特開 2021-16857 洗浄機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-16857(P2021-16857A)

(43)【公開日】2021年2月15日

(54)【発明の名称】洗浄機

(51)【国際特許分類】

   B08B 3/02 20060101AFI20210118BHJP

【ＦＩ】

   B08B3/02 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2020-105415(P2020-105415)

(22)【出願日】2020年6月18日

(31)【優先権主張番号】特願2019-133813(P2019-133813)

(32)【優先日】2019年7月19日

(33)【優先権主張国】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000132161

【氏名又は名称】株式会社スギノマシン

(74)【代理人】

【識別番号】110000165

【氏名又は名称】グローバル・アイピー東京特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】光江 豊彰

(72)【発明者】

【氏名】松井 大貴

(72)【発明者】

【氏名】青木 卓也

(72)【発明者】

【氏名】石谷 彰浩

【テーマコード（参考）】

3B201

【Ｆターム（参考）】

3B201AA46

3B201AB03

3B201AB37

3B201AB42

3B201BB23

3B201BB33

3B201BB92

3B201CB15

3B201CC12

3B201CD33

(57)【要約】

【課題】ロボットの可動域が狭く、コンパクトな洗浄機を提供する。
【解決手段】洗浄機１０は、洗浄室１１と、洗浄ステーション１５と、乾燥ステーション２３と、分離壁１３と、側面３８に接して配置されるコラム４６と、上下方向に延びる直線ガイド５９と、上下方向に移動可能な上下サドル７７と、を有する単軸ロボット４４と、上下方向に延びる第２軸１４１を中心に回転可能な第１回転サドル９３と、水平方向に延びる第３軸１４３を中心に揺動可能であり、第３軸１４３に直交する方向に延びる第１アーム１０１と、第３軸１４３と直交する第４軸１４５を中心に回転可能な第２アーム１１３と、第４軸１４５と直交する第５軸１４７を中心に回転可能な第２回転サドル１２９と、第５軸１４７と直交する第６軸１４９を中心に回転可能な第３回転サドル１３６と、を有するアーム部４５と、対象物１５１を把持するハンド１３７と、を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

側面を有する洗浄室と、
洗浄液を噴射する洗浄ノズルを有する洗浄ステーションと、
乾燥空気を噴射するブローノズルを有する乾燥ステーションと、
前記洗浄室を前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションに区画する分離壁と、
単軸ロボットであって、
前記側面に接して配置されるコラムであって、前記分離壁の延長上に配置されるコラムと、
前記コラムに上下方向に延びて配置される直線ガイドと、
前記直線ガイドによって上下方向に移動可能な上下サドルと、
を有する単軸ロボットと、
アーム部であって、
前記上下サドルに支持される第１回転サドルであって、上下方向に延びる第２軸を中心に回転可能な第１回転サドルと、
前記第１回転サドルに支持される第１アームであって、水平方向に延びる第３軸を中心に揺動可能であり、前記第３軸に直交する方向に延びる第１アームと、
前記第１アームに支持される第２アームであって、前記第３軸と直交する第４軸を中心に回転可能な第２アームと、
前記第２アームに支持される第２回転サドルであって、前記第４軸と直交する第５軸を中心に回転可能な第２回転サドルと、
前記第２回転サドルに支持される第３回転サドルであって、前記第５軸と直交する第６軸を中心に回転可能な第３回転サドルと、
を有するアーム部と、
前記第３回転サドルに支持され、対象物を把持するハンドと、
を有する洗浄機。

【請求項2】

前記単軸ロボットは、
前記上下サドルを駆動する駆動装置と、
前記コラムの外面で、前記第１回転サドルに面して配置される伸縮カバーであって、前記コラムと前記上下サドルとの隙間を覆う伸縮カバーと、を更に有し、
前記直線ガイド及び前記駆動装置は、前記コラム内に配置され、
前記伸縮カバーは、前記直線ガイド及び前記駆動装置を前記洗浄室から遮断する、
請求項１に記載の洗浄機。

【請求項3】

前記コラムは中空箱状であり、前記洗浄室側に前記直線ガイドに沿って配置された貫通穴を有し、
前記上下サドルは、前記コラム内に配置され、前記直線ガイド上をスライドするスライダを有する、
請求項１又は２に記載の洗浄機。

