特開 2021-175569 フィルタ装置用アダプタ及び使用方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-175569(P2021-175569A)

(43)【公開日】2021年11月4日

(54)【発明の名称】フィルタ装置用アダプタ及び使用方法

(51)【国際特許分類】

   B01D 27/08 20060101AFI20211008BHJP

   B01D 29/11 20060101ALI20211008BHJP

【ＦＩ】

   B01D27/08

   B01D29/10 510E

   B01D29/10 510G

   B01D29/10 520Z

   B01D29/10 530A

【審査請求】有

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2021-41482(P2021-41482)

(22)【出願日】2021年3月15日

(31)【優先権主張番号】16/846,574

(32)【優先日】2020年4月13日

(33)【優先権主張国】US

(71)【出願人】

【識別番号】596064112

【氏名又は名称】ポール・コーポレーション

【氏名又は名称原語表記】Ｐａｌｌ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ

(74)【代理人】

【識別番号】100107456

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 成人

(74)【代理人】

【識別番号】100162352

【弁理士】

【氏名又は名称】酒巻 順一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100123995

【弁理士】

【氏名又は名称】野田 雅一

(72)【発明者】

【氏名】星野 辰也

【テーマコード（参考）】

4D116

【Ｆターム（参考）】

4D116AA12

4D116BB01

4D116BC23

4D116BC25

4D116BC27

4D116BC47

4D116DD03

4D116GG12

4D116KK04

4D116QA04B

4D116QA04E

4D116QA04F

4D116QC32B

4D116VV07

(57)【要約】

【課題】フィルタ装置には、フィルタをフィルタハウジング内に設置するときに、フィルタがフィルタハウジングのポリマーとは異なるポリマーを含む場合にアダプタを使用する必要があるものがある。本発明は、かかるアダプタを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によれば、フィルタ装置で使用するためのアダプタが提供される。アダプタは、２つ以上の中空通路を含む下方に傾斜した内壁、及び中央流体流ポートを有し、アダプタは、フィルタ装置ハウジングヘッドに溶着され得る。
【選択図】 図１Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

（ａ）外側ケージ、内側コア、第１のエンドキャップ、及び第２のエンドキャップを備えるフィルタハウジング内に配置された、多孔質メディアを含む中空円筒形フィルタ要素を備えるフィルタであって、前記外側ケージ及び前記内側コアが、前記外側ケージと前記内側コアとの間の前記フィルタ要素と共に第１のエンドキャップ及び第２のエンドキャップに封着され、前記第２のエンドキャップが閉鎖エンドキャップを備え、前記第１のエンドキャップが、フィルタ出口を備える中空突出部を含む開放エンドキャップを備え、前記中空突出部が外壁を有する、フィルタと、
（ｂ）入口ポート及び出口ポートを含むヘッドと、前記フィルタを受容するための内部を有するボウルとを備えるフィルタ装置ハウジングと、
（ｃ）中空体を備えるアダプタと
を備えるフィルタ装置であって、
前記中空体は、
（ｉ）上部テーパ内径部を有する上部であって、前記上部テーパ内径部が最大直径及び最小直径を有する、上部、
（ｉｉ）下部、及び
（ｉｉｉ）前記中空体を通過する中央流体流ポート
を有し、
前記中央流体流ポートが第１の端部及び第２の端部と内壁及び外壁とを有し、前記中央流体流ポートが前記フィルタ出口と流体流通し、
前記上部が、前記上部テーパ内径部を提供する下方に傾斜した内壁を含み、前記下方に傾斜した内壁が、前記上部テーパ内径部の前記最小直径で前記中央流体流ポートの前記第１の端部に接続され、前記下方に傾斜した内壁が、上面と前記下方に傾斜した内壁の前記上面を通過する２つ以上の中空通路とを有し、前記２つ以上の中空通路のそれぞれが上側通路端部及び下側通路端部を含み、前記下方に傾斜した内壁の前記上面が前記上側通路端部を含み、
前記下部が、前記中央流体流ポートの前記第２の端部を含む下方に延びる中空管状要素を含み、前記中空管状要素が、前記中央流体流ポートの前記内壁及び前記外壁を備え、前記下部が、前記下方に延びる中空管状要素を取り囲む環状チャネルを含み、前記環状チャネルが、ベース、外側側壁、及び前記中央流体流ポートの前記外壁を備える内側側壁を含み、前記環状チャネルの前記ベースが、前記２つ以上の中空通路の前記下側通路端部を含み、
前記環状チャネルの前記外側側壁が、前記フィルタ出口を備える前記中空突出部の前記外壁を封止し、前記アダプタが、前記フィルタ装置ハウジングヘッド及び前記アダプタの前記上部に溶着され、
流体流路が、前記入口ポート、前記外側ケージ、前記多孔質メディア、前記フィルタ出口、前記アダプタ中央流体流ポート、及び前記出口ポートを通過する、フィルタ装置。

