特開 2021-188716 メタルシールおよびメタルシールの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-188716(P2021-188716A)

(43)【公開日】2021年12月13日

(54)【発明の名称】メタルシールおよびメタルシールの製造方法

(51)【国際特許分類】

   F16J 15/08 20060101AFI20211115BHJP

   F16J 15/00 20060101ALI20211115BHJP

   F16J 15/06 20060101ALI20211115BHJP

【ＦＩ】

   F16J15/08 H

   F16J15/00 C

   F16J15/06 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2020-96709(P2020-96709)

(22)【出願日】2020年6月3日

(71)【出願人】

【識別番号】000101879

【氏名又は名称】イーグル工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098729

【弁理士】

【氏名又は名称】重信 和男

(74)【代理人】

【識別番号】100163212

【弁理士】

【氏名又は名称】溝渕 良一

(74)【代理人】

【識別番号】100204467

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 好文

(74)【代理人】

【識別番号】100148161

【弁理士】

【氏名又は名称】秋庭 英樹

(74)【代理人】

【識別番号】100156535

【弁理士】

【氏名又は名称】堅田 多恵子

(74)【代理人】

【識別番号】100195833

【弁理士】

【氏名又は名称】林 道広

(72)【発明者】

【氏名】笠原 英俊

(72)【発明者】

【氏名】荒谷 仁

(72)【発明者】

【氏名】河野 徹

【テーマコード（参考）】

3J040

【Ｆターム（参考）】

3J040AA01

3J040BA03

3J040EA18

3J040FA01

3J040FA05

3J040HA05

(57)【要約】

【課題】メタル体の圧縮状態を早期に解除できるメタルシール及びメタル体を簡便かつ短時間で圧縮状態に保持できるメタルシールの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の被取付部材１０に接触する第１接触部分３１を有する第１板部３と、第２の被取付部材１１に接触する第２接触部分４１を有し第１板部３に対向して配置される第２板部４と、第１板部３及び第２板部４の端部同士を接続する湾曲部５と、を備えたメタル体２を具備するメタルシール１であって、メタルシール１は、第１板部３と第２板部４との間に配置され、メタル体２の自然状態時の伸縮方向寸法Ｌ１よりも短い基材６と、基材６の両端部６１を第１板部３と第２板部４にそれぞれ接着する所定の温度で接着特性を失う接着材７とを具備している。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の被取付部材に接触する第１接触部分を有する第１板部と、第２の被取付部材に接触する第２接触部分を有し前記第１板部に対向して配置される第２板部と、前記第１板部及び前記第２板部の端部同士を接続する湾曲部と、を備えたメタル体を具備するメタルシールであって、
前記メタルシールは、前記第１板部と前記第２板部との間に配置され、前記メタル体の自然状態時の伸縮方向寸法よりも短い基材と、前記基材の両端部を前記第１板部と前記第２板部にそれぞれ接着する所定の温度で接着特性を失う接着材とを具備しているメタルシール。

【請求項2】

前記基材は、所定の温度で気化する部材により構成されている請求項１に記載のメタルシール。

【請求項3】

前記基材は、前記湾曲部とは反対側の端部に配置されている請求項１または２に記載のメタルシール。

【請求項4】

前記基材は、前記第１板部及び前記第２板部の長手方向に亘って幅が一定の帯状をなしている請求項１ないし３のいずれかに記載のメタルシール。

【請求項5】

前記基材には、前記メタル体側の空間と被密封流体側の空間とに連通する開口が設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のメタルシール。

【請求項6】

前記第１板部及び前記第２板部の内面には、前記第１及び第２接触部分に向けて凹む断面曲面形状の凹部が形成されており、前記基材の両端部は、各前記凹部に沿った曲面形状をなしている請求項１ないし５のいずれかに記載のメタルシール。

