗線パターンＲｅ，Ｒｆ，Ｒｇ，Ｒｈの個々の抵抗値は、上述したダイヤフラム部２２１の伸長・収縮に応じて変化する。しかしながら、これらの合成抵抗Ｒｃ２は、ダイヤフラム部２２１の伸長・収縮の影響を受けにくく、温度による変化が支配的となる。したがって、第２電流計Ａ２の計測値Ｉ２は、動力伝達装置１の温度に応じて変動する。この第２電流計Ａ２の計測値Ｉ２は、本発明における「第１出力値」の一例である。

【0045】

＜２−３．トルク検出センサについて＞
トルク検出センサＳ２は、ダイヤフラム部２２１の歪みに基づいて、フレックスギア２０にかかるトルクを検出するセンサである。図４に示すように、トルク検出センサＳ２は、第３抵抗線パターンＲ３と、第４抵抗線パターンＲ４とを含む。

【0046】

第３抵抗線パターンＲ３は、１本の導体がジグザグに曲折しながら周方向に延びる、全体として円弧状または円環状のパターンである。本実施形態では、中心軸９の周囲の約３６０°の範囲に、第３抵抗線パターンＲ３が設けられている。また、第３抵抗線パターンＲ３は、複数の第３抵抗線ｒ３を含む。複数の第３抵抗線ｒ３は、互いに略平行な姿勢で、周方向に配列される。各第３抵抗線ｒ３は、フレックスギア２０の半径方向に対して、周方向一方側に傾斜している。半径方向に対する第３抵抗線ｒ３の傾斜角度は、例えば４５°とされる。周方向に隣り合う第３抵抗線ｒ３の端部同士は、半径方向の内側または外側で交互に接続される。これにより、複数の第３抵抗線ｒ３が、全体として直列に接続される。

【0047】

第４抵抗線パターンＲ４は、１本の導体がジグザグに曲折しながら周方向に延びる、全体として円弧状または円環状のパターンである。第４抵抗線パターンＲ４は、第３抵抗線パターンＲ３よりも、半径方向内側に位置する。本実施形態では、中心軸９の周囲の約３６０°の範囲に、第４抵抗線パターンＲ４が設けられている。また、第４抵抗線パターンＲ４は、複数の第４抵抗線ｒ４を含む。複数の第４抵抗線ｒ４は、互いに略平行な姿勢で、周方向に配列される。各第４抵抗線ｒ４は、フレックスギア２０の半径方向に対して、周方向他方側に傾斜している。半径方向に対する第４抵抗線ｒ４の傾斜角度は、例えば４５°とされる。周方向に隣り合う第４抵抗線ｒ４の端部同士は、半径方向の内側または外側で交互に接続される。これにより、複数の第４抵抗線ｒ４が、全体として直列に接続される。

【0048】

図９は、第３抵抗線パターンＲ３および第４抵抗線パターンＲ４を含む第３ブリッジ回路Ｃ３の回路図である。図９に示すように、本実施形態の第３ブリッジ回路Ｃ３は、第３抵抗線パターンＲ３、第４抵抗線パターンＲ４、および２つの固定抵抗Ｒｓを含む。第３抵抗線パターンＲ３と第４抵抗線パターンＲ４とは、直列に接続される。２つ固定抵抗Ｒｓは、直列に接続される。そして、電源電圧の＋極と−極との間において、２つ抵抗線パターンＲ３，Ｒ４の列と、２つの固定抵抗Ｒｓの列とが、並列に接続される。また、第３抵抗線パターンＲ３および第４抵抗線パターンＲ４の中点Ｍ１と、２つの固定抵抗Ｒｓの中点Ｍ２とが、第３電圧計Ｖ３に接続される。

