特開 2021-1613 ゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造、及びその取付構造を有するゲート弁

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-1613(P2021-1613A)

(43)【公開日】2021年1月7日

(54)【発明の名称】ゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造、及びその取付構造を有するゲート弁

(51)【国際特許分類】

   F16K 3/16 20060101AFI20201204BHJP

   F16K 51/02 20060101ALN20201204BHJP

【ＦＩ】

   F16K3/16

   F16K51/02 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2019-113993(P2019-113993)

(22)【出願日】2019年6月19日

(71)【出願人】

【識別番号】000102511

【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100072453

【弁理士】

【氏名又は名称】林 宏

(74)【代理人】

【識別番号】100119404

【弁理士】

【氏名又は名称】林 直生樹

(74)【代理人】

【識別番号】100177769

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 徹

(72)【発明者】

【氏名】下田 洋己

(72)【発明者】

【氏名】小川 浩司

(72)【発明者】

【氏名】長尾 格

(72)【発明者】

【氏名】越智 健

【テーマコード（参考）】

3H053

3H066

【Ｆターム（参考）】

3H053AA25

3H053AA26

3H053AA31

3H053BA19

3H053BA23

3H053BD02

3H053DA09

3H066AA03

3H066BA17

3H066BA18

3H066BA38

(57)【要約】

【課題】弁板を弁ロッドに対して精度良く且つ確実に固定することにより、ゲート弁作動時におけるパーティクルの発生を防止する。
【解決手段】弁板３の取付孔１３の孔端壁面１３ｄと弁ロッド４の取付部１４のロッド先端面１５との間に、楔形の平板部３６及び係合突部３７を有するスペーサ部材３０を介在させて、スペーサ部材と孔端壁面との間に前方に開口する楔形の空隙Ｇ２を形成し、弁板固定螺子２０の締結力によって、空隙Ｇ２を狭窄する方向に弁板を変形させるモーメントＭを発生させると共に、スペーサ部材の係合突部をロッド先端面の傾斜面部１５ｂと取付孔の孔後壁面１３ｂとの間に形成された楔形の隙間に圧入させ、それにより、弁板の取付孔の孔前壁面１３ａを弁ロッドの取付部のロッド前壁面１４ａに対して圧接させた。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上下方向に延びる弁ロッドの先端に取り付けられた弁板を弁箱内に収容し、該弁箱の側壁に形成されたゲート開口を前記弁板で開閉するように構成されたゲート弁における、前記弁ロッドに対する弁板の取付構造であって、
前記弁板は、前記ゲート開口周りの弁シートに接離させるシール部材が取り付けられた弁前面と、該弁前面の反対側に位置する弁背面と、弁上面及び弁下面と、該弁下面に開設されて前記弁ロッドの先端の取付部を挿入する取付孔と、前記弁上面と該取付孔との間に貫設されて弁板固定螺子を挿通させる螺子挿通孔とを有していて、該弁板固定螺子で前記弁ロッドに対して取り付けられており、
前記取付孔は、前記弁前面側に位置する孔前壁面と、前記弁背面側に位置する孔後壁面と、該取付孔の深さ方向の端面である孔端壁面とを有していて、該孔端壁面に前記螺子挿通孔が開口しており、
前記弁ロッドの取付部は、前記取付孔の孔前壁面に対向するロッド前壁面と、前記取付孔の孔後壁面に対向するロッド後壁面と、該取付部の先端に位置するロッド先端面とを有していて、該ロッド先端面には、前記弁板の螺子挿通孔に挿通した前記弁板固定螺子を螺合させて締め付ける螺子孔が開設されており、
前記弁板の取付孔に対して前記弁ロッドの取付部を前記ロッド先端面が当接する終端まで挿入し、且つ、前記弁板固定螺子を前記螺子孔に螺合させていない状態において、該取付孔の孔端壁面と弁ロッドのロッド先端面とによって挟まれた部分に、前記取付部のロッド前壁面側に開口すると共に前記螺子孔の中心軸よりもロッド後壁面側おいて閉じる水平方向の空隙が形成されており、
それにより、前記弁板固定螺子を前記螺子孔に螺合させて締め付けることで、該弁板の孔前壁面が、該弁ロッドのロッド前壁面に対して圧接されるように構成されている、
ことを特徴とするゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造。

【請求項2】

前記空隙が、ロッド前壁面側からロッド後壁面側に向けて上下方向の開口幅が徐々に小さくなっていく楔形状に形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造。

【請求項3】

前記取付孔の孔端壁面と前記取付部のロッド先端面との間にはスペーサ部材が設けられ、
該スペーサ部材は、前記孔端壁面に当接させる上面と、前記ロッド先端面に当接させる下面と、これら上面と下面との間に貫設されて前記弁板固定螺子を挿通させる貫通孔とを有しており、
前記スペーサ部材の上面と前記取付孔の孔端壁面との間に前記空隙が形成され、該空隙が、前記取付部のロッド前壁面側に開口すると共に、前記貫通孔よりもロッド後壁面側おいて、前記スペーサ部材の上面と前記取付孔の孔端壁面との当接よって閉じられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造。

【請求項4】

前記スペーサ部材の上面及び下面が平坦面によって形成されていて、該スペーサ部材が、これら上面及び下面によって形成された平板部と、前記ロッド前壁面側の前端縁と、前記ロッド後壁面側の後端縁とを有しており、
該平板部は、前記上面と下面との間の厚さが前記前端縁から前記後端縁側に向けて徐々に大きくなる楔形状に形成されており、
それにより、前記空隙が、前記前端縁から前記後端縁側に向けて徐々に小さくなる楔形状に形成されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造。

【請求項5】

前記スペーサ部材は、さらにその後端に、下方に向けて突設された係合突部を有し、該係合突部は、前記後端縁から下方に向けて立設された第１面と、前記下面の後縁から下方に向けて立設された第２面とによって、下方の先端に向けて徐々に前後方向の幅が狭くなっていく楔形状に形成されており、
前記取付部のロッド先端面は、その前縁側から後縁側へ前記中心軸と直角を成して延びる平坦面部と、該平坦面部の後縁から取付部の基端部側に向けて、該取付部の前後方向の幅が徐々に拡大していくように傾斜する傾斜面部とによって形成されており、
前記弁板固定螺子を前記螺子孔に螺合させて締め付けることで、前記弁板が前記弁ロッドの取付部に対して固定的に取り付けられた状態において、前記スペーサ部材の係合突部が前記取付孔の孔後壁面と前記ロッド先端面の傾斜面部との間に圧入され、それにより、該係合突部の第１面が該孔後壁面に圧接されると共に、該係合突部の第２面が該傾斜面部に圧接される、
ことを特徴とする請求項４に記載のゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造。