【請求項7】

湾曲部のそれぞれの端部に接続され対向する第１板部と第２板部との間に、自然状態の伸縮方向寸法よりも短い基材を配置し、メタル体を圧縮させた状態で該基材の両端部と前記第１板部及び前記第２板部とを所定の温度で接着特性を失う接着材を介在させて接着固定するメタルシールの製造方法。

【請求項8】

前記湾曲部を構成する谷折り部に前記基材を当て該基材の両端部と前記第１板部及び前記第２板部とを加圧した状態で前記接着固定した請求項７に記載のメタルシールの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、作動機器の密封に用いられるメタルシールおよびメタルシールの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

樹脂製やゴム製のＯリングが使用できない高温、極低温、高圧、高真空等の過酷な条件下で作動機器の連結部分を密封する際には、メタルシールが用いられている。このメタルシールは、連結部分を構成する２つの被取付部材間に挟み込まれることにより圧縮された状態で、これら被取付部材間をシールしている。

【0003】

例えば、特許文献１に示されるメタルシールは、ガスタービンに用いられており、第１の被取付部材に接触する接触部分を有する環状の第１板部と、第２の被取付部材に接触する接触部分を有する環状の第２板部と、第１板部と第２板部との外径端部同士を連結する蛇腹部と、を有するメタル体及び該メタル体を圧縮状態に保持する接着材を具備している。

【0004】

また、第１及び第２の被取付部材間にメタル体を取付ける前の状態では、メタル体の内側に充填された接着材により、該メタル体の伸縮方向の寸法が第１及び第２の被取付部材間の設計寸法よりも小さい圧縮状態で保持されてメタルシールが形成されており、メタル体が圧縮状態にあるメタルシールを第１及び第２の被取付部材間に配置するようになっている。メタル体は、自然状態時において伸縮方向の寸法が第１及び第２の被取付部材間の設計寸法よりも大きく設定されている。

【0005】

また、ガスタービン稼働時には、発生する熱により接着材の接着特性が失われることで、接着材によるメタル体の保持が解除され、メタル体は伸長し、第１板部及び第２板部が第１及び第２の被取付部材に押し付けられることで第１及び第２の被取付部材間を密封するようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】米国特許第６９３２３５３号明細書（第１頁、第５図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１のようなメタルシールにあっては、第１及び第２の被取付部材間にメタルシールを取付ける時には、メタルシールの伸縮方向の寸法が第１及び第２の被取付部材間の設計寸法よりも小さい圧縮状態となっているので、メタルシールからの弾性力を受けることなく、第１及び第２の被取付部材同士の接続作業を簡便にかつ確実に行うことができるようになっている。しかしながら、メタル体の内側に接着材を充填することにより圧縮状態が保持される構成であるため、接着材が多く必要となり、かつ熱が伝わりにくく、接着材によるメタル体の圧縮状態の保持が解除されるまでに時間がかかってしまう虞あるとともに、接着材の充填作業と、接着材の硬化作業に時間と手間がかかり、メタル体を圧縮状態で保持させる作業が煩雑であった。

【0008】

本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、メタル体の圧縮状態を早期に解除できるメタルシールを提供することを目的とするとともに、メタル体を簡便かつ短時間で圧縮状態に保持できるメタルシールの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

前記課題を解決するために、本発明のメタルシールは、
第１の被取付部材に接触する第１接触部分を有する第１板部と、第２の被取付部材に接触する第２接触部分を有し前記第１板部に対向して配置される第２板部と、前記第１板部及び前記第２板部の端部同士を接続する湾曲部と、を備えたメタル体を具備するメタルシールであって、
前記メタルシールは、前記第１板部と前記第２板部との間に配置され、前記メタル体の自然状態時の伸縮方向寸法よりも短い基材と、前記基材の両端部を前記第１板部と前記第２板部にそれぞれ接着する所定の温度で接着特性を失う接着材とを具備している。
これによれば、基材の両端部が接着材で第１板部と第２板部に接着されることでメタルシールはメタル体が圧縮された状態で保持されているため、使用する接着材を少なくすることができる。これにより、所定以上の温度により接着材の接着特性が短時間で失われ、メタル体の圧縮状態が短時間で解除されてメタル体が伸長し第１及び第２接触部が第１及び第２の被取付部材に圧接され、第１及び第２の被取付部材間を早期に密封できる。