【0049】

第３抵抗線パターンＲ３および第４抵抗線パターンＲ４の各抵抗値は、フレックスギア２０にかかるトルクに応じて変化する。例えば、フレックスギア２０に、中心軸９を中心として、周方向の一方側へ向かうトルクがかかると、第３抵抗線パターンＲ３の抵抗値が低下し、第４抵抗線パターンＲ４の抵抗値が増加する。一方、フレックスギア２０に、中心軸９を中心として、周方向の他方側へ向かうトルクがかかると、第３抵抗線パターンＲ３の抵抗値が増加し、第４抵抗線パターンＲ４の抵抗値が低下する。このように、第３抵抗線パターンＲ３と第４抵抗線パターンＲ４とは、トルクに対して互いに逆向きの抵抗値変化を示す。

【0050】

そして、第３抵抗線パターンＲ３および第４抵抗線パターンＲ４の各抵抗値が変化すると、第３抵抗線パターンＲ３および第４抵抗線パターンＲ４の中点Ｍ１と、２つの固定抵抗Ｒｓの中点Ｍ２との間の電位差が変化するので、第３電圧計Ｖ３の計測値ｖ３が変化する。したがって、この第３電圧計Ｖ３の計測値ｖ３に基づいて、フレックスギア２０にかかるトルクの向きおよび大きさを検出することができる。

【0051】

また、このトルク検出センサＳ２は、第３電流計Ａ３を有する。図９に示すように、第３電流計Ａ３は、第３ブリッジ回路Ｃ３に対して直列に接続されている。したがって、第３電流計Ａ３は、第３ブリッジ回路Ｃ３における第３抵抗線パターンＲ３、第４抵抗線パターンＲ４、および２つの固定抵抗Ｒｓの合成抵抗に応じた電流値を計測する。具体的には、電源電圧をＶｏとし、第３抵抗線パターンＲ３、第４抵抗線パターンＲ４、および２つの固定抵抗Ｒｓの合成抵抗をＲｃ３とすると、第３電流計Ａ３の計測値Ｉ３は、Ｉ３＝Ｖｏ／Ｒｃ３となる。

【0052】

第３抵抗線パターンＲ３および第４抵抗線パターンＲ４の個々の抵抗値は、フレックスギア２０にかかるトルクに応じて変化する。しかしながら、第３抵抗線パターンＲ３、第４抵抗線パターンＲ４、および２つの固定抵抗Ｒｓの合成抵抗Ｒｃ３は、フレックスギア２０にかかるトルクの影響を受けにくく、温度による変化が支配的となる。したがって、第３電流計Ａ３の計測値Ｉ３は、動力伝達装置１の温度に応じて変動する。この第３電流計Ａ３の計測値Ｉ３は、本発明における「第１出力値」の一例である。

【0053】

＜２−４．リップル補正について＞
動力伝達装置１の駆動時には、フレックスギア２０に、周期的な撓み変形が生じる。したがって、上述した第３電圧計Ｖ３の計測値ｖ３には、本来計測したいトルクを反映した成分と、フレックスギア２０の周期的な撓み変形に起因する誤差成分（リップル）とが含まれる。当該誤差成分は、フレックスギア２０に入力される回転運動の回転角度に応じて変化する。

【0054】

そこで、信号処理回路４６は、第３電圧計Ｖ３の計測値から、上記の誤差成分をキャンセルするための補正処理を行う。図１０は、信号処理回路４６の当該補正処理を、概念的に示した図である。図１０のように、信号処理回路４６には、第１電圧計Ｖ１、第２電圧計Ｖ２、および第３電圧計Ｖ３の各計測値ｖ１，ｖ２，ｖ３が入力される。信号処理回路４６は、まず、第１電圧計Ｖ１および第２電圧計Ｖ２の計測値ｖ１，ｖ２に基づいて、フレックスギア２０に入力される回転運動の回転角度を検出する。そして、検出された回転角度に応じて、上述した誤差成分を推定する。その後、第３電圧計Ｖ３の計測値ｖ３を、推定された誤差成分を用いて補正する。その結果、フレックスギア２０にかかるトルクを、より精度よく出力することができる。