【請求項4】

前記洗浄室は、搬入口を有し、
前記ハンドは、前記搬入口を通って、前記搬入口の外側まで延びるよう構成された、
請求項１〜３のいずれかに記載の洗浄機。

【請求項5】

前記洗浄室は、底板と天板とを有し、
前記分離壁は、前記底板から前記天板まで延びる、
請求項１〜４のいずれかに記載の洗浄機。

【請求項6】

前記分離壁は、前記側面と反対側に位置する前記洗浄室の第２側面に接し、前記アーム部が旋回できるように、前記コラムから間隔を空けて配置される、
請求項１〜５のいずれかに記載の洗浄機。

【請求項7】

前記洗浄ステーションは、水平面上に配置され、前記洗浄ノズルを有する、Ｕ字状又はＯ字状の洗浄パイプを有し、
前記乾燥ステーションは、水平面上に配置され、前記ブローノズルを有する、Ｕ字状又はＯ字状のブローパイプを有し、
前記洗浄ノズルは、前記洗浄パイプの内側に向けて配置される複数の噴口を有し、
前記ブローノズルは、前記ブローパイプの内側へ向けて配置される複数の噴口を有する、
請求項１〜６のいずれかに記載の洗浄機。

【請求項8】

側面を有する洗浄室と、
洗浄液を噴射する洗浄ノズルを有する洗浄ステーションと、
乾燥空気を噴射するブローノズルを有する乾燥ステーションと、
前記洗浄室を前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションに区画する分離壁と、
単軸ロボットであって、
前記側面に接して配置されるコラムであって、前記分離壁の延長上に配置されるコラムと、
前記コラムに上下方向に延びて配置される直線ガイドと、
前記直線ガイドによって上下方向に移動可能な上下サドルと、
を有する単軸ロボットと、
アーム部であって、
前記上下サドルに支持される第１回転サドルであって、上下方向に延びる第２軸を中心に回転可能な第１回転サドルと、
前記第１回転サドルに支持される第１アームであって、水平方向に延びる第３軸を中心に揺動可能であり、前記第３軸に直交する方向に延びる第１アームと、
前記第１アームに支持される第２アームであって、前記第３軸と直交する第４軸を中心に回転可能な第２アームと、
前記第２アームに支持される第２回転サドルであって、前記第４軸と直交する第５軸を中心に回転可能な第２回転サドルと、
前記第２回転サドルに支持される第３回転サドルであって、前記第５軸と直交する第６軸を中心に回転可能な第３回転サドルと、
を有するアーム部と、
前記第３回転サドルに支持され、対象物を把持するハンドと、
を有し、
前記分離壁は、前記側面と反対側に位置する前記洗浄室の第２側面に接し、前記アーム部が旋回できるように、前記コラムから間隔を空けて配置され、
前記洗浄室は、前記第２側面に接して配置された棚板と、底板と、を有し、
前記洗浄ステーション及び前記乾燥ステーションは、前記棚板の下方に配置され、
前記分離壁は、前記底板から前記棚板まで延び、
搬入口は、前記棚板の上方に設置される、
洗浄機。

【請求項9】

前記洗浄ステーションは、前記洗浄ステーションの入口部に垂直面上に配置され、前記洗浄ノズルを有する、Ｕ字状又はＯ字状の洗浄パイプを有し、
前記乾燥ステーションは、前記乾燥ステーションの入口部に垂直面上に配置され、前記ブローノズルを有する、Ｕ字状又はＯ字状のブローパイプを有し、
前記洗浄ノズルは、前記洗浄パイプの内側に向けて配置される複数の噴口を有し、
前記ブローノズルは、前記ブローパイプの内側へ向けて配置される複数の噴口を有する、
請求項８に記載の洗浄機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、洗浄機に関する。

【背景技術】

【0002】

底部に複数のノズルを配置された洗浄槽と、対象物を把持するロボットハンドを有し、洗浄槽に臨む多軸ロボットを含む洗浄機が提案されている（特許第４３１７５０２号公報、以下、特許文献１）。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

特許文献１の洗浄機は、ロボットの可動域が広いため、洗浄機の設置面積が大きくなる。
本発明は、ロボットの可動域が狭く、コンパクトな洗浄機を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0004】