【0010】

前記基材は、所定の温度で気化する部材により構成されていてもよい。
これによれば、基材が所定の温度で気化するため、第１及び第２の被取付部材を有する作動機器の使用時に基材が作動機器またはメタル体に悪影響を与えることを防止できる。

【0011】

前記基材は、前記湾曲部とは反対側の端部に配置されていてもよい。
これによれば、第１及び第２の被取付部材により密封される高温の被密封流体に基材及び接着材を近付けて配置できるので、接着材の接着特性を早く失わせることができる。

【0012】

前記基材は、前記第１板部及び前記第２板部の長手方向に亘って幅が一定の帯状をなしていてもよい。
これによれば、基材によりメタル体が第１板部及び第２板部の長手方向に亘って均等に圧縮した状態を保持できる。

【0013】

前記基材には、前記メタル体側の空間と被密封流体側の空間とに連通する開口が設けられていてもよい。
これによれば、第１及び第２の被取付部材により密封される高温の被密封流体をメタル体側の空間に導入させ、メタル体側の空間と被密封流体側の空間とから基材及び接着材に熱を与えることができるので、接着材の接着特性を早く失わせることができる。

【0014】

前記第１板部及び前記第２板部の内面には、前記第１及び第２接触部分に向けて凹む断面曲面形状の凹部が形成されており、前記基材の両端部は、各前記凹部に沿った曲面形状をなしていてもよい。
これによれば、基材の両端部と第１板部及び第２板部の各凹部との接着面積を広く確保できるとともに、第１板部及び第２板部の間から基材が外れにくい。

【0015】

前記課題を解決するために、本発明のメタルシールの製造方法は、
湾曲部のそれぞれの端部に接続され対向する第１板部と第２板部との間に、自然状態の伸縮方向寸法よりも短い基材を配置し、メタル体を圧縮させた状態で該基材の両端部と前記第１板部及び前記第２板部とを所定の温度で接着特性を失う接着材を介在させて接着固定する。
これによれば、基材の両端部が接着材で第１板部と第２板部に接着されることでメタル体を圧縮した状態で保持されているため、使用する接着材を少なくすることができ、メタル体を圧縮状態で保持する作業を簡便にかつ短時間で行うことができる。

【0016】

前記湾曲部を構成する谷折り部に前記基材を当て該基材の両端部と前記第１板部及び前記第２板部とを加圧した状態で前記接着固定してもよい。
これによれば、第１板部及び第２板部に対し基材を位置決めした状態で接着することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明に係る実施例１のメタルシールの一部を切断して示す斜視図である。

【図2】実施例１のメタル体が第１及び第２の被取付部材間に形成されるシール溝内に取付けられた状態を示す断面図である。

【図3】自然状態でのメタル体を示す断面図である。

【図4】メタルシールを示す断面図である。

【図5】（ａ）はシール溝内に配置されたメタルシールを示す断面図であり、（ｂ）は接着剤が気化した状態でのメタル体及び基材を示す断面図であり、（ｃ）は基材が気化した状態でのメタル体を示す断面図である。

【図6】本発明に係る実施例２のメタルシールの一部を切断して示す斜視図である。

【図7】本発明に係る実施例３のメタルシールの一部を切断して示す斜視図である。を示す図である。

【図8】本発明に係る実施例１〜３のメタルシールの変形例の一部を切断して示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

本発明に係るメタルシールを実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。

【実施例1】

【0019】

実施例１に係るメタルシールにつき、図１から図５を参照して説明する。以下、図２の紙面左右方向を軸方向、図２の紙面略中央を内径側、紙面上方及び紙面下方を外径側として紙面上下方向を径方向として説明する。

