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特開2021-163883(P2021-163883A)
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特開
2021-163883
物理パッケージ、光格子時計用物理パッケージ、原子時計用物理パッケージ、原子干渉計用物理パッケージ、及び、量子情報処理デバイス用物理パッケージ
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