本発明の洗浄機は、
側面を有する洗浄室と、
洗浄液を噴射する洗浄ノズルを有する洗浄ステーションと、
乾燥空気を噴射するブローノズルを有する乾燥ステーションと、
前記洗浄室を前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションに区画する分離壁と、
単軸ロボットであって、
前記側面に接して配置されるコラムであって、前記分離壁の延長上に配置されるコラムと、
前記コラムに上下方向に延びて配置される直線ガイドと、
前記直線ガイドによって上下方向に移動可能な上下サドルと、
を有する単軸ロボットと、
アーム部であって、
前記上下サドルに支持される第１回転サドルであって、上下方向に延びる第２軸を中心に回転可能な第１回転サドルと、
前記第１回転サドルに支持される第１アームであって、水平方向に延びる第３軸を中心に揺動可能であり、前記第３軸に直交する方向に延びる第１アームと、
前記第１アームに支持される第２アームであって、前記第３軸と直交する第４軸を中心に回転可能な第２アームと、
前記第２アームに支持される第２回転サドルであって、前記第４軸と直交する第５軸を中心に回転可能な第２回転サドルと、
前記第２回転サドルに支持される第３回転サドルであって、前記第５軸と直交する第６軸を中心に回転可能な第３回転サドルと、
を有するアーム部と、
前記第３回転サドルに支持され、対象物を把持するハンドと、
を有する。

【0005】

洗浄液は、例えば水系洗浄液である。対象物に付着する付着物は、例えば、切りくず、油分である。
洗浄は、高圧噴流によるバリ取りを含む。
分離壁は、洗浄室のコラムが設置された側面の反対の面（第２側面）と接続して配置され、コラムとの間に明確な間隙が設けられる。洗浄室の内部の空間の内、分離壁で分離された一方の部屋を洗浄ステーションと、他方の部屋を乾燥ステーションと呼ぶ。分離壁が設置されていない、コラム寄りの領域を搬送通路と呼ぶ。搬送通路は、洗浄ステーション及び乾燥ステーションと連続する。

【0006】

多軸ロボットは、第１軸〜第６軸を同時に駆動し、３次元空間を自在に移動できる。多軸ロボットは数値制御される。
コラムは、洗浄室側に配置されたベースプレートを有する。貫通穴は、ベースプレートに形成される。直線ガイドは、洗浄室と反対側のベースプレートの面に配置される。
単軸ロボット上に、アーム部が配置される。アーム部は、１直線上に延びる関節ロボットで、その基端部に第２軸及び第３軸である２つの回転軸が配置される。アームは、基端部に配置された第１アームと、先端部に配置された第２アームに分かれる。第２アームは、第１アームに沿った第４軸に沿って回転できる。第２アームの先端に、第５軸及び第６軸の２つの回転軸が配置される。各軸のモータは、例えば、サーボモータ、ステッピングモータである。

【0007】

伸縮カバーは、例えば、蛇腹である。伸縮カバーは、洗浄室側のベースプレートの面に配置される。伸縮カバーは、上下サドルの上方及び下方にそれぞれ配置される。それぞれの伸縮カバーの移動端は、上下サドルに固定され、固定端はコラムに固定される。伸縮カバーは、貫通穴からコラム内への洗浄液や異物の侵入を抑制する。

【0008】

好ましくは、洗浄室は、搬入口と搬出口を有する。搬入口は、洗浄ステーションに配置されて良い。搬入口は、搬送通路の周囲の壁面のうち、洗浄ステーションに近い壁面に配置されて良い。搬出口は、乾燥ステーションに配置されて良い。搬出口は、搬送通路の周囲の壁面のうち、乾燥ステーションに近い壁面に配置されて良い。なお、搬入口及び搬出口に換えて、一つの搬入出口が配置されても良い。
洗浄機は、ブロアー又はコンプレッサーである空気供給装置を含んで良い。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、ロボットの可動域が狭く、コンパクトな洗浄機を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態１の洗浄機の一部を切断した斜視図

【図2】実施形態１の多軸ロボットの縦断面図

【図3】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図

【図4A】実施形態１の洗浄機の使用状況を示す斜視図

【図4B】実施形態１の洗浄機の使用状況を示すＹＺ平面による断面図

【図5】実施形態２の洗浄機の一部を切断した斜視図

【図6】図５のＶＩ面における断面図

【発明を実施するための形態】

【0011】

＜実施形態１＞
図１に従って、本実施形態の洗浄機１０を説明する。洗浄機１０の正面から見て左右方向をＸ軸（正面から向かって左を正とする。）、前後方向をＹ軸（手前向きを正とする。）、上下方向をＺ軸（下向きを正とする。）とする。