【0020】

本発明のメタルシール１は、図１に示されるように、メタル体２と基材６と接着材７とによって構成されており、メタル体２は、高温、極低温、高圧、高真空等の条件下で使用されるものである。例えば、図２に示されるように、容器、機械、機器等の連結部分を構成する第１の被取付部材である第１ハウジング１０と、第２の被取付部材である第２ハウジング１１間に形成される環状のシール溝１２内に配置され、第１及び第２ハウジング１０，１１それぞれの径壁部１０ａ，１１ａにより挟み込まれることにより軸方向に圧縮された状態で、これら第１及び第２ハウジング１０，１１間をシールするものである。尚、メタル体２よりも内径側の空間Ｓ１が被密封流体で満たされており、メタル体２よりも外径側の空間Ｓ２は大気であるものとする。

【0021】

また、図３を参照して、メタル体２は、略０．３ｍｍの板厚を有するインコネルの板材をプレス加工することで断面視略Ｍ字状の環状に形成されており、第１板部３と、第１板部３に対向して配置される第２板部４と、第１板部３及び第２板部４に連続する湾曲部５とを備えている。

【0022】

尚、板厚の好ましい範囲は０．１５ｍｍから０．７ｍｍであり、使用環境に応じて板厚は適宜変更されてもよい。さらに尚、メタル体２を形成する板材として、ハステロイＸ、ヘインズアロイ２５、チタン合金等を用いてもよく、インコネルに限定されるものではない。

【0023】

第１板部３は、断面視内径側端部から軸方向左側に向かって湾曲するように突出する凸部３０と、凸部３０の断面視外径側端部に連続して外径側かつ軸方向右側に向かって直線状に延設された直線部とから構成されており、断面視外径側端部は、湾曲部５の軸方向左側の端部と連続している。

【0024】

また、第１板部３の凸部３０の外面を径壁部１０ａ（図１参照）に接触する第１接触部分３１として説明する。

【0025】

また、第１板部３の凸部３０の内面には、第１接触部分３１に向けて凹む断面曲面形状の凹部３２が形成されている。

【0026】

第２板部４は、第１板部３と断面視線対称であるのでその説明を省略する。

【0027】

湾曲部５は、第１板部３の断面視外径側端部と連続して外径側に向かって半円弧状に突出する山折り部５１と、第２板部４の断面視外径側端部と連続して外径側に向かって半円弧状に突出し、山折り部５１に対向して配置される山折り部５２と、内径側に向かって突出する涙形状に形成され、山折り部５１及び山折り部５２のそれぞれの軸方向中央側端部に連続する谷折り部５３とを備えている。

【0028】

谷折り部５３は、山折り部５１の断面視内径側端部と連続して内径側かつ軸方向左側に向かって直線状に延設された第１延設部と、第１壁部の下端部に連続して内径側に向かって四分の三円弧状に突出している湾曲凸状部５３ａと、内径側凸状部の軸方向右側の端部と連続して外径側かつ軸方向右側に向かって直線状に延設され、山折り部５２の断面視内径側端部と連続する第２延設部と有している。

【0029】

また、メタル体２は、自然状態では第１接触部分３１と第２接触部分４１との間の軸方向の寸法がＬ１となっており、シール溝１２の軸方向の寸法である設計寸法Ｗ１（図５（ａ）参照）よりも大きく形成されている。

【0030】

また、メタル体２は、第１板部３、第２板部４に対して互いの近接方向である軸方向中央側に向かって外力が加えられることにより、湾曲部５の山折り部５１，５２それぞれの頂点を基点に弾性変形し、第１板部３、第２板部４それぞれが湾曲部５に向かって近接された圧縮状態（図４参照）となる。

【0031】

このとき、自然状態で互いに接触状態であった山折り部５１及び山折り部５２は離間する。尚、メタル体２は、自然状態で山折り部５１及び山折り部５２同士が僅かに離間している形態であってもよい。