【請求項6】

前記スペーサ部材において、前記係合突部の第１面は、前記平板部の上面と鋭角を成すと共に、該平板部の下面と直角を成している、
ことを特徴とする請求項５に記載のゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造。

【請求項7】

前記弁板固定螺子は、前記螺子孔に螺合させる螺子本体部と、該螺子本体部の基端に一体に連結された操作用の螺子頭部とを有しており、
前記螺子本体部は、外周に螺子山が形成された雄螺子部と、該雄螺子部よりも前記基端側に隣接して設けられた円柱状の軸部とを有しており、
前記螺子孔は、前記雄螺子部を螺合させる螺子山が内周面に形成された雌螺子部と、該雌螺子部よりも前記ロッド先端面側に隣接して設けられた断面円形の円筒部とを有しており、
前記スペーサ部材の貫通孔の内周面には、前記弁板固定螺子の雄螺子部と螺合可能な螺子山が形成されており、
前記中心軸方向において、前記弁板固定螺子の雄螺子部の長さが、前記螺子孔の円筒部の長さよりも短く形成されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のゲート弁によける弁ロッドに対する弁板の取付構造。

【請求項8】

上下方向に延びる弁ロッドの先端に取り付けられた弁板を弁箱内に収容し、該弁箱の側壁に形成されたゲート開口を前記弁板で開閉するように構成されたゲート弁において、
前記弁板が、前記弁ロッドに対して、請求項１に記載の取付構造によって取り付けられている、
ことを特徴とするゲート弁。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ゲート弁の弁板を弁ロッドの先端に対して取り付けるための取付構造、及び、そのような弁板の取付構造を有するゲート弁に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体処理装置においては、真空チャンバに通じる開口を開閉するためにゲート弁が使用されている。このゲート弁は、弁ロッドの先端に取り付けた弁板を弁箱内に収容し、この弁箱を真空チャンバに取り付けて、該弁箱の側壁に形成された前記開口を前記弁板で開閉するように構成されている。その際、前記開口の閉鎖は、前記弁板に取り付けられたシール部材を前記開口の周囲の弁シートに押し付けることにより行われる。

【0003】

例えば、特許文献１のゲート弁は、そのメンテナンス性を改善するため、前記弁箱の上部壁を着脱可能とすると共に、前記弁板を弁ロッドの上端に対して螺子で軸線方向に固定することにより、前記弁箱の外部からの操作で前記弁板を弁ロッドから取り外し可能としたものである。そして、このゲート弁においては、前記弁板が弁ロッドに対して軸周りに回転可能に取り付けられていて、該弁板が弁シートに押し付けられるとき、該弁板が前記弁シートに倣って回転することにより、該弁板のシール面(シール部材)を弁シートに対して均一に押し付けることができるようになっている。

【0004】

ところで、近年、半導体の小型化や高性能化に伴って、半導体の線幅の微細化がますます進んできており、そのため、半導体の処理工程時に発生するパーティクルが限りなくゼロに近づくよう、その低減が強く求められている。
しかしながら、前記特許文献１に開示されたゲート弁は、その弁作動時に、前記弁ロッドと弁板との間や、前記弁板と弁シートとの間において擦れが発生するため、その擦れによってパーティクルが発生し易いという問題点を有する。よって、このようなパーティクルが発生しないようにするには、前記弁板を前記弁ロッドに対して、精度良く且つ確実に固定することが必要不可欠である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００５−２９１２２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の技術的課題は、弁板を弁ロッドに対して精度良く且つ確実に固定することにより、ゲート弁作動時におけるパーティクルの発生を防止することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記課題を解決するため、本発明は、上下方向に延びる弁ロッドの先端に取り付けられた弁板を弁箱内に収容し、該弁箱の側壁に形成されたゲート開口を前記弁板で開閉するように構成されたゲート弁における、前記弁ロッドに対する弁板の取付構造であって、前記弁板は、前記ゲート開口周りの弁シートに接離させるシール部材が取り付けられた弁前面と、該弁前面の反対側に位置する弁背面と、弁上面及び弁下面と、該弁下面に開設されて前記弁ロッドの先端の取付部を挿入する取付孔と、前記弁上面と該取付孔との間に貫設されて弁板固定螺子を挿通させる螺子挿通孔とを有していて、該弁板固定螺子で前記弁ロッドに対して取り付けられており、前記取付孔は、前記弁前面側に位置する孔前壁面と、前記弁背面側に位置する孔後壁面と、該取付孔の深さ方向の端面である孔端壁面とを有していて、該孔端壁面に前記螺子挿通孔が開口しており、前記弁ロッドの取付部は、前記取付孔の孔前壁面に対向するロッド前壁面と、前記取付孔の孔後壁面に対向するロッド後壁面と、該取付部の先端に位置するロッド先端面とを有していて、該ロッド先端面には、前記弁板の螺子挿通孔に挿通した前記弁板固定螺子を螺合させて締め付ける螺子孔が開設されており、前記弁板の取付孔に対して前記弁ロッドの取付部を前記ロッド先端面が当接する終端まで挿入し、且つ、前記弁板固定螺子を前記螺子孔に螺合させていない状態において、該取付孔の孔端壁面と弁ロッドのロッド先端面とによって挟まれた部分に、前記取付部のロッド前壁面側に開口すると共に前記螺子孔の中心軸よりもロッド後壁面側おいて閉じる水平方向の空隙が形成されており、それにより、前記弁板固定螺子を前記螺子孔に螺合させて締め付けることで、該弁板の孔前壁面が、該弁ロッドのロッド前壁面に対して圧接されるように構成されていることを特徴としている。