【請求項2】

前記フィルタ装置ハウジングヘッド及び前記アダプタがそれぞれ、フルオロポリマーを含む、請求項１に記載のフィルタ装置。

【請求項3】

前記第１のエンドキャップがポリプロピレン又はポリエチレンを含む、請求項１又は２に記載のフィルタ装置。

【請求項4】

前記２つ以上の中空通路が、前記アダプタの水平軸線に対して傾斜している、請求項１〜３のいずれか一項に記載のフィルタ装置。

【請求項5】

中空体を備える、フィルタ装置で使用するためのアダプタであって、
前記中空体が、
（ｉ）上部テーパ内径部を有する上部であって、前記上部テーパ内径部が最大直径及び最小直径を有する、上部、
（ｉｉ）下部、及び
（ｉｉｉ）前記中空体を通過する中央流体流ポート
を有し、
前記中央流体流ポートが第１の端部及び第２の端部と内壁及び外壁とを有し、前記中央流体流ポートがフィルタ出口と流体流通し、
前記上部が、前記上部テーパ内径部を提供する下方に傾斜した内壁を含み、前記下方に傾斜した内壁が、前記上部テーパ内径部の前記最小直径で前記中央流体流ポートの前記第１の端部に接続され、前記下方に傾斜した内壁が、上面と前記下方に傾斜した内壁の前記上面を通過する２つ以上の中空通路とを有し、前記２つ以上の中空通路のそれぞれが上側通路端部及び下側通路端部を含み、前記下方に傾斜した内壁の前記上面が前記上側通路端部を含み、
前記下部が、前記中央流体流ポートの前記第２の端部を含む下方に延びる中空管状要素を含み、前記中空管状要素が、前記中央流体流ポートの前記内壁及び前記外壁を備え、前記下部が、前記下方に延びる中空管状要素を取り囲む環状チャネルを含み、前記環状チャネルが、ベース、外側側壁、及び前記中央流体流ポートの前記外壁を備える内側側壁を備え、前記環状チャネルの前記ベースが、前記２つ以上の中空通路の前記下側通路端部を含む、アダプタ。

【請求項6】

前記２つ以上の中空通路が、前記アダプタの水平軸線に対して傾斜している、請求項５に記載のアダプタ。

【請求項7】

流体を濾過する方法であって、
前記流体を請求項１〜４のいずれか一項に記載のフィルタ装置に通すステップを含む、方法。

【請求項8】

前記流体がマイクロエレクトロニクス産業で使用される、請求項７に記載の方法。

【請求項9】

フィルタを洗浄する方法であって、
洗浄流体を請求項１〜４のいずれか一項に記載のフィルタ装置に通すステップと、
脱イオン水を前記フィルタ装置に通すステップであって、前記洗浄流体が前記フィルタ装置から洗い流される、ステップと
を含む、方法。

【発明の詳細な説明】

【発明の背景】

【0001】

[0001]フィルタ装置には、フィルタをフィルタハウジング内に設置するときに、フィルタがフィルタハウジングのポリマーとは異なるポリマーを含む場合にアダプタを使用する必要があるものがある。しかしながら、改良型フィルタ装置も必要とされている。

【0002】

[0002]本発明は、先行技術の欠点の少なくともいくつかを改善するために提供されるものである。本発明のこれら及びその他の利点は、以下に記載の説明から明らかになるであろう。

【発明の概要】

【0003】

[0003]本発明の一実施形態は、フィルタ装置を提供するものであり、フィルタ装置は、（ａ）外側ケージ、内側コア、第１のエンドキャップ、及び第２のエンドキャップを備えるフィルタハウジング内に配置された、多孔質メディアを備える中空円筒形フィルタ要素を備えるフィルタであって、外側ケージ及び内側コアが、外側ケージと内側コアとの間のフィルタ要素と共に第１のエンドキャップ及び第２のエンドキャップに封着され、第２のエンドキャップが閉鎖エンドキャップを備え、第１のエンドキャップが、フィルタ出口を備える中空突出部を含む開放エンドキャップを備え、中空突出部が外壁を有する、フィルタと、（ｂ）入口ポート及び出口ポートを含むヘッドとフィルタを受容するための内部を有するボウルとを備えるフィルタ装置ハウジングと、（ｃ）中空体を備えるアダプタと、を備える。中空体は、（ｉ）上部テーパ内径部を有する上部であって、上部テーパ内径部が最大直径及び最小直径を有する、上部、（ｉｉ）下部、及び（ｉｉｉ）中空体を通過する中央流体流ポートを有し、中央流体流ポートは第１の端部及び第２の端部と内壁及び外壁とを有し、中央流体流ポートはフィルタ出口と流体流通し、上部は、上部テーパ内径部を提供する下方に傾斜した内壁を含み、下方に傾斜した内壁は、上部テーパ内径部の最小直径で中央流体流ポートの第１の端部に接続され、下方に傾斜した内壁は、上面と下方に傾斜した内壁の上面を通過する２つ以上の中空通路とを有し、２つ以上の中空通路のそれぞれが上側通路端部及び下側通路端部を含み、下方に傾斜した内壁の上面は上側通路端部を含み、下部は、中央流体流ポートの第２の端部を含む下方に延びる中空管状要素を含み、中空管状要素は、中央流体流ポートの内壁及び外壁を備え、下部は、下方に延びる中空管状要素を取り囲む環状チャネルを含み、環状チャネルは、ベース、外側側壁、及び中央流体流ポートの外壁を備える内側側壁を含み、環状チャネルのベースは、２つ以上の中空通路の下側通路端部を含み、環状チャネルの外側側壁は、フィルタ出口を備える中空突出部の外壁を封止し、アダプタは、フィルタ装置ハウジングヘッド及びアダプタの上部に溶着され、流体流路は、入口ポート、外側ケージ、多孔質メディア、フィルタ出口、アダプタ中央流体流ポート、及び出口ポートを通過する。