【0055】

なお、信号処理回路４６は、上述した回転角度を演算することなく、第１電圧計Ｖ１および第２電圧計Ｖ２の各計測値ｖ１，ｖ２に所定の係数をかけて、第３電圧計Ｖ３の計測値ｖ３に合成してもよい。このようにすれば、回転角度の演算にかかる処理負担が削減されるため、信号処理回路４６の演算速度を向上させることができる。

【0056】

＜２−５．温度補正について＞
上述の通り、導体層４４の材料に、銅または銅を含む合金を用いると、センサ基板４０の材料費を抑えることができる。ただし、他の高価な材料と比べて、銅の抵抗値は、環境温度により変化しやすい。そこで、本実施形態のセンサ基板４０は、温度の影響を補正するために、温度センサＳ３を備えている。図４に示すように、温度センサＳ３は、フレックスギア２０の周方向に沿って、円弧状または円環状に延びる第５抵抗線パターンＲ５を有する。

【0057】

図１１は、第５抵抗線パターンＲ５を含む検出回路Ｃ４の回路図である。図１１に示すように、第５抵抗線パターンＲ５の一端は、電源電圧の＋極に接続されている。また、第５抵抗線パターンＲ５の他端は、電源電圧の−極に接続されている。また、温度センサＳ３は、第４電流計Ａ４を有する。図１１に示すように、第４電流計Ａ４は、第５抵抗線パターンＲ５に対して直列に接続されている。したがって、第４電流計Ａ４は、第５抵抗線パターンＲ５の抵抗値に応じた電流値を計測する。具体的には、電源電圧をＶｏとすると、第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４は、Ｉ４＝Ｖｏ／Ｒ５となる。

【0058】

第５抵抗線パターンＲ５は、円弧状または円環状であるため、第５抵抗線パターンＲ５の抵抗値は、フレックスギア２０にかかるトルクの影響を受けにくく、温度による変化が支配的となる。したがって、第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４は、動力伝達装置１の温度に応じて変動する。この第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４は、本発明における「第２出力値」の一例である。

【0059】

信号処理回路４６は、第３電圧計Ｖ３の計測値ｖ３を、上記の回転角度だけではなく、第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４も考慮して、補正する。具体的には、第３電圧計Ｖ３の計測値ｖ３を、温度による変化をキャンセルする方向に増加または減少させる。このようにすれば、安価な銅または銅合金を使用しつつ、温度変化の影響を抑制して、フレックスギア２０にかかるトルクを、より精度よく検出できる。

【0060】

温度センサＳ３の第５抵抗線パターンＲ５は、中心軸９を中心とする円弧状または円環状である。このため、動力伝達装置１の駆動時に、第５抵抗線パターンＲ５に対して応力が掛かりにくい。したがって、第５抵抗線パターンＲ５は、他の抵抗線パターンＲ１〜Ｒ４に比べて、断線等の故障が発生しにくい。

【0061】

図１３のようなフルブリッジ回路につき、電圧計の計測値に対して温度補正を行うことを考える。図１３のフルブリッジ回路と直列に接続された、第５電流計Ａ５の計測値を、計測値Ｉ５とする。第３電圧計Ｖ３の計測値ｖ３に対して上記のような温度補正をするために、第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４ではなく、第５電流計Ａ５の計測値Ｉ５に基づいて温度補正をしてもよい。計測値Ｉ４に基づいて温度補正をする場合では、温度センサＳ３の検出回路Ｃ４が含んでいる第５抵抗線パターンＲ５の位置は、回転角度検出センサＳ１やトルク検出センサＳ２が含む抵抗線パターンの位置とは異なる。温度センサＳ３に比べて、回転角度検出センサＳ１やトルク検出センサＳ２の方が抵抗線が長くなり、自己発熱が高くなる。これらのことから、計測値Ｉ４に関わる抵抗線と、補正の対象である計測値ｖ３に関わる抵抗線とで温度差が発生する。それに対し、計測値Ｉ５に基づいて温度補正をする場合では、第３電圧計Ｖ３と接続されているブリッジ回路Ｃ３の電流の計測値Ｉ５に基づき、温度を検出することができる。したがって、計測値Ｉ５に関わる抵抗線と、補正の対象である計測値ｖ３に関わる抵抗線との温度差は、無くなる。よって、温度補正の精度をより高くすることができる。

