特開2021-180304基板支持装置及び基板支持方法

発明の名称　基板支持装置及び基板支持方法

出願人　エーピー　システムズ　インコーポレイテッド　（識別番号 510223380）

　　　　特許公開件数ランキング 6922 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5520 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-180304

公報発行日　2021年11月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-180304

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