【0004】

[0004]別の実施形態によれば、フィルタ装置で使用するためのアダプタが中空体を備え、中空体は、（ｉ）上部テーパ内径部を有する上部であって、上部テーパ内径部が最大直径及び最小直径を有する、上部、（ｉｉ）下部、及び（ｉｉｉ）中空体を通過する中央流体流ポートを有し、中央流体流ポートは第１の端部及び第２の端部と内壁及び外壁とを有し、中央流体流ポートはフィルタ出口と流体流通し、上部は、上部テーパ内径部を提供する下方に傾斜した内壁を含み、下方に傾斜した内壁は、上部テーパ内径部の最小直径で中央流体流ポートの第１の端部に接続され、下方に傾斜した内壁は、上面と下方に傾斜した内壁の上面を通過する２つ以上の中空通路とを有し、２つ以上の中空通路のそれぞれが上側通路端部及び下側通路端部を含み、下方に傾斜した内壁の上面は上側通路端部を含み、下部は、中央流体流ポートの第２の端部を含む下方に延びる中空管状要素を含み、中空管状要素は、中央流体流ポートの内壁及び外壁を備え、下部は、下方に延びる中空管状要素を取り囲む環状チャネルを含み、環状チャネルは、ベース、外側側壁、及び中央流体流ポートの外壁を備える内側側壁を備え、環状チャネルのベースは、２つ以上の中空通路の下側通路端部を含む。

【図面の簡単な説明】

【0005】

【図1A】本発明の一実施形態によるフィルタ装置ハウジングとフィルタと下方に傾斜した内壁及び傾斜した中空通路を含むアダプタとを含むフィルタ装置の一実施形態の断面図であり、アダプタはフィルタ装置ハウジングに溶着され、アダプタはフィルタの端部に封着される

【図1B】図１Ａに示したフィルタ装置の上面図である。

【図1C】図１Ａに示したフィルタ装置の左側面図である。

【図2A】図１Ａに示したフィルタ装置内に示されるアダプタの実施形態の上方からの斜視図である。

【図2B】下方からの斜視図である。

【図2C】上面図である。

【図2D】底面図である。

【図2E】図２Ｃの線Ａ−Ａに沿った断面図である。

【図2F】図２Ｃの線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。

【図3】図１Ａに示したフィルタ装置内のフィルタの断面図である。

【図4A】本発明の一実施形態によるフィルタ装置ハウジングとフィルタと下方に傾斜した内壁及び中空通路を含むアダプタとを含むフィルタ装置の一実施形態の断面図であり、アダプタはフィルタ装置ハウジングに溶着され、アダプタはフィルタの端部に封着される。

【図4B】図４Ａに示したフィルタ装置の上面図である。

【図4C】図４Ａに示したフィルタ装置の左側面図である。

【図5A】図４Ａに示したフィルタ装置内に示されるアダプタの実施形態の上方からの斜視図である。

【図5B】下方からの斜視図である。

【図5C】上面図である。

【図5D】底面図である。

【図5E】図５Ｃの線Ｃ−Ｃに沿った断面図である。

【図5F】図５Ｃの線Ｄ−Ｄに沿った断面図である。

【図6】図４Ａに示したフィルタ装置内のフィルタの断面図である。

【図7A】図１に示したフィルタ装置の部分概略図であり、アダプタ内の中央流体流路に沿った流体流路に沿った流れ（黒矢印）、及び中空通路を通る流れ（白矢印）を示す。

【図7B】下方に傾斜した内壁及び中空通路がないアダプタの中央流体流路に沿った例示的な流れの部分概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0006】

[0012]本発明の一実施形態によれば、フィルタ装置が提供され、フィルタ装置は、（ａ）外側ケージ、内側コア、第１のエンドキャップ、及び第２のエンドキャップを備えるフィルタハウジング内に配置された、多孔質メディアを備える中空円筒形フィルタ要素を備えるフィルタであって、外側ケージ及び内側コアが、外側ケージと内側コアとの間のフィルタ要素と共に第１のエンドキャップ及び第２のエンドキャップに封着され、第２のエンドキャップが閉鎖エンドキャップを備え、第１のエンドキャップが、フィルタ出口を備える中空突出部を含む開放エンドキャップを備え、中空突出部が外壁を有する、フィルタと、（ｂ）入口ポート及び出口ポートを含むヘッドとフィルタを受容するための内部を有するボウルとを備えるフィルタ装置ハウジングと、（ｃ）中空体を備えるアダプタと、を備え、中空体は、（ｉ）上部テーパ内径部を有する上部であって、上部テーパ内径部が最大直径及び最小直径を有する、上部、（ｉｉ）下部、及び（ｉｉｉ）中空体を通過する中央流体流ポートを有し、中央流体流ポートは第１の端部及び第２の端部と内壁及び外壁とを有し、中央流体流ポートはフィルタ出口と流体流通し、上部は、上部テーパ内径部を提供する下方に傾斜した内壁を含み、下方に傾斜した内壁は、上部テーパ内径部の最小直径で中央流体流ポートの第１の端部に接続され、下方に傾斜した内壁は、上面と下方に傾斜した内壁の上面を通過する２つ以上の中空通路とを有し、２つ以上の中空通路のそれぞれが上側通路端部及び下側通路端部を含み、下方に傾斜した内壁の上面は上側通路端部を含み、下部は、中央流体流ポートの第２の端部を含む下方に延びる中空管状要素を含み、中空管状要素は、中央流体流ポートの内壁及び外壁を備え、下部は、下方に延びる中空管状要素を取り囲む環状チャネルを含み、環状チャネルは、ベース、外側側壁、及び中央流体流ポートの外壁を備える内側側壁を含み、環状チャネルのベースは、２以上の中空通路の下側通路端部を含み、環状チャネルの外側側壁は、フィルタ出口を備える中空突出部の外壁を封止し、アダプタは、フィルタ装置ハウジングヘッド及びアダプタの上部に溶着され、流体流路は、入口ポート、外側ケージ、多孔質メディア、フィルタ出口、アダプタ中央流体流ポート、及び出口ポートを通過する。