【0032】

また、メタル体２は、当該外力を小さくすることにより、自然状態に向かって軸方向に伸長するようになっている。すなわち、本実施例のメタル体２の伸縮方向は軸方向のことである。

【0033】

尚、本実施例における圧縮状態とは、自然状態に対して第１板部３、第２板部４同士が近接している状態のことである。

【0034】

また、メタル体２は、自然状態（図３参照）及び圧縮状態（図４参照）において、谷折り部５３の湾曲凸状部５３ａの内径側端面が凹部３２よりも外径側に位置している。

【0035】

図１を参照して、基材６は、アクリル樹脂で軸方向視半円弧状かつ軸方向の寸法が略同一の帯状に形成された硬質の板材であり、その融点は略１６０度、その沸点は略２００度である。

【0036】

尚、基材６は、所定の温度、すなわち作動機器の使用時における高温の被密封流体により気化する素材であれば、アクリル樹脂に限らず、ＡＢＳ樹脂、ポリアミド等を用いてもよく、使用環境に応じて、適宜変更してもよい。

【0037】

また、基材は、軸方向視半円弧状に形成された２つの基材を対向配置することで環状をなす構成に限らず、１つの基材で環状をなしていてもよく、３つ以上の基材で環状をなしていてもよい。

【0038】

図４を参照して、基材６の軸方向それぞれの端部６１は、第１板部３の凹部３２または第２板部４の凹部４２に沿う曲面形状に形成されている。

【0039】

接着材７は、エチレン酢酸ビニルを主成分としたものであり、その融点は略１１０度、その沸点は略１８０度である。尚、接着材７は、説明の都合上、各図において誇張して図示されている。

【0040】

尚、接着材７は、所定の温度、すなわち作動機器の使用時における高温の被密封流体により気化する素材であれば、エチレン酢酸ビニルを主成分としたものに限らず、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリアミド等を主成分としたもの用いてもよく、使用環境に応じて、適宜変更してもよい。

【0041】

次に、メタルシール１の製造方法について、図３，４を参照して説明する。

【0042】

まず、基材６の各端部６１それぞれに液状の接着材７を塗布する。

【0043】

次いで、図４を参照して、基材６の外径側端面を破線で示す自然状態のメタル体２の湾曲凸状部５３ａの内径側端面に当接させるとともに基材６をメタル体２の軸方向に略平行に配置する。これにより、メタル体２に対する基材６の径方向における位置決めを行うことができる。

【0044】

その後、基材６の一端を凹部３２に入れ、第１板部３、第２板部４に対して互いが近接する方向に外力を加え所定時間保持する。このとき、メタル体２は図４の実線で示すように軸方向の寸法が寸法Ｌ２に圧縮され、第１板部３の凹部３２と第２板部４の凹部４２とはそれぞれ基材６の端部６１に加圧された状態となっている。

【0045】

このようにして、接着材７が硬化することで、メタル体２に基材６が接着材７により接着固定された軸方向の寸法Ｌ２のメタルシール１を製造することができる。

【0046】

これによれば、基材６の両端部６１が接着材７で第１板部３と第２板部４に接着されることでメタル体２を圧縮した状態で保持されているため、使用する接着材７を少なくすることができ、メタル体２を圧縮状態で保持する作業を簡便にかつ短時間で行うことができる。

【0047】

また、基材６は、軸方向の寸法が略同一の帯状に形成されているため、基材６によりメタル体２が第１板部３及び第２板部４の長手方向に亘って均等に圧縮した状態を保持できる。

【0048】

また、基材６の両端部６１は、第１板部３の凹部３２または第２板部４の凹部４２に沿う曲面形状に形成されているため、基材６の両端部６１と第１板部３の凹部３２及び第２板部４の凹部４２との接着面積を広く確保できるとともに、第１板部３及び第２板部４の間から基材６が外れにくい。

