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特開2021-188987成膜装置一体型顕微鏡
発明の名称 成膜装置一体型顕微鏡
出願人 国立大学法人金沢大学 （識別番号 504160781）
特許公開件数ランキング 575 位（22件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 758 位（16件）（共同出願を含む）
出願人 鯉沼 秀臣 （識別番号 166960）
特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 バキュームプロダクツ株式会社 （識別番号 390038896）
特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 学校法人神奈川大学 （識別番号 592218300）
特許公開件数ランキング 1178 位（7件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1206 位（6件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2021-188987
公報発行日 2021年12月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-188987
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