【0007】

[0013]好ましい一実施形態では、アダプタ及びフィルタ装置ハウジング（特にフィルタ装置ハウジングヘッド）はそれぞれ、フルオロポリマー、より好ましくはパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）を含む。

【0008】

[0014]一実施形態では、フィルタ（特に第１のエンドキャップ）はポリプロピレン又はポリエチレンを含む。

【0009】

[0015]別の実施形態によれば、フィルタ装置で使用するためのアダプタが中空体を備え、中空体は、（ｉ）上部テーパ内径部を有する上部であって、上部テーパ内径部が最大直径及び最小直径を有する、上部、（ｉｉ）下部、及び（ｉｉｉ）中空体を通過する中央流体流ポートを有し、中央流体流ポートは第１の端部及び第２の端部と内壁及び外壁とを有し、中央流体流ポートはフィルタ出口と流体流通し、上部は、上部テーパ内径部を提供する下方に傾斜した内壁を含み、下方に傾斜した内壁は、上部テーパ内径部の最小直径で中央流体流ポートの第１の端部に接続され、下方に傾斜した内壁は、上面と下方に傾斜した内壁の上面を通過する２つ以上の中空通路を有し、２つ以上の中空通路のそれぞれが上側通路端部及び下側通路端部を含み、下方に傾斜した内壁の上面は上側通路端部を含み、下部は、中央流体流ポートの第２の端部を含む下方に延びる中空管状要素を含み、中空管状要素は、中央流体流ポートの内壁及び外壁を備え、下部は、下方に延びる中空管状要素を取り囲む環状チャネルを含み、環状チャネルは、ベース、外側側壁、及び中央流体流ポートの外壁を備える内側側壁を備え、環状チャネルのベースは、２つ以上の中空通路の下側通路端部を含む。

【0010】

[0016]好適には、フィルタ装置内のデッドスペースが縮小される。例えば、フィルタ装置の組立中にデッドスペースを縮小することができ、フィルタ装置を出荷する準備をする（例えば、酸などの洗浄液で洗浄すること、及び洗浄液を脱イオン水で置き換えることを含む）間に、デッドスペースを縮小することができるので、好適には、迅速かつ効率的な液体置換が可能になる。さらに、ユーザのサイトでの設置済みフィルタ装置のプロセス起動時間を短縮することができる。

【0011】

[0017]別の利点では、アダプタは、溶着中にフィルタ構成要素を溶かさないようにする熱シールドとなり、効率的な封止も可能にする。

【0012】

[0018]一実施形態では、フィルタ装置を組み立てる方法が、第１のエンドキャップ、及び第２のエンドキャップを備えるフィルタハウジング内に配置された、多孔質メディアを備える中空円筒形フィルタ要素を備えるフィルタの上に本発明による中空通路を含むアダプタの一実施形態を配置するステップであって、第２のエンドキャップが閉鎖エンドキャップを備え、第１のエンドキャップが、フィルタ出口を備える中空突出部を含む開放エンドキャップを備え、中空突出部が外壁を有し、フィルタがフィルタ装置ハウジングのボウル内に配置される、ステップと、アダプタを下方に押し、フィルタ装置ハウジングのフィルタ及び／又はボウル内に存在するいくらかの空気を中空通路に通すステップと、フィルタ装置ハウジングのヘッドを溶着し、中空通路を通過する空気をフィルタ装置ハウジングのヘッド内の出口ポートに通すステップと、を含む。

【0013】

[0019]本発明の別の実施形態によれば、フィルタを洗浄する方法が提供され、この方法は、洗浄液をフィルタ装置の一実施形態に通すステップと脱イオン水をフィルタ装置に通して、フィルタ装置から洗浄液を洗い流すステップとを含む。

【0014】

[0020]本発明の別の実施形態によれば、流体を濾過する方法が提供され、この方法は、流体を流体流路に沿ってフィルタ装置の一実施形態に通すステップを含む。例えば、流体は入口ポート及びフィルタを通過し、濾過された流体は、フィルタ出口、アダプタの中央流体流ポート、及び出口ポートを通過する。いくつかの実施形態では、この方法は、濾過前に、適切な場合には濾過中に、ベントポートを通して空気又はガスを放出するステップを含む。

