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特開2021-163882磁場補償モジュール、物理パッケージシステム、光格子時計用物理パッケージシステム、原子時計用物理パッケージシステム、原子干渉計用物理パッケージシステム、及び、量子情報処理デバイス用物理パッケージシステム
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