【0012】

洗浄機１０は、洗浄室１１と、多軸ロボット４３と、ハンド１３７を有する。多軸ロボット４３は、単軸ロボット４４とアーム部４５を有する。洗浄室１１は、分離壁１３により、洗浄ステーション１５と、乾燥ステーション２３と、搬送通路３５に区画される。
洗浄ステーション１５は、洗浄パイプ１９と、洗浄ノズル２１を有する。洗浄ステーション１５は、更に、ポンプ３７と、タンク３９を有しても良い。ポンプ３７は、例えば、プランジャポンプ、ピストンポンプ、遠心ポンプ、ギヤポンプである。タンク３９は、洗浄液を貯留する。タンク３９に貯留される洗浄液は、ポンプ３７に供給される。
乾燥ステーション２３は、ブローパイプ２７と、ブローノズル２９を有する。乾燥ステーション２３は、更に、ブロアー４１を有しても良い。

【0013】

洗浄室１１は、天板１４、底板１６、背面（側面）３８、分離壁１３、搬入口３１（図４Ａ参照）を有する。洗浄室１１は、搬出口３３、搬入扉３４、搬出扉４０を有しても良い。例えば、洗浄室１１の左側面に搬入口３１が配置され、洗浄室１１の右側面に搬出口３３が配置される。搬入扉３４は、例えば、スライド扉であり、搬入口３１を開閉する。搬出扉４０は、例えば、スライド扉であり、搬出口３３を開閉する。

【0014】

分離壁１３は、洗浄室１１の左右方向の中央の前方に、ＹＺ平面に沿って配置される。望ましくは、分離壁１３は、天板１４及び底板１６と接する。分離壁１３の後方端は、洗浄室１１の背面３８から離間する。分離壁１３の後端と洗浄室１１の背面３８により、搬送通路３５が画定される。搬送通路３５は、洗浄ステーション１５及び乾燥ステーション２３と連続する。

【0015】

洗浄パイプ１９は、ポンプ３７と接続する。洗浄パイプ１９は、例えば、Ｕ字状又はＯ字状である。洗浄パイプ１９によって囲まれた空間を、洗浄空間１８と呼ぶ。望ましくは、洗浄パイプ１９の後方を対象物１５１、ハンド１３７及びアーム部４５が通過できるように、洗浄パイプ１９が配置される。
洗浄パイプ１９には、複数の洗浄ノズル２１が配置される。洗浄ノズル２１は、洗浄空間１８に噴口２１ａを向けて配置される。複数の洗浄ノズル２１は、例えば、洗浄パイプ１９に等間隔に配置される。

【0016】

ブローパイプ２７は、ブロアー４１と接続する。ブローパイプ２７は、例えば、Ｕ字状又はＯ字状である。ブローパイプ２７によって囲まれた空間を、乾燥空間２４と呼ぶ。望ましくは、ブローパイプ２７の後方を対象物１５１、ハンド１３７及びアーム部４５が通過できるように、ブローパイプ２７が配置される。
ブローパイプ２７には、複数のブローノズル２９が配置される。ブローノズル２９は、乾燥空間２４に噴口２９ａを向けて配置される。、複数のブローノズル２９は、例えば、ブローパイプ２７に等間隔に配置される。

【0017】

搬送通路３５は、分離壁１３の後方に広がり、洗浄ステーション１５および乾燥ステーション２３と、連続する空間である。

【0018】

多軸ロボット４３は、搬送通路３５に隣接して配置される。多軸ロボット４３は、例えば、分離壁１３の延長上に配置される。
単軸ロボット４４は第１軸１３９に沿って移動可能であり、洗浄室１１の背面３８に上下方向に延びて配置される。単軸ロボット４４は、上下サドル７７を有する。アーム部４５は、上下サドル７７上に配置された５軸ロボットである。
多軸ロボット４３は、第１軸１３９、第２軸１４１、第３軸１４３、第４軸１４５、第５軸１４７、および第６軸１４９に沿って駆動される。第１軸１３９は、Ｚ方向に延びる並進軸である。第２軸１４１は、Ｚ方向に延びる回転軸である。第３軸１４３は、第２軸１４１に対して直交する回転軸である。第４軸１４５は、第３軸１４３に対して直交する回転軸である。第５軸１４７は、第４軸１４５に対して直交する回転軸である。第６軸１４９は、第５軸１４７に対して直交する回転軸である。