【0015】

[0021]次に、本発明の構成要素のそれぞれについて以下により詳細に説明するが、同様の構成要素は同様の参照番号を有する。

【0016】

[0022]図１Ａは、本発明の一実施形態によるアダプタ１００を含むフィルタ装置５００の一実施形態の断面図であり、アダプタはフィルタ装置ハウジング２００に溶着され、アダプタはフィルタ５０の端部に封着される。図１Ｂは、フィルタ装置のヘッド２０１の上面図であり、図１Ｃは、フィルタ装置ハウジングを示すフィルタ装置の左側面図である。

【0017】

[0023]図１Ａに示される実施形態によれば、フィルタ装置５００は、入口ポート２１０及び出口ポート２１１を含むヘッド２０１とフィルタ５０（図３により詳細に示されている）を受容するための内部３００を有するボウル２０２とを備えるフィルタ装置ハウジング２００を具備し、フィルタは、外側ケージ５２、内側コア５３、第１のエンドキャップ５４Ａ、及び第２のエンドキャップ５４Ｂを備えるフィルタハウジング５１内に配置された、多孔質メディア１１を備える中空円筒形フィルタ要素１０を備え、外側ケージ及び内側コアは、外側ケージと内側コアとの間のフィルタ要素と共に第１のエンドキャップ及び第２のエンドキャップに封着され、第２のエンドキャップは閉鎖エンドキャップを備え、第１のエンドキャップは、フィルタ出口５６を備える中空突出部５５を含む開放エンドキャップを備え、中空突出部は、上壁５７と内壁５８とｏリングとして示されている弾性部材６０Ａ、６０Ｂを受容するための溝５９Ａ、５９Ｂを含む外壁５９とを有する。

【0018】

[0024]この図示実施形態によれば、アダプタ１００（図２Ａ〜図２Ｆにより詳細に示されている）は中空体１０１を備え、中空体は、上部テーパ内径部１１１を有する上部１１０であって、上部テーパ内径部が最大直径１１１Ａ及び最小直径１１１Ｂを有する、上部１１０と、下部１５０と、中空体１０１を通過する中央流体流ポート１３０とを有し、中央流体流ポートは、第１の端部１３１及び第２の端部１３２と内壁１３３Ａ及び外壁１３３Ｂとを有し、中央流体流ポート１３０は、フィルタ出口５６と流体流通し、上部１１０は、上部テーパ内径部１１１を形成する下方内方に傾斜した内壁１２０を含み、下方に傾斜した内壁１２０は、上部テーパ内径部の最小直径１１１Ｂで中央流体流ポートの第１の端部１３１に接続され、下方に傾斜した内壁は、上面１２１と下方に傾斜した内壁の上面１２１を通過する２つ以上の中空通路１２５（６個の通路が示されている）とを有し、２つ以上の中空通路１２５のそれぞれが上側通路端部１２５Ａ及び下側通路端部１２５Ｂを含み、下方に傾斜した内壁の上面１２１は上側通路端部１２５Ａを含み、下部１５０は、中央流体流ポートの第２の端部１３２を含む下方に延びる中空管状要素１５１を含み、中空管状要素１５１は、中央流体流ポート１３０の内壁１３３Ａ及び外壁１３３Ｂを備え、下部１５０は、下方に延びる中空管状要素１５１を取り囲む環状チャネル１６０を含み、環状チャネルは、ベース１６１、外側側壁１６２、及び中央流体流ポートの外壁１３３Ｂを備える内側側壁１６３を備え、環状チャネル１６０のベース１６１は、２つ以上の中空通路１２５の下側通路端部１２５Ｂを含む。

【0019】

[0025]図２Ｆに示されるように、図５Ｆに示されるアダプタ１００’の実施形態とは対照的に、図２Ｆに示される中空通路１２５は、第２の端部１２５Ｂから第１の端部１２５Ａに向かって内方に傾斜して配置される。通常、テーパ角度は約３０度であり、水平軸線（図７Ａの「Ｈ−Ｈ」）に対する傾斜角度は約７５度である。

【0020】

[0026]図４Ａは、本発明の別の実施形態によるアダプタ１００’を含むフィルタ装置５００’の別の実施形態の断面図であり、アダプタはフィルタ装置ハウジング２００’に溶着され、アダプタはフィルタ５０’の端部に封着される。図４Ｂは、フィルタ装置のヘッド２０１’の上面図であり、図４Ｃは、フィルタ装置ハウジングを示すフィルタ装置の左側面図である。

【0021】

[0027]図４Ａに示される実施形態によれば、フィルタ装置５００’は、入口ポート２１０’及び出口ポート２１１’を含むヘッド２０１’とフィルタ５０’（図６により詳細に示されている）を受容するための内部３００’を有するボウル２０２’とを備えるフィルタ装置ハウジング２００’を備え、フィルタは、外側ケージ５２’、内側コア５３’、第１のエンドキャップ５４Ａ’、及び第２のエンドキャップ５４Ｂ’を備えるフィルタハウジング５１’内に配置された、多孔質メディア１１’を備える中空円筒形フィルタ要素１０’を備え、外側ケージ及び内側コアは、外側ケージと内側コアとの間のフィルタ要素と共に第１のエンドキャップ及び第２のエンドキャップに封着され、第２のエンドキャップは閉鎖エンドキャップを備え、第１のエンドキャップは、フィルタ出口５６’を備える中空突出部５５’を含む開放エンドキャップを備え、中空突出部は、上壁５７’と内壁５８’とｏリングとして示されている弾性部材６０Ａ’、６０Ｂ’を受容するための溝５９Ａ’、５９Ｂ’を含む外壁５９’とを有する。