【0008】

前記本発明において、好ましくは、前記空隙が、ロッド前壁面側からロッド後壁面側に向けて上下方向の開口幅が徐々に小さくなっていく楔形状に形成されている。
また、前記本発明の具体例においては、前記取付孔の孔端壁面と前記取付部のロッド先端面との間にはスペーサ部材が設けられ、該スペーサ部材は、前記孔端壁面に当接させる上面と、前記ロッド先端面に当接させる下面と、これら上面と下面との間に貫設されて前記弁板固定螺子を挿通させる貫通孔とを有しており、前記スペーサ部材の上面と前記取付孔の孔端壁面との間に前記空隙が形成され、該空隙が、前記取付部のロッド前壁面側に開口すると共に、前記貫通孔よりもロッド後壁面側おいて、前記スペーサ部材の上面と前記取付孔の孔端壁面との当接よって閉じられている。

【0009】

このとき、好ましくは、前記スペーサ部材の上面及び下面が平坦面によって形成されていて、該スペーサ部材が、これら上面及び下面によって形成された平板部と、前記ロッド前壁面側の前端縁と、前記ロッド後壁面側の後端縁とを有しており、該平板部は、前記上面と下面との間の厚さが前記前端縁から前記後端縁側に向けて徐々に大きくなる楔形状に形成されており、それにより、前記空隙が、前記前端縁から前記後端縁側に向けて徐々に小さくなる楔形状に形成されている。

【0010】

そして、より好ましくは、前記スペーサ部材は、さらにその後端に、下方に向けて突設された係合突部を有し、該係合突部は、前記後端縁から下方に向けて立設された第１面と、前記下面の後縁から下方に向けて立設された第２面とによって、下方の先端に向けて徐々に前後方向の幅が狭くなっていく楔形状に形成されており、前記取付部のロッド先端面は、その前縁側から後縁側へ前記中心軸と直角を成して延びる平坦面部と、該平坦面部の後縁から取付部の基端部側に向けて、該取付部の前後方向の幅が徐々に拡大していくように傾斜する傾斜面部とによって形成されており、前記弁板固定螺子を前記螺子孔に螺合させて締め付けることで、前記弁板が前記弁ロッドの取付部に対して固定的に取り付けられた状態において、前記スペーサ部材の係合突部が前記取付孔の孔後壁面と前記ロッド先端面の傾斜面部との間に圧入され、それにより、該係合突部の第１面が該孔後壁面に圧接されると共に、該係合突部の第２面が該傾斜面部に圧接される。ここで、さらに好ましくは、前記スペーサ部材において、前記係合突部の第１面は、前記平板部の上面と鋭角を成すと共に、該平板部の下面と直角を成している。

【0011】

また、本発明の前記具体例において、より好ましくは、前記弁板固定螺子は、前記螺子孔に螺合させる螺子本体部と、該螺子本体部の基端に一体に連結された操作用の螺子頭部とを有しており、前記螺子本体部は、外周に螺子山が形成された雄螺子部と、該雄螺子部よりも前記基端側に隣接して設けられた円柱状の軸部とを有しており、前記螺子孔は、前記雄螺子部を螺合させる螺子山が内周面に形成された雌螺子部と、該雌螺子部よりも前記ロッド先端面側に隣接して設けられた断面円形の円筒部とを有しており、前記スペーサ部材の貫通孔の内周面には、前記弁板固定螺子の雄螺子部と螺合可能な螺子山が形成されており、前記中心軸方向において、前記弁板固定螺子の雄螺子部の長さが、前記螺子孔の円筒部の長さよりも短く形成されている。

【0012】

そして、本発明によれば、上下方向に延びる弁ロッドの先端に取り付けられた弁板を弁箱内に収容し、該弁箱の側壁に形成されたゲート開口を前記弁板で開閉するように構成されたゲート弁において、前記弁板が、前記弁ロッドに対して、前記取付構造によって取り付けられているものを提供することができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、弁板の取付孔に対して弁ロッドの取付部をロッド先端面が当接する終端まで挿入し、且つ、弁板固定螺子の螺子本体部を前記ロッド先端面の螺子孔に螺合させていない状態において、該取付孔の孔端壁面と弁ロッドのロッド先端面とによって挟まれた部分に、前記取付部のロッド前壁面側に開口すると共に前記螺子孔の中心軸よりもロッド後壁面側おいて閉じる水平方向の空隙が形成されている。

【0014】

そのため、前記弁板固定螺子を前記螺子孔に螺合させて締め付けることで、前記弁板が前記弁ロッドの取付部に対して固定的に取り付けられた（締結された）状態においては、その締め付けによる締結力が、前記空隙を狭めるように弁板に対して作用し、その締結力によるモーメントによって、弁板の前記孔前壁面が、弁ロッドのロッド前壁面に対して圧接されるようになっている。したがって、弁ロッドに対して弁板を精度良く且つ強固に固定することができ、前記弁板と弁ロッドとの擦れによるパーティクルの発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明を適用したゲート弁の正面図である。

【図2】図１のＡ−Ａ’線に沿った部分拡大断面図である。

【図3】弁板の正面図である。

【図4】図３のＢ−Ｂ’線に沿った部分拡大断面図である。

【図5】弁板と弁ロッドと弁板固定螺子とスペーサ部材とを分離して示す断面図である。

【図6】弁ロッドの取付部の斜視図である。

【図7】スペーサ部材の形状を表す図であり（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ’線に沿った断面図、（ｄ）は正面図、（ｅ）は背面図である。

【図8】弁板を弁ロッドに対して固定する前の状態を示す部分拡大断面図である。

【図9】弁板を弁ロッドに対して固定した状態を示す部分断面図である。

【図10】弁板を待避位置に移動させた状態におけるゲート弁の斜視図である。

【図11】弁箱上面の蓋を取り外した状態のゲート弁の斜視図である。

【図12】弁板と弁ロッドとを締結している弁板固定螺子を緩めているときのゲート弁の斜視図である。

【図13】弁板を弁箱から取り出した状態のゲート弁の斜視図である。

【図14】弁ロッドから弁板を取り外すときの状態を示す部分拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