【0049】

また、基材６の端部６１は、第１板部３の凹部３２または第２板部４の凹部４２に沿う曲面形状に形成されているため、第１板部３の凹部３２と第２板部４の凹部４２とをそれぞれ基材６の端部６１に圧着させるにあたって、各端部６１が第１板部３の凹部３２または第２板部４の凹部４２に案内されることにより、メタル体２の山折り部５１，５２それぞれに対する平行度合いを高めることができる。

【0050】

また、メタルシール１を基材６に接着固定するにあたって、基材６に対して軸方向に押し付け加圧状態で接着させることができるため、メタルシール１を基材６に強固に接着固定することができる。

【0051】

また、基材６は硬質であるため、基材６の両端部６１を接着材７で第１板部３と第２板部４に接着させる際、基材６の反力を受けて接着作業を行うことができ、接着作業がしやすい。

【0052】

次に、メタルシール１の装着方法及び動作態様について、図５を参照して説明する。尚、メタルシール１を装着する前の第１ハウジング１０及び第２ハウジング１１は、それぞれ連結される前の状態であり、互いに独立している。

【0053】

図５（ａ）を参照して、まず第１ハウジング１０の径壁部１０ａと径壁部１０ａに略直交する周壁部から構成される環状の窪部にメタルシール１を収納し、第１ハウジング１０に対して第２ハウジング１１をボルトで固定する。第１ハウジング１０の径壁部１０ａ、周壁部、第２ハウジング１１の径壁部１１ａから主に構成される設計寸法Ｗ１のシール溝１２が形成されている。

【0054】

次に、作動機器の運転が開始され、被密封流体の温度が接着材７の融点である１１０度を超え始めると、接着材７が融解し始める。接着材７の接着力にメタル体２の復元力が勝ると、基材６の両端部６１は、第１板部３の凹部３２及び第２板部４の凹部４２から離れ、メタル体２は軸方向に伸長し、図５（ｂ）に示される状態となる。その後、被密封流体が１８０度以上に昇温することで、接着材７は気化する。

【0055】

上述したように、自然状態のメタル体２の軸方向の寸法Ｌ１は、シール溝１２の設計寸法Ｗ１よりも大きいことから、メタル体２が軸方向に伸長することで、メタル体２の第１板部３の第１接触部分３１が第１ハウジング１０の径壁部１０ａに圧接し、メタル体２の第２板部４の第２接触部分４１が第２ハウジング１１の径壁部１１ａに圧接する。これにより、メタル体２により第１ハウジング１０及び第２ハウジング１１の間が密封された状態となる。

【0056】

その後、被密封流体の温度が基材６の融点である１６０度を超え始めると、基材６が融解し始めて、図５（ｃ）に示されるように、メタル体２の内側から離脱する。その後、被密封流体が２００度以上に昇温することで、基材６は気化する。

【0057】

以上説明したように、メタルシール１は、基材６の両端部６１が接着材７で第１板部３と第２板部４に接着されることでメタル体２が圧縮された状態で保持されているため、使用する接着材７を少なくすることができ、被密封流体の温度が１１０度以上となることで、接着材７の量が少ないことから接着材７の接着特性が短時間で失われ、メタル体２の圧縮状態が短時間で解除されてメタル体２が軸方向に伸長し、メタル体２の第１板部３の第１接触部分３１が第１ハウジング１０の径壁部１０ａに圧接され、メタル体２の第２板部４の第２接触部分４１が第２ハウジング１１の径壁部１１ａに圧接されて、第１ハウジング１０及び第２ハウジング１１間を早期に密封できる。

【0058】

また、基材６が２００度以上の温度で気化するため、第１ハウジング１０及び第２ハウジング１１を有する作動機器の使用時に基材６が作動機器またはメタル体２に悪影響を与えることを防止できる。

【0059】

また、基材６が湾曲部５よりも内径側に配置されているため、第１ハウジング１０及び第２ハウジング１１により密封される高温の被密封流体に基材６及び接着材７を近付けて配置できるので、接着材７の接着特性を早く失わせることができる。