【0022】

[0028]この図示の実施形態によれば、アダプタ１００’（図５Ａ〜図５Ｆにより詳細に示される）は中空体１０１’を備え、中空体は、上部テーパ内径部１１１’を有する上部１１０’であって、上部テーパ内径部が最大直径１１１Ａ’及び最小直径１１１Ｂ’を有する、上部１１０’と、下部１５０’と、中空体１０１’を通過する中央流体流ポート１３０’と、を有し、中央流体流ポートは、第１の端部１３１’及び第２の端部１３２’と内壁１３３Ａ’及び外壁１３３Ｂ’とを有し、中央流体流ポート１３０’は、フィルタ出口５６’と流体流通し、上部１１０’は、上部テーパ内径部１１１’を提供する下方内方に傾斜した内壁１２０’を含み、下方に傾斜した内壁１２０’は、上部テーパ内径部の最小直径１１１Ｂ’で中央流体流ポートの第１の端部１３１’に接続され、下方に傾斜した内壁は、上面１２１’と下方に傾斜した内壁の上面１２１’を通過する２つ以上の中空通路１２５’（６個の通路が示されている）とを有し、２つ以上の中空通路１２５’のそれぞれが上側通路端部１２５Ａ’及び下側通路端部１２５Ｂ’を含み、下方に傾斜した内壁の上面１２１’は上側通路端部１２５Ａ’を含み、下部１５０’は、中央流体流ポートの第２の端部１３２’を含む下方に延びる中空管状要素１５１’を含み、中空管状要素１５１’は、中央流体流ポート１３０’の内壁１３３Ａ’及び外壁１３３Ｂ’を備え、下部１５０’は、下方に延びる中空管状要素１５１’を取り囲む環状チャネル１６０’を含み、環状チャネルは、ベース１６１’、外側側壁１６２’、及び中央流体流ポートの外壁１３３Ｂ’を備える内側側壁１６３’を備え、環状チャネル１６０’のベース１６１’は、２つ以上の中空通路１２５’の下側通路端部１２５Ｂ’を含む。

【0023】

[0029]本発明の諸実施形態は、アダプタ１００、１００’内に任意の数の中空通路を含むことができる。

【0024】

[0030]随意的ではあるが、アダプタ、フィルタ、及び／又はフィルタ装置の実施形態は、アダプタの外壁から突出する１つ又は複数の外部タブなどの追加の構成要素を含むことができる（例えば、図２Ａ〜図２Ｆに示される実施形態は、アダプタとボウルの内側との間に間隔を保つための３つのタブ１９０、並びに、アダプタ１００の下部１５０と第１のエンドキャップ５４Ａの上面との間に間隔を設けるための複数の脚部（図２Ａ〜図２Ｆに示される実施形態では３つの脚部１９１が示されている）を示す）。別法として、又は追加として、他のオプションの構成要素は、スペーサを提供する、アダプタの下部上の下方に突出するカラー（例えば、図２Ａ〜図２Ｆに示されるアダプタの実施形態では１８０として示されている）、及び／又は、アダプタの上部上の上方に突出するカラー（例えば、図２Ａ〜図２Ｆに示される実施形態では１９５として示され、図５Ａ〜図５Ｄに示される実施形態では１９５’として示されており、いくつかの実施形態では、１９５／１９５’は、溶着中に同じ深さの溶融領域を提供するために、ヘッドの反対側にある突出カラーと同じ立方体積を提供する（例えば、図４Ａ参照））を含む。図４Ａ及び図６に示されるフィルタの実施形態では、第１のエンドキャップ５４Ａ’は、アダプタ１００’の下部を着座させるための肩を設けたオプションのカラー７０’を含む。

【0025】

[0031]典型的には、上部１１０、１１０’（例えば、カラー１９５、１９５’の下）の外観は、一般的なドーム形状をしており、したがって、効率的な遮熱及び溶着を可能にしながら、必要な材料を削減する。

【0026】

[0032]以下でより詳細に述べるように、アダプタ１００、１００’がフィルタ装置ハウジング２００、２００’内に組み付けられるときに、フィルタ装置ハウジング内に存在する空気が中空通路１２５、１２５’に通され（図７Ａも参照のこと）、出口５６、５６’の上壁５７、５７’と環状チャネル１６０、１６０’のベース１６１、１６１’との間にいくらかの隙間のある状態で脚部１９１（存在する場合）が第１のエンドキャップ５４Ａと接触した後、出口ポート２１１、２１１’に通されるので、デッドスペースが縮小され、アダプタは（例えば、プラテン溶接法を用いて）フィルタ装置ハウジングヘッド２０１、２０１’に溶着され、好ましくは、ヘッド２０１、２０１’は同時にボウル２０２に溶着され、弾性部材６０Ａ、６０Ｂ、６０Ａ’、６０Ｂ’が存在するため、外側側壁１６２、１６２’は、フィルタ出口５６、５６’を備える中空突出部５５、５５’に対して封着される。アダプタ１００、１００’は、溶着中のフィルタ出口５６、５６’／エンドキャップ５４Ａ、５４Ａ’への熱損傷を防ぐ熱シールドとなる。