【0062】

温度補正の方法としては、例えば、（温度補正後の電圧値）＝（温度補正前の電圧値）＋ｆ（電流値）とし、温度による電圧値の変化をキャンセルする方向に増加または減少させればよい。本実施形態の場合、例えば電圧値を計測値ｖ３、電流値を計測値Ｉ５とすればいい。ｆ（電流値）とは、温度により変化する変数である電流値と、温度補正係数とを含む式である。温度補正係数を求めるには、例えばセンサ基板４０がフレックスギア２０のダイヤフラム部２２１に固定された状態でトルク検出センサＳ２を恒温槽に入れ、電源電圧を一定として、かつ動力伝達装置１の駆動による負荷がかかっていない状態でトルク検出センサＳ２の温度を変化させて、そのときの計測値Ｉ５と計測値ｖ３を測定する。そして、温度ごとに測定した計測値Ｉ５、計測値ｖ３の組を元に、計測値Ｉ５、計測値ｖ３についての近似式を算出し、その近似式の係数を使えばよい。近似式とは、例えば、測定データの回帰分析を行い、計測値Ｉ５と計測値ｖ３との方程式を導けばよい。回帰分析とは、例えば最小二乗法を用いて係数を求めればよい。例えば、計測値ｖ３をｙ、計測値Ｉ５をｘ、ａとｂとｃとを定数として、ｙ＝ａ（ｘ＾2）＋ｂｘ＋ｃの形で近似式を求め、ａとｂの値を温度補正係数とすればよい。そして、動力伝達装置１の駆動時に、ｙを温度補正後の計測値ｖ３、ｘを計測値Ｉ５、ｃを温度補正前の計測値ｖ３とすればよい。

【0063】

図１２は、ブリッジ回路と直列に接続された電流計の計測値に基づいて温度補正をする方法について、温度補正の流れを示したフローチャートである。信号処理回路４６は温度補正係数を取得する。温度補正係数は、例えば上述の方法により求めることができる。そして、動力伝達装置１を駆動する。次に、動力伝達装置１の駆動中に、計測値Ｉ５と計測値ｖ３を測定する。そして、計測値ｖ３に対し、計測値Ｉ５と温度補正係数とを元にして、計測値ｖ３を温度補正する。そして、温度補正された計測値ｖ３に基づいて、フレックスギア２０にかかるトルクの向きおよび大きさの検出を行い、出力する。

【0064】

上記のように、ブリッジ回路と直列に接続された電流計の計測値に基づいて温度補正をする方法は、銅、アルミニウム、金、銀といった比抵抗が小さい材料で抵抗線パターンを製作した場合に好適である。また、第１電圧計Ｖ１の計測値ｖ１に対して、第１電流計Ａ１の計測値Ｉ１に基づいて温度補正をしてもよい。第２電圧計Ｖ２の計測値ｖ２に対して、第２電流計Ａ２の計測値Ｉ２に基づいて温度補正をしてもよい。また、図９のように、ブリッジ回路Ｃ３がフルブリッジ回路ではなくハーフブリッジ回路である場合でも、ブリッジ回路と直列に電流計を接続し、上述のような温度補正をしてもよい。

【0065】

＜２−６．故障検出について＞
続いて、上述した回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２において、抵抗線パターンの断線等の故障が発生したときに、その故障を検出する機能について、説明する。図１、図３、および図４に示すように、センサ基板４０の信号処理回路４６は、故障検出部５１と電気的に接続されている。故障検出部５１は、ＣＰＵ等のプロセッサや各種のメモリを備えたコンピュータ、または電気回路基板により構成される。本実施形態では、センサ基板４０と故障検出部５１とで、故障検出機能付きのセンサシステム５０が構成されている。

