特開2021-184418基板処理装置、および、基板処理方法

発明の名称　基板処理装置、および、基板処理方法

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 77 位（229件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 48 位（286件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-184418

公報発行日　2021年12月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-184418

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