【0027】

[0033]続いて、フィルタ装置が組み立てられた後、濾過中のデッドスペースがさらに縮小され、特定の理論に拘束されることなく、下方に傾斜した内壁（図７Ａ参照）が、下方に傾斜した内壁がない場合に発生する可能性のある流れの渦領域及び停滞領域を最小限に抑えるので、デッドスペースが縮小されると考えられる（図７Ｂ参照、起こり得る流れの渦及び停滞領域を示す）。

【0028】

[0034]典型的には、中空通路１２５、１２５’の形状の中心線に対する内方かつ下方に傾斜した内壁の斜角は、約３０度〜約６０度の範囲である。好適には、中央流体流ポート１３０と中空通路１２５との間の約３０度〜約６０度の角度での流体流通もまた、デッドスペースを減らす。

【0029】

[0035]使用中、流体流路６００、６００’は、入口ポート２１０、２１０’、オプションの外側ケージ５２、５２’（存在する場合）、多孔質メディア１１、１１’、オプションの内側コア５３、５３’（存在する場合）、フィルタ出口５６、５６’、アダプタ中央流体流ポート１３０、１３０’、及び出口ポート２１１、２１１’を経由してフィルタ装置５００、５００’を通過する。所望であれば、フィルタ装置には、ベントポート２１２、２１２’からの通気孔を付けることができる。例えば、ベントポートに導管を接続することができ、導管にバルブなどの流量制御装置を付属して、ベントポート及び導管を通る流れを許可又は停止することが可能となり得る。

【0030】

[0036]本発明の諸実施形態によれば、様々な流体を濾過することができる。一実施形態では、フィルタは、マイクロエレクトロニクス産業向けの流体、例えば、水酸化アンモニウム、塩酸、過酸化水素、及び脱イオン化水のいずれか１つ又は複数を含む流体を濾過するために（例えば、ウエハの調製に）使用される。例えば、フィルタは、水酸化アンモニウム過酸化水素混合物（ＳＣ−１）や塩酸過酸化物混合物（ＳＣ−２）などの化学洗浄剤で使用され得る。

【0031】

[0037]フィルタは、異なる構造及び／又は機能、例えば、前濾過、支持、ドレネージ、スペーシング及び緩衝のいずれか１つ又は複数のうちの少なくとも１つを有することができる追加の要素、層、又は構成要素を含むことができる。例示的に、フィルタはまた、メッシュ及び／又はスクリーンなどの少なくとも１つの追加の要素を含むことができる。

【0032】

[0038]好ましくは、フィルタ装置は滅菌可能である。適切な形状の、少なくとも１つの入口及び少なくとも１つの出口を備える任意のハウジングが使用され得る。

【0033】

[0039]フィルタ装置ハウジング及びフィルタハウジングは、流体が処理されるのに適合する任意適当な不浸透性ポリマー材料から製造され得る。好ましい一実施形態では、フィルタ装置ハウジングは、フルオロポリマー、好ましくはパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）から製造され、フィルタハウジングの少なくともエンドキャップは、ポリプロピレン又はポリエチレンから製造される。

【0034】

[0040]以下の例は本発明をさらに説明するものであるが、もちろん、本発明の範囲を何ら制限するものとして解釈されるべきではない。

【実施例】

【0035】

[0041]この実施例は、中空通路のないアダプタを含むフィルタ装置と比べると、本発明の一実施形態による中空通路を有するアダプタを含むフィルタ装置における液体置換の改善を示す。

【0036】

[0042]図４Ａ及び図５Ａ〜図５Ｅに全体的に示されている中空通路を有するアダプタをそれぞれ含む５つのフィルタ装置が生産される。図５Ａ〜図５Ｅに示されているものと同様であるが、中空通路のないアダプタをそれぞれ含む別の５つのフィルタ装置が生産される。

【0037】

[0043]アダプタはフィルタ上に取り付けられ、ボウル内に設置され、続いてヘッドとボウルがプラテン溶着される。

【0038】

[0044]フィルタ装置は並列に設置され、３．５％塩酸で洗浄され、続いて脱イオン水で洗い流す。流量は約２４リットル／分であり、濾過流体の抵抗率が監視される。抵抗率が１５メガオームセンチメートルを超えると、プロセスが停止される。

【0039】

[0045]中空通路のないアダプタを備えた５つのフィルタ装置は、４時間以内に１５メガオームセンチメートルを超える抵抗率をもつ流体を提供する。本発明の一実施形態によるアダプタを備えた５つのフィルタ装置は、１時間以内に１７．５メガオームセンチメートルを超える抵抗率をもつ流体を提供し、したがって液体置換の改善を示す。

【0040】

[0046]本明細書に引用される、刊行物、特許出願、及び特許を含むすべての参照文献は、各参照文献が参照により組み込まれるように個別にかつ具体的に示され、その全体が本明細書に記述された場合と同程度に、参照により本明細書に組み込まれる。