図１及び図２には、本発明に係る取付構造が、弁ロッド４に対する弁板３の取り付けに適用されたゲート弁の一実施形態が示されている。このゲート弁は、不図示の真空チャンバの開口部に取り付けて使用するもので、該真空チャンバの開口部に通じるゲート開口２を備えた弁箱１と、該弁箱１の内部に収容されて前記ゲート開口２を開閉する前記弁板３と、軸線Ｌ１を有して該弁板３に固定された開閉操作用の前記弁ロッド４と、該弁ロッド４を駆動する弁駆動部５とを有している。

【0017】

そして、該弁駆動部５で前記弁ロッド４を駆動することにより、前記弁板３を、図２に示すように、前記ゲート開口２を閉塞する位置である実線の閉塞位置と、前記ゲート開口２を開放する位置である二点鎖線の開放位置（待避位置）との間を往復動させるようになっている。なお、前記弁駆動部５には、エアシリンダやカム機構等から成る駆動機構が設けられているが、このような弁駆動部５の各種構造及びその作用は既に周知であるため、ここでの説明は省略するものとする。

【0018】

前記弁箱１は、外観が横に細長い直方体で中空の箱形に形成されており、該弁箱１の前後の側壁１ａ，１ｃのうち真空チャンバに接続される前方の側壁１ａには、横に細長い矩形の前記ゲート開口２と、該ゲート開口２を環状に取り囲む平面状の弁シート１ｂとが形成されている。そして、前記閉塞位置において、前記弁板３の前面に取り付けられたシール部材７が、前記弁駆動部５によって、該弁シート１ｂに押し付けられることにより、前記ゲート開口２が閉塞されるようになっている。

【0019】

前記弁箱１の上面には、図１０及び図１１からも明らかなように、蓋１０が複数の蓋取付螺子１１により着脱自在に取り付けられており、該蓋１０を取り外すことによって該弁箱１の上面が開放可能となっている。そして、図１２及び図１３からも明らかなように、開放した上面の窓孔１２から、前記弁板３を前記弁ロッド４から取り外して、弁箱１の外部に取り出すことができるようになっている。

【0020】

なお、図２に示すように、前記弁箱１においては、後方の側壁１ｃにも第２のゲート開口１ｄが形成されているが、このゲート開口１ｄは、弁板３が前記待避位置に在るときに、開放された前記第１のゲート開口２と共に、前記真空チャンバに対してワーク等を出し入れするための通路を該弁箱１内に形成するものであり、前記弁板３によって直接的に開閉されるものではない。

【0021】

前記弁板３は、アルミニウムによって一体に形成されたもので、図２−図５から明らかなように、横に細長い矩形の板状をしていて、前記シール部材７が取り付けられた弁前面３ａと、該弁前面３ａの反対側の弁背面３ｂと、弁上面３ｃ及び弁下面３ｄと、該弁下面３ｄに開設された取付孔１３とを有している。このとき、弁前面３ａ、弁背面３ｂ、弁上面３ｃ及び弁下面３ｄは、何れも平坦面によって形成されている。

【0022】

前記取付孔１３は、軸線Ｌ１方向における前記弁ロッド４の先端（図中上端）の取付部１４を挿入して固定するための孔であり、該取付孔１３の横断面形状は、前記弁板３の長手方向（図中左右方向）に細長い長孔状をしている。また、該取付孔１３は、前記弁前面３ａ側に位置する孔前壁面１３ａと、前記弁背面３ｂ側に位置する孔後壁面１３ｂと、左右の孔側壁面１３ｃ，１３ｃと、該取付孔１３の深さ方向の端部である孔端壁面１３ｄとを有している。

【0023】

ここで、前記孔前壁面１３ａ及び孔後壁面１３ｂは、互いに平行を成す平坦面であり、前記孔側壁面１３ｃ，１３ｃも、互いに平行を成す平坦面であり、前記孔端壁面１３ｄは、前記孔前壁面１３ａ及び孔後壁面１３ｂ並びに前記孔側壁面１３ｃ，１３ｃと直角を成す平坦面である。そして、前記孔前壁面１３ａから前記弁前面３ａまでの距離は、前記孔後壁面１３ｂから前記弁背面３ｂまでの距離よりも大きく形成されている。なお、図４に示すように、孔前壁面１３ａの左右両端に、軸線Ｌ１方向に延びるＳ，Ｓがそれぞれ形成されているが、これらの溝Ｓ，Ｓは弁板３に取付孔１３を切削加工するにあたって形成されるものであるため、ここでは説明を省略する。

【0024】

一方、前記弁ロッド４は、ステンレス鋼から成るもので、図２−図６から明らかなように、円柱状をした本体部４ａの先端に、前記取付孔１３に挿入するための前記取付部１４を有している。該取付部１４は、円柱の側面を、弁ロッド４の軸線Ｌ１に沿って、２つの互いに平行を成す平坦面で切除したような形をしている。すなわち、該弁ロッド４は、前記取付孔１３の孔前壁面１３ａに対向して当接するロッド前壁面１４ａと、前記取付孔１３の孔後壁面１３ｂに対向するロッド後壁面１４ｂと、前記取付孔１３の左右の孔側壁面１３ｃ，１３ｃに対向する左右のロッド側壁面１４ｃ，１４ｃと、軸線Ｌ１方向における前記取付部１４の先端面（すなわち、弁ロッド４の先端面）を形成するロッド先端面１５とを有している。

【0025】

すなわち、前記ロッド前壁面１４ａ及びロッド後壁面１４ｂは、軸線Ｌ１に沿って互いに平行を成す平坦面であり、前記ロッド側壁面１４ｃ，１４ｃは、外側に円弧状を成した凸曲面である。また、ロッド先端面１５は、前記ロッド前壁面１４ａに連接された前縁から、ロッド後壁面１４ｂ側へと延びる平坦面部１５ａと、その平坦面部１５ａの後縁から前記取付部１４の基端部１４ｄ側に向けて、該取付部１４の前後方向の幅が徐々に拡大していくように傾斜する傾斜面部１５ｂとによって形成されている。