【0019】

図２は、アーム部４５をＺ方向に平行に伸ばした状態における、第２軸１４１を通るＹＺ平面で切断した、多軸ロボット４３の縦断面図である。図２に示すように、単軸ロボット４４は、コラム４６、側板４９、ベースプレート４７、サドル穴（貫通穴）５１、支持板５３、駆動装置６７、直線ガイド５９、ガイドブロック６１及びスライダ６３を有する。単軸ロボット４４は、伸縮カバー７５を有してもよい。

【0020】

コラム４６は、洗浄室１１の背面３８に接して配置される。コラム４６は、ベースプレート４７、側板４９、および支持板５３によって囲まれた箱体であり、後方に開口４６ａを有する。ベースプレート４７は、コラム４６の前面に配置され、洗浄室１１の背面３８の一部となる。サドル穴５１は、ベースプレート４７の中央部に配置され、上下方向に延びる。側板４９は、コラム４６の左右に配置される。

【0021】

支持板５３は、開口４６ａに、ベースプレート４７と離間して配置される。支持板５３は、例えば、側板４９の間に架けられる。支持板５３は、例えば、位置決めピンによって正確に配置される。支持板５３は、コラム４６に対して取り外し可能でもよい。
支持板５３は、モータ支持板５３Ａおよび軸端支持板５３Ｂを有してもよい。

【0022】

モータ支持板５３Ａは、コラム４６の上方側に配置される。モータ支持板５３Ａは、モータブラケット５５と、ベアリングホルダ５７を有する。モータブラケット５５は、モータ支持板５３Ａの前方に配置される。ベアリングホルダ５７は、モータ支持板５３Ａの前方に配置される。ベアリングホルダ５７は、ベアリング５７ａを有する。モータ支持板５３Ａは、コラム４６に対して取り外し可能である。
軸端支持板５３Ｂは、コラム４６の下方側に配置される。軸端支持板５３Ｂは、ベアリングホルダ５８を有する。ベアリングホルダ５８は、軸端支持板５３Ｂの前方に配置される。ベアリングホルダ５８は、ベアリング５８ａを有する。軸端支持板５３Ｂは、コラム４６から取り外し可能である。

【0023】

駆動装置６７は、支持板５３に固定される。駆動装置６７は、例えば、ボールねじ機構である。駆動装置６７は、第１軸モータ６９、ボールねじ７１、およびカップリング７３を有する。駆動装置６７は、第１軸１３９に沿って配置される。
ボールねじ７１は、ナット７２を有する。ボールねじ７１の両端は、ベアリング５７ａ、５８ａに支持される。

【0024】

第１軸モータ６９は、出力軸６９ａを有し、モータブラケット５５に支持される。第１軸モータ６９は、例えば、出力軸６９ａを＋Ｚ方向に向けて配置される。カップリング７３は、出力軸６９ａとボールねじ７１を直接締結する。

【0025】

図３に示すように、直線ガイド５９は、ベースプレート４７の背面に、Ｚ方向に延びて配置される。直線ガイド５９は、サドル穴５１の左右にそれぞれ配置される。ガイドブロック６１は、直線ガイド５９上に配置され、直線ガイド５９上を往復する。

【0026】

スライダ６３は、ガイドブロック６１に配置される。スライダ６３は、ベースプレート４７の背面で、駆動装置６７の正面側に配置される。スライダ６３は、ナットホルダ６５を有する。ナットホルダ６５は、スライダ６３の背面に配置される。

【0027】

伸縮カバー７５は、蛇腹である。伸縮カバー７５は、ベースプレート４７の前面に隣接し、ベースプレート４７と上下サドル７７との間に配置される。
上下サドル７７は、スライダ６３の前方側に配置され、サドル穴５１を貫通して洗浄室１１に突出する。

