特開2021-174983(P2021-174983A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2021-174983ＳｉＣ電子装置におけるドーピング活性化及びオーミックコンタクト形成並びにＳｉＣ電子装置
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