【0026】

そして、前記平坦面部１５ａは、軸線Ｌ１及び後述する中心軸Ｌ２と直交する水平方向に延びており、前記傾斜面部１５ｂは、平坦面に形成されると共に、その後縁が前記ロッド後壁面１４ｂに連接されている。前記平坦面部１５ａと傾斜面部１５ｂとが成す角度は、鈍角であれば特に限定されるものではないが、好ましくは約１２０度である。

【0027】

ここで、前記取付孔１３における孔前壁面１３ａと孔後壁面１３ｂとの間の距離Ｗ１は、前記取付部１４におけるロッド前壁面１４ａとロッド後壁面１４ｂとの間の距離Ｗ２よもよりも僅かに大きく形成されている。そして、上述のように、弁板３を弁ロッド４に取り付けた状態において、前記取付孔１３の孔前壁面１３ａに対して前記取付部１４のロッド前壁面１４ａが当接されるようになっている。そのため、弁板３を弁ロッド４に取り付けた状態においては、前記ロッド後壁面１４ｂと孔後壁面１３ｂとの間にＷ１−Ｗ２の僅かな隙間Ｇ１が形成されている（図２，図８及び図９）。さらに、前記取付部１４の軸線Ｌ１方向の長さは、前記取付孔１３の深さ、すなわち前記弁下面３ｄから孔端壁面１３ｄまでの距離よりも大きく形成されている。

【0028】

ところで、図５−図１４に示すように、前記弁板３は、前記弁ロッド４の先端に、弁板固定螺子２０によって、該弁ロッド４の軸線Ｌ１方向に着脱可能なるように取り付けられている。この取り付けのため、前記弁板３の弁上面３ｃには、前記弁板固定螺子２０を挿通するための螺子挿通孔１６が、前記軸線Ｌ１と平行を成す中心軸Ｌ２上に形成され、弁ロッド４のロッド先端面１５には、前記弁板固定螺子２０を螺合させて締め付ける（ねじ込む）ための螺子孔１７が前記中心軸Ｌ２上に形成されている。さらに、本実施形態では、前記弁板３を前記弁ロッド４に取り付けた状態において、前記取付孔１３の孔端壁面１３ｄと前記取付部１４のロッド先端面１５との間に板状のスペーサ部材３０を挟持させている。

【0029】

また、弁板３を弁ロッド４に取り付けた状態において、前記中心軸Ｌ２は、前記弁ロッド４の軸線Ｌ１よりも後方（ロッド後壁面１４ｂ側）に位置し、前記弁板３における弁前面３ａと弁背面３ｂとの間の中央よりも後方（弁背面３ｂ側）に位置している。そして、該中心軸Ｌ２は、前記取付孔１３における前記孔前壁面１３ａと孔後壁面１３ｂとの間の中央よりも前方（孔前壁面１３ａ側）に位置し、前記取付部１４における前記ロッド前壁面１４ａとロッド後壁面１４ｂとの間の中央よりも前方（ロッド前壁面１４ａ側）に位置している。

【0030】

さらに、前記中心軸Ｌ２と前記孔前壁面１３ａとの間の距離は、該中心軸Ｌ２と前記ロッド前壁面１４ａとの間の距離と等しくなっている。それにより、前記弁板固定螺子２０を、弁板３の螺子挿通孔１６を通じて弁ロッド４の螺子孔１７に螺合させた際に、前記取付孔１３内において、前記ロッド前壁面１４ａを前記孔前壁面１３ａに当接させた状態で、前記取付部１４が位置決めされるようになっている。なお、該中心軸Ｌ２は、左右方向において、前記取付孔１３における一対の孔側壁面１３ｃ，１３ｃ間の中央に位置し、前記取付部１４における一対のロッド側壁面１４ｃ，１４ｃ間の中央に位置している。

【0031】

前記弁板固定螺子２０は、雄螺子が形成された螺子本体部２１と、該螺子本体部の基端に連結された操作用の螺子頭部２２とによって形成されている。前記螺子本体部２１は、外周面に螺子山が形成された先端側の雄螺子部２１ａと、該雄螺子部２１ａよりも前記基端側に該雄螺子部２１ａと隣接させて設けられた円柱状の（外周面に螺子山が形成されていない）軸部２１ｂとを有しており、該軸部２１ｂの基端が前記螺子頭部２２の下面に一体に連結されている。また、前記螺子頭部２２の上面には、六角レンチ２５ａを差し込んで操作するための操作用六角穴２２ａが開設されている。

【0032】

さらに、前記操作用六角穴２２ａの底面と前記螺子本体部２１の先端面との間には空気孔２３が貫設されており、前記弁板固定螺子２０を前記螺子孔１７に螺合させる際に、該螺子孔１７内の空気を、前記空気孔２３を通じて外部に排出することができるようになっている。
ここで、前記螺子頭部２２の外径は、前記雄螺子部２１ａの外径（螺子山の先端同士を結ぶ円筒の直径）ｄ１及び前記軸部２１ｂの直径ｄ２よりも大きく形成されており、該雄螺子部２１ａの外径ｄ１は、該軸部２１ｂの直径ｄ２よりも大きく形成されている。また、前記中心軸Ｌ２方向において、前記雄螺子部２１ａの長さＳ１は、前記軸部２１ｂの長さＳ２よりも短く形成されている。

【0033】

前記弁板３の螺子挿通孔１６は、前記弁板３の弁上面３ｃと前記取付孔１３の孔端壁面１３ｄとの間に貫設されたもので、該弁上面３ｃに開口して前記弁板固定螺子２０の螺子頭部２２が収容される大径部１６ａと、該大径部１６ａの底面と前記孔端壁面１３ｄとの間に設けられて前記弁板固定螺子２０の螺子本体部２１（すなわち、雄螺子部２１ａ及び軸部２１ｂ）が挿通される小径部１６ｂとを有している。それにより、前記大径部１６ａの底面と前記孔端壁面１３ｄとの間に、環状の鍔部１８が形成されている。

【0034】

前記大径部１６ａの内径及び深さは、前記螺子頭部２２が緩み止め用のワッシャ２９と共に完全に納まるようなサイズに形成されており、前記小径部１６ｂの内径ｄ３は、前記大径部１６ａの内径や螺子頭部２２の外径よりも小さいが、前記弁板固定螺子２０の雄螺子部２１ａの外径ｄ１及び軸部２１ｂの直径ｄ２よりも大きく形成されている。また、前記大径部１６ａの内径は、前記孔前壁面１３ａと孔後壁面１３ｂとの間の距離Ｗ１や、ロッド前壁面１４ａとロッド後壁面１４ｂとの間の距離Ｗ２よりも若干小さく形成されている。