【0028】

図２に示すように、アーム部４５は、第２軸モータ７９、第２軸減速ユニット８１、第１回転サドル９３、第３軸モータ９５、第３軸減速機９７、ベアリング９９、支持軸１０７、第１アーム１０１、第４軸モータ１０３、第４軸減速ユニット１０５、第２アーム１１３、第５軸モータ１１５、第５軸減速ユニット１１７、支持軸１１９、第２回転サドル１２９、第６軸モータ１３１、第６軸減速機１３３、第３回転サドル１３６を有する。

【0029】

第２軸モータ７９は、出力軸７９ａを有し、上下サドル７７の後方側に配置される。
第２軸減速ユニット８１は、原動プーリ８５、無端歯付ベルト８７、従動プーリ８９、および第２軸最終減速機９１を有する。第２軸最終減速機９１は、入力軸９１ａ、および出力軸９１ｂを有する。出力軸９１ｂは、第２軸１４１に一致する。出力軸９１ｂは、入力軸９１ａと同軸である。第２軸最終減速機９１は、好ましくは、ノンバックラッシの減速機である。原動プーリ８５は、出力軸７９ａに固定される。従動プーリ８９は、入力軸９１ａに固定される。無端歯付ベルト８７は、原動プーリ８５と従動プーリ８９との間に架けられる。

【0030】

第１回転サドル９３は、出力軸９１ｂに固定される。第１回転サドル９３は、第２軸１４１を中心に回転可能に、上下サドル７７に支持される。

【0031】

第３軸モータ９５は、出力軸９５ａを有し、第１アーム１０１の基端部に配置される。第３軸モータ９５は、第３軸減速機９７と接続される。
第３軸減速機９７は、入力軸９７ａ及び出力軸９７ｂを有し、第１回転サドル９３の一方に配置される。入力軸９７ａは、第３軸１４３と同軸である。入力軸９７ａは、出力軸９５ａに固定される。ベアリング９９は、第３軸減速機９７と反対の第１回転サドル９３の側面に配置される。

【0032】

第１アーム１０１は、支持軸１０７を有する。支持軸１０７は、第３軸１４３と同軸であり、ベアリング９９に支持される。第１アーム１０１は、出力軸９５ａとベアリング９９によって両端が支持される。第１アーム１０１は、第３軸１４３を中心として揺動可能である。

【0033】

第４軸モータ１０３は、出力軸１０３ａを有し、第１アーム１０１の先端部に配置される。
第４軸減速ユニット１０５は、小歯車１０８、大歯車１０９、および第４軸最終減速機１１１を有する。第４軸最終減速機１１１は、入力軸１１１ａ及び出力軸１１１ｂを有し、第１アーム１０１の先端部に配置される。小歯車１０８は、出力軸１０３ａに固定される。大歯車１０９は、入力軸１１１ａに固定され、小歯車１０８に噛み合う。出力軸１１１ｂは、第４軸１４５と同軸である。望ましくは、第４軸最終減速機１１１は、ノンバックラッシ減速機である。

【0034】

第２アーム１１３は、第４軸１４５に沿って延びて、出力軸１１１ｂに固定される。第２アーム１１３は、トラニオン型の支持部１１８及び支持軸１１９を有する。支持部１１８はＵ字状であり、第２アーム１１３の先端部に配置される。支持軸１１９は、支持部１１８の−Ｙ方向の内側に第５軸１４７と一致するように配置される。

【0035】

第５軸モータ１１５は、出力軸１１５ａを有し、第２アーム１１３の基端部に配置される。
第５軸減速ユニット１１７は、原動プーリ１２１、歯付ベルト１２３、従動プーリ１２５、および第５軸最終減速機１２７を有する。第５軸最終減速機１２７は、入力軸１２７ａ及び出力軸１２７ｂを有する。例えば、入力軸１２７ａと出力軸１２７ｂは同軸である。望ましくは、第５軸最終減速機１２７は、ノンバックラッシ減速機である。第５軸最終減速機１２７は、支持部１１８の＋Ｙ方向の内側に、出力軸１２７ｂが第５軸に一致するように配置される。
原動プーリ１２１は、出力軸１１５ａに固定される。従動プーリ１２５は、入力軸１２７ａに固定される。歯付ベルト１２３は、原動プーリ１２１と従動プーリ１２５との間に架けられる。