【0041】

[0047]本発明を説明する文脈での（特に下記の特許請求の範囲の文脈での）用語「ａ」、「ａｎ」、「ｔｈｅ」、「ａｔ ｌｅａｓｔ ｏｎｅ」及び類似指示対象の使用は、本明細書内に特に指示がない限り又は文脈により明瞭に矛盾しない限り、単数形と複数形の両方を包含すると解釈されるべきである。その後に１つ又は複数の項目のリストが続く用語「ａｔ ｌｅａｓｔ ｏｎｅ」（例えば「ａｔ ｌｅａｓｔ ｏｎｅ ｏｆ Ａ ａｎｄ Ｂ」）の使用は、本明細書内に特に指示がない限り又は文脈により明瞭に矛盾しない限り、列挙項目（Ａ又はＢ）から選択された１つの項目、あるいは列挙された項目（Ａ及びＢ）の２つ以上の任意組合せを意味すると解釈されるべきである。用語「ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ」、「ｈａｖｉｎｇ」、「ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ」、及び「ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ」は、特に断りのない限り、非限定的用語（すなわち、「ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ，ｂｕｔ ｎｏｔ ｌｉｍｉｔｅｄ ｔｏ」）と解釈されるべきである。本明細書における値の範囲の記載は、本明細書内に特に指示がない限り、その範囲内にあるそれぞれ別々の値を個々に参照する略記法として機能することを意図しているにすぎず、それぞれ別の値は、本明細書に個々に記載されているかのように本明細書に組み込まれる。本明細書に記載されている方法はすべて、本明細書内に特に指示がない限り又は文脈により明瞭に矛盾しない限り、任意適当な順序で実行され得る。本明細書に提供されるあらゆる例、又は例示的な言い回し（例えば「ｓｕｃｈ ａｓ」）の使用は、本発明をより分かりやすく説明することを意図しているにすぎず、特に請求されない限り本発明の範囲を限定するものではない。本明細書内の言い回しは、任意の非請求の要素を本発明の実施に必須なものと指摘していると解釈されるべきではない。

【0042】

[0048]本発明の好ましい実施形態が、本発明を実施するための本発明人に知られる最良の形態を含めて、本明細書に記載されている。そうした好ましい実施形態の変形形態は、前述の説明を読んだときに当業者には明らかになり得る。本発明人は、当業者がかかる変形形態を必要に応じて使用することを期待し、本発明人は、本発明が本明細書に明確に記載されている以外の方法で実施されることを意図している。したがって、本発明は、適用法で許可されるように、本明細書に添付された特許請求の範囲に列挙された主題のすべての修正及び均等物を含む。さらに、そのすべての可能な変形形態における上記の要素の任意の組合せは、本明細書で特に指示がない限り又は文脈により明瞭に矛盾しない限り、本発明によって包含される。

【符号の説明】

【0043】

１０…中空円筒形フィルタ要素、１０’…中空円筒形フィルタ要素、１１…多孔質メディア、１１’…多孔質メディア、５０…フィルタ、５０’…フィルタ、５１…フィルタハウジング、５１’…フィルタハウジング、５２…外側ケージ、５２’…外側ケージ、５３…内側コア、５３’…内側コア、５４Ａ…第１のエンドキャップ、５４Ａ’…第１のエンドキャップ、５４Ｂ…第２のエンドキャップ、５４Ｂ’…第２のエンドキャップ、５５…中空突出部、５５’…中空突出部、５６…フィルタ出口、５６’…フィルタ出口、５７…上壁、５７’…上壁、５８…内壁、５８’…内壁、５９…外壁、５９’…外壁、５９Ａ…溝、５９Ａ’…溝、５９Ｂ…溝、５９Ｂ’…溝、６０Ａ…弾性部材、６０Ａ’…弾性部材、６０Ｂ…弾性部材、６０Ｂ’…弾性部材、７０’…オプションのカラー、１００…アダプタ、１００’…アダプタ、１０１…中空体、１０１’…中空体、１１０…上部、１１０’…上部、１１１…上部テーパ内径部、１１１’…上部テーパ内径部、１１１Ａ…最大直径、１１１Ａ’…最大直径、１１１Ｂ…最小直径、１１１Ｂ’…最小直径、１２０…下方内方に傾斜した内壁、１２０’…下方内方に傾斜した内壁、１２１…上面、１２１’…上面、１２５…中空通路、１２５’…中空通路、１２５Ａ…上側通路端部、１２５Ａ’…上側通路端部、１２５Ｂ…下側通路端部、１２５Ｂ’…下側通路端部、１３０…中央流体流ポート、１３０’…中央流体流ポート、１３１…第１の端部、１３１’…第１の端部、１３２…第２の端部、１３２’…第２の端部、１３３Ａ…内壁、１３３Ａ’…内壁、１３３Ｂ…外壁、１３３Ｂ’…外壁、１５０…下部１５０’…下部、１５１…下方に延びる中空管状要素、１５１’…下方に延びる中空管状要素、１６０…環状チャネル、１６０’…環状チャネル、１６１…ベース、１６１’…ベース、１６２…外側側壁、１６２’…外側側壁、１６３…内側側壁、１６３’…内側側壁、１８０…下方に突出するカラー、１９０…タブ、１９１…脚部、１９５…上方に突出するカラー、１９５’…上方に突出するカラー、２００…フィルタ装置ハウジング、２０１…ヘッド、２０１’…ヘッド、２０２…ボウル、２０２’…ボウル、２１０…入口ポート、２１０’…入口ポート、２１１…出口ポート、２１１’…出口ポート、２１２…ベントポート、２１２’…ベントポート、３００…内部、３００’…内部、５００…フィルタ装置、５００’…フィルタ装置、６００…流体流路、６００’…流体流路

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図2E】

【図2F】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図5E】

【図5F】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【外国語明細書】

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