【実施例2】

【0060】

次に、実施例２に係るメタルシール１０１につき、図６を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。

【0061】

図６に示されるように、基材１０６には、厚み方向に貫通する矩形状の開口６０が、基材１０６の長手方向において所定間隔置きに形成されている。

【0062】

これにより、第１ハウジング１０及び第２ハウジング１１を有する作動機器の使用時に、第１ハウジング１０及び第２ハウジング１１により密封される高温の被密封流体をメタル体２側の空間Ｓ３（図２，５参照）に導入させ、メタル体２側の空間Ｓ３と被密封流体側の空間Ｓ１とから基材１０６及び接着材７に熱を与えることができるので、接着材７の接着特性を早く失わせることができる。

【0063】

加えて、開口６０が基材１０６の長手方向において所定間隔置きに形成されていることから、基材１０６の体積を小さくすることができるため、基材１０６を短時間で溶解及び気化させることができる。

【0064】

また、基材１０６の体積が小さいことから、第１ハウジング１０及び第２ハウジング１１を有する作動機器の使用時に基材６が作動機器またはメタル体２に悪影響を与えることをより好適に防止できる。

【0065】

尚、開口６０は、矩形でなく例えば円形であってもよい。また、開口６０は、貫通孔でなく例えば切欠き形状であってもよい。

【実施例3】

【0066】

次に、実施例３に係るメタルシール２０１につき、図７を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。

【0067】

図７に示されるように、メタルシール２０１は、棒状直線状に形成されたメタル体２０２と、略直線状の板状に形成された基材２０６と、接着材７から棒状に構成されている。

【0068】

以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。

【0069】

例えば、前記各実施例では、メタル体は、断面視略Ｍ字状に形成されている構成として説明したが、これに限らず、断面視略Ｃ字状に形成されていてもよく、断面視略Ｗ字状に形成されていてもよく、その形状は適宜変更されてもよい。

【0070】

また、基材は帯状に形成されていると説明したが、これに限らず、図８の変形例のメタルシール３０１に示されるように、複数の基材例えば複数の片状の基材３０６が周方向に間隔を開けてメタル体２に配置されていてもよい。

【0071】

また、メタル体は、断面視第１板部３及び第２板部４が屈曲形状であるものを例に説明したが、これに限らず、弧状や直線状に形成されていてもよい。

【0072】

また、メタル体は、凸部３０，４０が第１ハウジング１０の径壁部１０ａまたは径壁部１１ａに向かって半円弧状に突出している構成として説明したが、これに限らず、Ｗ状であってもよく、クランク状であってもよく、その形状が限定されるものではない。

【0073】

また、メタル体は、プレス加工により形成され、その凸部３０，４０の内面が、断面曲面形状の凹部３２，４２である構成として説明したが、これに限らず、メタル体の内側を断面曲面形状に削ることで各凹部を構成してもよく、メタル体の内側に断面曲面形状のリブを形成することで凹部を構成してもよく、その形成方法は適宜変更されてもよい。

【0074】

また、基材は、硬質の板状である構成として説明したが、これに限らず、メタル体の軸方向への伸長を規制できる構成であればよく、例えばシート等であってもよい。

【符号の説明】

【0075】

１，１０１，２０１，３０１ メタルシール
２，２０２ メタル体
３ 第１板部
４ 第２板部
５ 湾曲部
６，１０６，２０６，３０６ 基材
７ 接着材
１０ 第１ハウジング（第１の被取付部材）
１１ 第２ハウジング（第２の被取付部材）
３１ 第１接触部分
３２ 凹部
４１ 第２接触部分
４２ 凹部
５３ 谷折り部
６０ 開口
６１ 端部
Ｌ１ 軸方向の寸法（伸縮方向の寸法）
Ｌ２ 軸方向の寸法（伸縮方向の寸法）
Ｓ１ 空間（被密封流体側の空間）
Ｓ２ 空間
Ｓ３ 空間（メタル体側の空間）
Ｗ１ 設計寸法

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】