【0066】

図１４は、故障検出部５１の入出力を概念的に示した図である。図１４に示すように、故障検出部５１には、センサ基板４０の信号処理回路４６から、上述した第１電流計Ａ１の計測値Ｉ１、第２電流計Ａ２の計測値Ｉ２、第３電流計Ａ３の計測値Ｉ３、および第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４が入力される。故障検出部５１は、これらの計測値Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３，Ｉ４に基づいて、回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２が故障しているか否かの検出結果を出力する。

【0067】

図１５は、故障検出部５１における故障検出処理の流れを示したフローチャートである。故障検出部５１は、まず、「第１出力値」である第１電流計Ａ１の計測値Ｉ１と、「第２出力値」である第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４とを比較する（ステップＳＴ１）。

【0068】

図１６は、計測値Ｉ１，Ｉ４の変化を示したグラフである。故障が発生していないときには、図１６中の時間Ｔ１のように、計測値Ｉ１，Ｉ４は、いずれも、動力伝達装置１の温度変化に対して、同様に変化する。したがって、故障が発生していないときには、計測値Ｉ１，Ｉ４は、相関のある変化を示す。ただし、上述の通り、温度センサＳ３の第５抵抗線パターンＲ５は、角の無い円弧状または円環状であるため、断線等の故障が発生しにくいのに対し、回転角度検出センサＳ１の４つの第１抵抗線パターンＲ１（Ｒａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄ）は、複雑な形状であるため、断線等の故障が発生する可能性が比較的大きい。そのような故障が発生すると、図１６中の時間Ｔ２のように、計測値Ｉ１の値が大きく変化する。

【0069】

故障検出部５１は、ステップＳＴ１において、計測値Ｉ１，Ｉ４の関係が、所定の正常範囲内である場合には（ステップＳＴ１：ｙｅｓ）、回転角度検出センサＳ１の４つの第１抵抗線パターンＲ１（Ｒａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄ）に、断線等の故障は発生していないと判定する（ステップＳＴ２）。一方、計測値Ｉ１，Ｉ４の関係が、所定の正常範囲から外れた場合には（ステップＳＴ１：ｎｏ）、回転角度検出センサＳ１の４つの第１抵抗線パターンＲ１（Ｒａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄ）のいずれかに、断線等の故障が発生したと判定する（ステップＳＴ３）。計測値Ｉ１，Ｉ４の関係は、例えば、計測値Ｉ１，Ｉ４の差分または計測値Ｉ１，Ｉ４の比率とすればよい。

【0070】

次に、故障検出部５１は、「第１出力値」である第２電流計Ａ２の計測値Ｉ２と、「第２出力値」である第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４とを比較する（ステップＳＴ４）。そして、計測値Ｉ２，Ｉ４の関係が、所定の正常範囲内である場合には（ステップＳＴ４：ｙｅｓ）、回転角度検出センサＳ１の４つの第２抵抗線パターンＲ２（Ｒｅ，Ｒｆ，Ｒｇ，Ｒｈ）に、断線等の故障は発生していないと判定する（ステップＳＴ５）。一方、計測値Ｉ２，Ｉ４の関係が、所定の正常範囲から外れた場合には（ステップＳＴ４：ｎｏ）、回転角度検出センサＳ１の４つの第２抵抗線パターンＲ２（Ｒｅ，Ｒｆ，Ｒｇ，Ｒｈ）のいずれかに、断線等の故障が発生したと判定する（ステップＳＴ６）。計測値Ｉ２，Ｉ４の関係は、例えば、計測値Ｉ２，Ｉ４の差分または計測値Ｉ２，Ｉ４の比率とすればよい。