【0035】

前記螺子孔１７は、内周面に螺子山が形成されて前記弁板固定螺子２０の雄螺子部２１ａを螺合させる雌螺子部１７ａと、横断面の形状が直径ｄ４の円形に形成された（すなわち、内周面に螺子山が形成されていない）円筒部１７ｂとを有している。前記円筒部１７ｂは、前記ロッド先端面１５の平坦面部１５ａに開設され、該平坦面部１５ａから前記中心軸Ｌ２に沿って長さ（深さ）Ｓ３の位置まで形成されている。また、該円筒部１７ｂは、前記雌螺子部１７ａよりも前記ロッド先端面１５側に該雌螺子部１７ａと隣接させて形成されている。

【0036】

ここで、前記円筒部１７ｂの長さ（すなわち、前記ロッド先端面１５の平坦面部１５ａから前記雌螺子部１７ａの始端までの距離）Ｓ３は、前記弁板固定螺子２０における雄螺子部２１ａの長さＳ１と同じかそれよりも大きく形成されている。また、前記雌螺子部１７ａの中心軸Ｌ２方向の長さも、前記雄螺子部２１ａの長さＳ１よりも大きく形成されていて、前記弁板３を弁ロッド４の取付部１４に対して締結する（すなわち、固定的に取り付ける）にあたって、前記弁板固定螺子２０の雄螺子部２１ａを前記螺子孔１７の雌螺子部１７ａに螺合させて締め付けた際に、該雄螺子部２１ａの全体が該雌螺子部１７ａに螺合されるようになっている。

【0037】

前記スペーサ部材３０は、ステンレス鋼により一体に形成されていて、図５−図９に示すように、前記ロッド前壁面１４ａ側に配される前端縁３１及び前記ロッド後壁面１４ｂ側に配される後端縁３２と、前記ロッド側壁面１４ｃ，１４ｃ側に配される一対の側端面３３，３３とを有しており、平面視において、左右方向（前端縁３１及び後端縁３２に沿った方向）に長い矩形に形成されている。すなわち、前記前端縁３１と後端縁３２とは互いに平行を成していて、前記一対の側端面３３，３３も互いに平行を成しており、前記前端縁３１及び後端縁３２の両端に配された一対の側端面３３，３３は、これら前端縁３１及び後端縁３２と互いに直角を成している。

【0038】

さらに、前記スペーサ部材３０は、前記孔端壁面１３ｄに当接させる上面３４と、前記ロッド先端面１５に当接させる下面３５とを有している。これら上面３４及び下面３５は平坦面によって形成されている。そして、これら上面３４と下面３５との間には、前記中心軸Ｌ２上に配されて前記弁板固定螺子２０の螺子本体部２１を挿通させる貫通孔３６ａが貫設されている。また、該スペーサ部材３０は、その前端部に、これら上面３４及び下面３５により形成されて前記前端縁３１を含む平板部３６を有していると共に、該平板部３６の後端であって該スペーサ部材３０の後端部に、前記後端縁３２を含んで下方に向けて突設された係合突部３７を有している。

【0039】

前記下面３５は、中心軸Ｌ２と直角を成していて、前記前端縁３１から前記貫通孔３６ａよりも後端縁３２側へと延びている。一方、前記上面３４は、前記前端縁３１から後端縁３２側に向けて徐々に下面３５との距離が離間していくように僅かに（好ましくは約３度）傾斜していて、前記前端縁３１から中心軸Ｌ２よりも後端縁３２側（好ましくは、本実施形態のように、前記貫通孔３６ａよりも後端縁３２側）へと延びている。すなわち、前記平板部３６は、その中心軸Ｌ２方向の厚さが前記前端縁３１から前記後端縁３２側に向けて徐々に大きくなる楔形状に形成されている。

【0040】

そのため、図８に示すように、前記弁板３の取付孔１３に対して前記弁ロッド４の取付部１４をロッド先端面１５が当接する終端まで挿入し、且つ、前記弁板固定螺子２０を前記螺子孔１７に螺合させていない状態においては、中心軸Ｌ２方向において前記孔端壁面１３ｄと前記ロッド先端面１５とで挟まれた部分（好ましくは、本実施形態のように、前記孔端壁面１３ｄと該スペーサ部材３０の上面３４との間）に、水平方向の空隙Ｇ２が形成されている。このとき、この空隙Ｇ２は、前記ロッド前壁面１４ａ側に開口すると共に、前記中心軸Ｌ２（好ましくは、本実施形態のように、該スペーサ部材３０の貫通孔３６ａ）よりもロッド後壁面１４ｂ側において閉じられた楔形状に形成されている。

【0041】

そして、前記弁板３を前記弁ロッド４の取付部１４に対して固定的に取り付ける（締結する）にあたって、図９に示すように、前記弁板固定螺子２０を前記取付部１４の螺子孔１７に螺合させて締め付けた際に、その締め付けによる締結力が、前記空隙Ｇ２を狭窄するように弁板３の鍔部１８に作用し、その締結力により生じるモーメントＭによって、弁板３の前記孔前壁面１３ａが、弁ロッド４のロッド前壁面１４ａに対して圧接されるようになっている。

【0042】

また、本実施形態においては、前記貫通孔３６ａの内周面に、前記弁板固定螺子２０の雄螺子部２１ａを螺合させて該貫通孔３６ａを通過させることが可能な螺子山が形成されている。そして、該貫通孔３６ａの内径（すなわち、該螺子山の先端同士を連結する円筒の直径）ｄ５は、前記雄螺子部２１ａの外径ｄ１よりも小さく、且つ、前記軸部２１ｂの直径ｄ２よりも僅かに大きくなっている。そうすることにより、図１４に示すように、弁板３を弁ロッド４から取り外すにあたって前記弁板固定螺子２０を緩めた際に、スペーサ部材３０が、弁板固定螺子２０の螺子本体部２１から抜脱することなく、その軸部２１ｂに留まるようになっている。