【0036】

ベアリング１３５、第６軸モータ１３１及び第６軸減速機１３３は、第２回転サドル１２９に配置される。支持軸１１９は、ベアリング１３５に支持される。第２回転サドル１２９は、出力軸１２７ｂに固定される。第２回転サドル１２９は、出力軸１２７ｂと支持軸１１９に両端を支持されて、第５軸１４７を中心に揺動可能に配置される。

【0037】

第６軸モータ１３１は、出力軸１３１ａを有し、第２回転サドル１２９の先端部に配置される。出力軸１３１ａは、第６軸１４９に一致する。
第６軸減速機１３３は、入力軸１３３ａ及び出力軸１３３ｂを有する。出力軸１３３ｂは、入力軸１３３ａと同軸である。入力軸１３３ａは、出力軸１３１ａと直接連結される。出力軸１３３ｂは、第６軸１４９と同軸である。

【0038】

第３回転サドル１３６は、出力軸１３３ｂに固定される。
ハンド１３７は、第３回転サドル１３６の先端面に配置される。ハンド１３７は、例えば、固定爪１３７ａと可動爪１３７ｂを有する。可動爪１３７ｂは、固定爪１３７ａと向き合って配置され、固定爪１３７ａに向かう方向に往復する。例えば、ハンド１３７は、圧縮空気によって駆動する。

【0039】

図４Ａおよび図４Ｂを参照して、洗浄機１０を用いた対象物１５１の洗浄方法を説明する。最初に搬入扉３４を開ける。次に、図４Ａに示すように、多軸ロボット４３は、搬入口３１を通って洗浄機１０の外部にハンド１３７を移動する。ハンド１３７は、洗浄室１１の外部で対象物１５１を把持する。多軸ロボット４３は、対象物１５１を把持した状態で、経路１５３に沿い、搬入口３１を通って洗浄室１１の内部に対象物１５１を搬入する。そして、搬入扉３４を閉じる。

【0040】

多軸ロボット４３は、対象物１５１を洗浄ステーション１５に移動させる。ポンプ３７が、洗浄パイプ１９に洗浄液を供給する。洗浄ノズル２１は、洗浄液を洗浄空間１８内に噴射する。次いで、多軸ロボット４３は対象物１５１を把持したまま、洗浄を行う。多軸ロボット４３は、対象物１５１を洗浄空間１８の上方に位置づける。図４Ｂに示すように、多軸ロボット４３は、対象物１５１を洗浄空間１８内を経路１５５に沿って移動する。噴流２５は、対象物１５１の洗浄対象箇所に衝突する。

【0041】

図４Ｂに示す経路１５５は、まず、＋Ｚ方向に対象物１５１の高さ１５７だけ移動する。次に、−Ｙ方向に洗浄ノズル２１の配列間隔１５９の４分の１だけ移動する。次に、−Ｚ方向に対象物１５１の高さ１５７だけ移動する。次に、−Ｙ方向に洗浄ノズル２１の配列間隔１５９の４分の１だけ移動する。これを４度繰り返すことにより、対象物１５１の表面をほぼ均一に洗浄できる。
なお、経路１５５は一例に過ぎず、他の経路を採用してもよい。

【0042】

洗浄後、多軸ロボット４３は、搬送通路３５を通して対象物１５１を乾燥ステーション２３に移動させる。ブロアー４１は、乾燥空気をブローノズル２９へ送る。乾燥方法は、洗浄方法と実質的に同一である。次いで、搬出扉４０を開ける。多軸ロボット４３は、搬出口３３を通って、洗浄室１１の外部の搬出位置へ対象物１５１を移動する。多軸ロボット４３は、ハンド１３７から対象物１５１を解放する。アーム部４５を搬出口３３を通って搬送通路３５へ戻す。最後に、搬出扉４０を閉じる。

【0043】

＜実施形態２＞
図５に示すように、本実施形態の洗浄機５００は、洗浄室５１１と、多軸ロボット５４３と、分離壁５１３と、棚板５１４と、洗浄ステーション５１５と、乾燥ステーション５２３とを有する。多軸ロボット５４３は、単軸ロボット４４と、アーム部５４５とを有する。図５には示されていないが、アーム部５４５の先端にはハンドが配置される。

【0044】

洗浄ステーション５１５及び乾燥ステーション５２３は、棚板５１４の下方に配置される。分離壁５１３は、棚板５１４の下方を、洗浄ステーション５１５と乾燥ステーション５２３に分離する。