【0071】

続いて、故障検出部５１は、「第１出力値」である第３電流計Ａ３の計測値Ｉ３と、「第２出力値」である第４電流計Ａ４の計測値Ｉ４とを比較する（ステップＳＴ７）。そして、計測値Ｉ３，Ｉ４の関係が、所定の正常範囲内である場合には（ステップＳＴ７：ｙｅｓ）、トルク検出センサＳ２の第３抵抗線パターンＲ３および第４抵抗線パターンＲ４に、断線等の故障は発生していないと判定する（ステップＳＴ８）。一方、計測値Ｉ３，Ｉ４の関係が、所定の正常範囲から外れた場合には（ステップＳＴ７：ｎｏ）、トルク検出センサＳ２の第３抵抗線パターンＲ３または第４抵抗線パターンＲ４に、断線等の故障が発生したと判定する（ステップＳＴ９）。計測値Ｉ３，Ｉ４の関係は、例えば、計測値Ｉ３，Ｉ４の差分または計測値Ｉ３，Ｉ４の比率とすればよい。

【0072】

その後、故障検出部５１は、故障の有無に関する検出結果を出力する（ステップＳＴ１０）。具体的には、故障検出部５１から外部のコントローラへ、検出結果を示す信号を出力する。検出結果は、故障検出部５１またはコントローラが有する表示部に表示されてもよい。

【0073】

以上のように、このセンサシステム５０では、故障検出部５１は、「第１センサ」である回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２から、温度に応じて変動する「第１出力値」である計測値Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３を取得する。また、故障検出部５１は、「第１センサ」とは計測対象が異なる「第２センサ」である温度センサＳ３から、温度に応じて変動する「第２出力値」である計測値Ｉ４を取得する。そして、「第１出力値」である計測値Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３と、「第２出力値」である計測値Ｉ４との関係が、所定の正常範囲内であるか否かに基づいて、回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２の故障を検出する。

【0074】

このようにすれば、計測値Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３が温度に応じた通常の変化とは異なる変化を示した場合に、その計測値に対応するセンサの故障を検出できる。したがって、同一の計測対象に対して２つのセンサを設けることなく、各センサの故障を検出できる。すなわち、フレックスギア２０の同一の箇所に、２つの回転角度検出センサＳ１を設けることなく、回転角度検出センサＳ１の故障を検出できる。また、フレックスギア２０の同一の箇所に、２つのトルク検出センサＳ２を設けることなく、トルク検出センサＳ２の故障を検出できる。

【0075】

＜３．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態には限定されない。

【0076】

上記の実施形態では、回転角度検出センサＳ１の故障検出処理（ステップＳＴ１〜ＳＴ６）を実行した後に、トルク検出センサＳ２の故障検出処理（ステップＳＴ７〜ＳＴ９）を実行していた。しかしながら、これらの故障検出処理の順序は逆であってもよい。また、回転角度検出センサＳ１の故障検出処理（ステップＳＴ１〜ＳＴ６）と、トルク検出センサＳ２の故障検出処理（ステップＳＴ７〜ＳＴ９）とが、同時に並行して実行されてもよい。

【0077】

また、上記の実施形態のセンサ基板４０は、回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２を備えていた。しかしながら、センサ基板４０は、回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２のいずれか一方のみを備えていてもよい。その場合、「第１センサ」は、回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２のいずれか一方のみであってもよい。また、「第１センサ」は、温度に応じて変動する第１出力値を出力可能な他のセンサであってもよい。

【0078】

また、上記の実施形態では、センサ基板４０に搭載された温度センサＳ３を「第２センサ」としていた。しかしながら、「第２センサ」は、温度に応じて変動する第２出力値を出力可能な他のセンサであってもよい。例えば、センサ基板４０とは異なる位置に配置された熱電対等の温度センサを、「第２センサ」としてもよい。

【0079】

また、回転角度検出センサＳ１を「第１センサ」とし、トルク検出センサＳ２を「第２センサ」としてもよい。その場合、回転角度検出センサＳ１から出力される第１出力値と、トルク検出センサＳ２から出力される第２出力値との関係が、所定の正常範囲内であるか否かに基づいて、回転角度検出センサＳ１およびトルク検出センサＳ２のいずれか一方が故障していることを、検出できる。