【0043】

一方、前記係合突部３７は、図７に示すように、前記後端縁３２から下方に向けて鉛直に立設された第１面３７ａと、前記下面３５の後縁から下方に向けて斜めに立設された第２面３７ｂとによって形成されている。そして、該係合突部３７の第１面３７ａが前記取付孔１３の孔後壁面１３ｂに当接され、該第２面３７ｂが前記ロッド先端面１５の傾斜面部１５ｂに当接されるようになっている。

【0044】

すなわち、前記係合突部３７は、前記貫通孔３６ａよりも後端縁３２寄りに配置されていて、下方の先端に向けて徐々に前後方向の幅（第１面３７ａと第２面３７ｂとの距離）が狭くなっていく楔形状に形成されている。そして、該係合突部３７は、前記弁板固定螺子２０を螺子孔１７に対して締め付けた際に、前記傾斜面部１５ｂと孔後壁面１３ｂとの間に形成された楔形状の隙間に圧入され、それにより、前記第１面３７ａが孔後壁面１３ｂに圧接されると同時に。前記第２面３７ｂが傾斜面部１５ｂに圧接されるように形成されている。

【0045】

ここで、前記第１面３７ａは、前記下面３５と直角を成す（すなわち、中心軸Ｌ２と平行を成す）平坦面に形成されていて、前記上面３４とは、直角よりも僅かに小さい鋭角（好ましくは約８７度）を成している。また、前記第２面３７ｂは、前記下面３５と鈍角を成す平坦面を有していて、その角度は、好ましくは約１２０度であり、前記ロッド先端面１５における平坦面部１５ａと傾斜面部１５ｂとが成す角度と等しくなっている。さらに、前記貫通孔３６ａの中心（中心軸Ｌ２）から前記第１面３７ａすなわち前記後端縁３２までの距離は、前記ロッド前壁面１４ａを孔前壁面１３ａに当接させた状態における中心軸Ｌ２から孔後壁面１３ｂまでの距離と等しくなるように形成されている。

【0046】

続いて、図８−図１４に基づき、上述のような構成を有するゲート弁における、前記弁ロッド４に対する弁板３の着脱方法について説明する。
まず、弁板３を弁ロッド４に対して最初に取り付ける組み立て工程においては、図８に示すように、前記スペーサ部材３０を、その前端縁３１が前記取付孔１３の孔前壁面１３ａに対向し、後端縁３２が前記孔後壁面１３ｂに対向し、一対の側端面３３，３３が前記孔側壁面１３ｃ，１３ｃに対向するようにして、弁板３の弁下面３ｄから取付孔１３内に挿入し、前記孔端壁面１３ｄに当接する終端まで移動させる。

【0047】

また同時に、弁ロッド４の取付部１４を、同じく弁下面３ｄから前記取付孔１３内に、そのロッド先端面１５が該取付孔１３内の前記スペーサ部材３０に当接する終端まで挿入する。この状態では、上述のように、前記スペーサ部材３０の上面３４がその下面３５に対して傾斜しているため、該上面３４と前記孔端壁面１３ｄとの間に、前記ロッド前壁面１４ａ側に開口すると共に、前記中心軸Ｌ２（好ましくは、貫通孔３６ａ）よりもロッド後壁面１４ｂ側で、前記上面３４と前記孔端壁面１３ｄとの当接によって閉じられた楔形状の空隙Ｇ２が形成されている。

【0048】

次に、前記弁板固定螺子２０の螺子本体部２１を、弁板３の弁上面３ｃから螺子挿通孔１６内に挿入し、該螺子本体部２１の雄螺子部２１ａの先端が前記スペーサ部材３０の貫通孔３６ａに至るまで差し込む。そして、該貫通孔３６ａの螺子山に該雄螺子部２１ａを螺合させていき、さらに、該雄螺子部２１ａ全体が該貫通孔３６ａを通過するまでその螺合を進めると、該雄螺子部２１ａ全体が前記螺子孔１７の円筒部１７ｂ内に収容される。続いて、図９に示すように、該雄螺子部２１ａを該螺子孔１７の雌螺子部１７ａに螺合させていき、所定のトルクで締め付けると、前記螺子頭部２２による押圧力が前記ワッシャ２９を通じて前記鍔部１８に作用し、それにより、弁板３が弁ロッド４の取付部１４に対して締結される。

【0049】

そのとき、前記弁板固定螺子２０の締め付けによる締結力、すなわち前記螺子頭部２２による押圧力が、前記空隙Ｇ２を狭窄するように弁板３の鍔部１８に対して作用するところ、前後方向における該空隙Ｇ２の閉鎖位置（すなわち、スペーサ部材３０の上面３４に対する孔端壁面１３ｄの圧接位置）が、前記中心軸Ｌ２（好ましくは、貫通孔３６ａ）よりもロッド後壁面１４ｂ側にあるため、図９に示すように、該弁板３に対して前記中心軸Ｌ２（好ましくは、貫通孔３６ａ）よりも後方を中心とした図中左回りのモーメントＭが作用する。そして、そのモーメントＭにより、前記弁板３が、前記空隙Ｇ２を狭窄するように微小に変形し、その結果、前記ロッド前壁面１４ａに当接した状態にある孔前壁面１３ａが、該ロッド前壁面１４ａに対して圧接される。

【0050】

それと同時に、前記弁板固定螺子２０の締め付けによる締結力で、前記スペーサ部材３０の下面３５がロッド先端面１５の平坦面部１５ａに対して圧接されると共に、該スペーサ部材３０の係合突部３７が、前記ロッド先端面１５の傾斜面部１５ｂと前記取付孔１３の孔後壁面１３ｂとの間に形成された楔形状の隙間に対して圧入される。それにより、前記スペーサ部材３０の第１面３７ａが孔後壁面１３ｂに対して圧接されると共に、第２面３７ｂが前記傾斜面部１５ｂに圧接され、その結果、弁板３に対して後方への押圧力Ｆが作用し、該弁板３の孔前壁面１３ａが前記弁ロッド４のロッド前壁面１４ａに対して更に圧接される。