【0045】

棚板５１４は、前面（第２側面）に沿って、水平面上に配置される。棚板５１４の後端は、洗浄室１１の背面３８から離間する。棚板５１４の後端と、多軸ロボット５４４との間には、アーム部５４５がたたまれた状態で自由に旋回できるだけの隙間が設けられている。
分離壁５１３は、棚板５１４と、底板１６と、前面に接している。分離壁５１３の後端は、棚板５１４の後端と前後方向において同じ位置である。

【0046】

洗浄パイプ５１９は、洗浄ステーション５１５の後端部に、ＺＸ平面に沿って配置される。洗浄パイプ５１９は、例えば、Ｏ字状である。洗浄ノズル２１は、洗浄パイプ５１９の内周の全周に配置される。洗浄ノズル２１の噴口２１ａは、洗浄パイプ５１９の内側に向けて配置される。

【0047】

ブローパイプ５２７は、乾燥ステーション５２３の後端部に、ＺＸ平面に沿って配置される。ブローパイプ５２７は、例えば、Ｏ字状である。ブローノズル２９は、ブローパイプ５２７の内周の全周に配置される。ブローノズル２９の噴口２９ａは、ブローパイプ５２７の内側に向けて配置される。

【0048】

搬入口及び搬出口は、棚板５１４の上方に配置される。搬入口（不図示）及び搬出口３３は、例えば、右側面、左側面にそれぞれ配置される。搬出口を兼ねた搬入口３１が前面に配置されても良い。

【0049】

アーム部５４５は、第２軸１４１、第３軸１４３、第４軸１４５、第５軸１４７、第６軸１４９に沿って各部が回転する。第２軸１４１は、Ｚ方向に延びる。第３軸１４３は、水平方向に延びる。第３軸１４３は、第２軸１４１の前方に配置され、第２軸１４１と交差しない。

【0050】

図６は、第２軸１４１を通るＹＺ平面における断面図である。図６に示すように、多軸ロボット５４３は、上下サドル５７７と、第１回転サドル５９３と、第２軸モータ５７９と、第２軸減速機５８１とを有する。上下サドル５７７は、その上下端部に前方への突起部５７７ａ、５７７ｂを有する。上下サドル５７７は、Ｕ字状の断面を有する。

【0051】

第１回転サドル５９３は、第１回転サドル５９３の下方端部に支持軸５８０を有する。第１回転サドル５９３の基端部は、突起部５７７ａ、５７７ｂに支持される。第１回転サドル５９３は、上下サドル５７７の前方に延びて配置される。第２軸モータ５７９は、出力軸を上方に向けて、第１回転サドル５９３の基端部に配置される。第２軸減速機５８１は、第２軸モータ５７９と直結されて、上下サドル５７７の上方の突起部５７７ａに支持される。支持軸５８０は、下方の突起部５７７ｂにベアリング５８３を介して支持される。
第１アーム１０１は、第１回転サドル５９３の前方に支持される。

【0052】

本実施形態によれば、第３軸１４３を第２軸１４１の前方に配置したため、多軸ロボット５４３及び洗浄機５００の高さを低くできる。また、洗浄室５１１の下方に棚板５１４を設け、棚板５１４の下方に洗浄ステーション５１５及び乾燥ステーション５１３を設けたため、前面に搬入口３１や搬出口を配置できる。そのため、洗浄機５００の配置の自由度が高くなる。

【0053】

なお、本発明は前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。前記実施形態は、好適な例を示したものであるが、当業者ならば、本明細書に開示の内容から、各種の代替例、修正例、変形例あるいは改良例を実現することができ、これらは添付の特許請求の範囲に記載された技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0054】

１０、５００ 洗浄機
１１、５１１ 洗浄室
１３、５１３ 分離壁
１５、５１５ 洗浄ステーション
２１ 洗浄ノズル
２３、５２３ 乾燥ステーション
２９ ブローノズル
３８ 背面（側面）
４６ コラム
５９ 直線ガイド
７７ 上下サドル
９３ 第１回転サドル
１０１ 第１アーム
１１３ 第２アーム
１２９ 第２回転サドル
１３６ 第３回転サドル
１３７ ハンド
１３９ 第１軸
１４１ 第２軸
１４３ 第３軸
１４５ 第４軸
１４７ 第５軸
１４９ 第６軸
１５１ 対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】