【0080】

また、上記の実施形態では、「第１出力値」および「第２出力値」として、電流計の計測値を使用していた。すなわち、上記の実施形態の故障検出処理では、電源電圧Ｖｏを一定とし、温度による抵抗値の変動を反映した電流値同士を比較していた。しかしながら、電流値を一定とし、温度による抵抗値の変動を反映した電圧値同士を比較してもよい。例えば、温度センサＳ３の検出回路Ｃ４は、図１７のように、定電流源４７に、第５抵抗線パターンＲ５を直列に接続し、第５抵抗線パターンに電圧計Ｖ４を並列に接続した回路であってもよい。そして、電圧計Ｖ４の計測値を「第２出力値」としてもよい。また、故障検出部５１は、電流値または電圧値に所定の係数を掛けて温度推定値を算出し、算出された温度推定値同士を比較してもよい。

【0081】

また、上記の実施形態では、信号処理回路４６が、センサ基板４０に搭載されていた。しかしながら、信号処理回路４６は、センサ基板４０の外部に設けられていてもよい。例えば、故障検出部５１を構成するコンピュータまたは電気回路基板に、信号処理回路４６が組み込まれていてもよい。

【0082】

また、上記の実施形態では、各抵抗線パターンの材料に、銅または銅を含む合金が使用されていた。しかしながら、抵抗線パターンの材料に、ＳＵＳ、アルミニウム等の他の金属を用いてもよい。また、抵抗線パターンの材料に、セラミックスや樹脂などの非金属材を用いてもよい。また、抵抗線パターンの材料に、導電性インクを用いてもよい。導電性インクを用いる場合には、センサ基板４０の表面に、導電性インクで各抵抗線パターンをプリントすればよい。

【0083】

また、上記の実施形態のフレックスギア２０では、ダイヤフラム部２２１が、筒状部２１の基端部から半径方向外側へ向けて広がっていた。しかしながら、ダイヤフラム部２２１は、筒状部２１の基端部から半径方向内側へ向けて広がるものであってもよい。

【0084】

また、上記の実施形態では、センサ基板４０が、動力伝達装置１のフレックスギア２０に固定されていた。しかしながら、センサ基板４０は、フレックスギア２０以外の部品に固定されるものであってもよい。

【0085】

その他、センサシステムおよび動力伝達装置の細部の構成については、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜に変更してもよい。また、上記の各実施形態および各変形例に登場した要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0086】

本願は、センサシステムおよび動力伝達装置に利用できる。

【符号の説明】

【0087】

１ 動力伝達装置
９ 中心軸
１０ インタナルギア
２０ フレックスギア
３０ 波動発生器
４０ センサ基板
４１ 本体部
４２ フラップ部
４３ 絶縁層
４４ 導体層
４５ 両面接着テープ
４６ 信号処理回路
５０ センサシステム
５１ 故障検出部
２２１ ダイヤフラム部
Ａ１ 第１電流計
Ａ２ 第２電流計
Ａ３ 第３電流計
Ａ４ 第４電流計
Ｃ１ 第１ブリッジ回路
Ｃ２ 第２ブリッジ回路
Ｃ３ 第３ブリッジ回路
Ｃ４ 検出回路
Ｒ１，Ｒａ〜Ｒｄ 第１抵抗線パターン
Ｒ２，Ｒｅ〜Ｒｈ 第２抵抗線パターン
Ｒ３ 第３抵抗線パターン
Ｒ４ 第４抵抗線パターン
Ｒ５ 第５抵抗線パターン
Ｒｓ 固定抵抗
Ｓ１ 回転角度検出センサ
Ｓ２ トルク検出センサ
Ｓ３ 温度センサ
Ｖ１ 第１電圧計
Ｖ２ 第２電圧計
Ｖ３ 第３電圧計

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】