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特開2021-17651バッチ式基板処理装置及びその運用方法
発明の名称 バッチ式基板処理装置及びその運用方法
出願人 ユ−ジーン テクノロジー カンパニー．リミテッド （識別番号 509123895）
特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1847 位（3件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2021-17651
公報発行日 2021年2月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-17651
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