【0051】

このように、本実施形態によれば、弁ロッド４のロッド先端面１５と弁板３の孔端壁面１３ｄとの間に前記スペーサ部材３０を介在させるという極めて簡単な構造を用いて、しかも、弁板３の螺子挿通孔１６を通じて弁ロッド４の螺子孔１７に弁板固定螺子２０を螺合させて締め付けるという極めて単純な操作により、弁ロッド４に対して弁板３を精度良く且つ強固に固定することができ、その結果、ゲート弁動作時に、前記弁板３と弁ロッド４との擦れによるパーティクルの発生を防止することができる。

【0052】

その一方で、弁板３のシール部材７を交換する等のメンテナンスのために、該弁板３を弁ロッド４から外して弁箱１内から取り出すにあたっては、図１０に示すように、まず、前記弁駆動部５を動作させることにより、該弁板３を、図２に実線で示す上昇位置（閉塞位置）から、同図に二点鎖線で示す下降位置（待避位置）まで移動させる。
次に、図１１に示すように、弁箱１の上面の蓋取付螺子１１を取り外すことによって蓋１０を取り外し、該弁箱１の上面の窓孔１２を開放する。

【0053】

続いて、図１２に示すように、前記窓孔１２から六角レンチ２５ａを差し込んで弁板固定螺子２０を緩め、弁ロッド４の螺子孔１７内において、雄螺子部２１ａと雌螺子部１７ａとの螺合を完全に解除すると共に、該雄螺子部２１ａ全体を前記円筒部１７ｂ内に収容する。
次に、図１３に示すように、雌螺子が形成された２つの工具装着孔２６，２６に対して、雄螺子が形成された２つの把持工具２５ｂ，２５ｂを螺合させた上で、これら２つの把持工具２５ｂ，２５ｂを両手に持って弁板３を引き上げる。すると、前記弁板３が弁ロッド４から分離され、該弁板３を前記弁箱１の上面の窓孔１２を通じて外部に取り出すことができる。

【0054】

このとき、上述のように、前記スペーサ部材３０の貫通孔３６ａの内周面には、前記弁板固定螺子２０の雄螺子部２１ａと螺合する螺子山が形成されていて、該貫通孔３６ａの内径ｄ５が、該雄螺子部２１ａの外径ｄ１よりも小さく形成されている。そのため、図１４に示すように、前記スペーサ部材３０を、弁板固定螺子２０の螺子本体部２１及び弁板３の取付孔１３から抜脱させることなく、該弁板固定螺子２０の軸部２１ｂに残した状態で、前記弁板３を弁ロッド４から分離して弁箱１から取り出すことができる。

【0055】

メンテナンスが終了した前記弁板３は、再び前記２つの把持工具２５ｂ，２５ｂを２つの工具装着孔２６，２６に取り付けて、これら把持工具２５ｂ，２５ｂを手に持って前記弁箱１内に収容する。そして、弁板３の取付孔１３内に弁ロッド４の取付部１４を挿入した後、前記把持工具２５ｂ，２５ｂを取り外し、前記六角レンチ２５ａで弁板固定螺子２０を螺子孔１７に螺合させて締め付けることにより、該弁板３を前記弁ロッド４に対して固定する。最後に、前記弁箱１の上面に蓋１０を蓋取付螺子１１で取り付けることにより、図１０に示すように、前記ゲート弁は再び使用可能な状態になる。

【0056】

以上、本発明に係るゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造、及びその取付構造を有するゲート弁の一実施形態について詳細に説明してきたが、本実施形態においては、例えば、前記空隙Ｇ２を形成するにあたって、必ずしも前記形態を有するスペーサ部材３０を、ロッド先端面１５と孔端壁面１３ｄとの間に設ける必要性はなく、ロッド先端面１５自体に傾斜面を形成して、これらロッド先端面１５と孔端壁面１３ｄとによって、前記空隙Ｇ２が形成されるようにしても良い。また、本実施形態においては、図９に示す前記モーメントＭ及び押圧力Ｆを、１つのスペーサ部材３０によって発生させているが、これらモーメントＭ及び押圧力Ｆを個別の部材によって発生させても良い。

【符号の説明】

【0057】

１ 弁箱
１ａ 側壁
１ｂ 弁シート
２ ゲート開口
３ 弁板
３ａ 弁前面
３ｂ 弁背面
３ｃ 弁上面
３ｄ 弁下面
４ 弁ロッド
５ 弁駆動部
７ シール部材
１０ 蓋
１１ 蓋取付螺子
１２ 窓孔
１３ 取付孔
１３ａ 孔前壁面
１３ｂ 孔後壁面
１３ｃ 孔側壁面
１３ｄ 孔端壁面
１４ 取付部
１４ａ ロッド前壁面
１４ｂ ロッド後壁面
１４ｃ ロッド側壁面
１４ｄ 基端部
１５ ロッド先端面
１５ａ 平坦面部
１５ｂ 傾斜面部
１６ 螺子挿通孔
１６ａ 大径部
１６ｂ 小径部
１７ 螺子孔
１７ａ 雌螺子部
１７ｂ 円筒部
２０ 弁板固定螺子
２１ 螺子本体部
２１ａ 雄螺子部
２１ｂ 軸部
２２ 螺子頭部
３０ スペーサ部材
３１ 前端縁
３２ 後端縁
３３ 側端面
３４ 上面
３５ 下面
３６ 平板部
３６ａ 貫通孔
３７ 係合突部
３７ａ 第１面
３７ｂ 第２面
Ｗ１ 孔前壁面１３ａと孔後壁面１３ｂとの間の距離
Ｗ２ ロッド前壁面１４ａとロッド後壁面１４ｂとの間の距離
Ｇ１ 隙間
Ｇ２ 空隙
Ｌ１ 軸線
Ｌ２ 中心軸
ｄ１ 雄螺子部２１ａの外径
ｄ２ 軸部２１ｂの直径
ｄ３ 小径部１６ｂの内径
ｄ４ 円筒部１７ｂの内径
ｄ５ 貫通孔３６ａの内径
Ｓ１ 雄螺子部２１ａの長さ
Ｓ２ 軸部２１ｂの長さ
Ｓ３ 円筒部１７ｂの長さ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】