特開 2021-189147 励起光照射装置および励起光照射方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-189147(P2021-189147A)

(43)【公開日】2021年12月13日

(54)【発明の名称】励起光照射装置および励起光照射方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 24/00 20060101AFI20211115BHJP

   G01N 21/64 20060101ALI20211115BHJP

   G01R 33/26 20060101ALI20211115BHJP

【ＦＩ】

   G01N24/00 P

   G01N21/64 Z

   G01R33/26

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2020-98052(P2020-98052)

(22)【出願日】2020年6月4日

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）平成３０年度、国立研究開発法人科学技術振興機構、産学共創プラットフォーム共同研究推進プログラム委託事業、「超スマート社会実現のカギを握る革新的半導体技術を基盤としたエネルギーイノベーションの創出に関する国立大学法人京都大学による研究開発」、産業技術力強化法第１７条の適用を受ける特許出願

(71)【出願人】

【識別番号】000107804

【氏名又は名称】スミダコーポレーション株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】504132272

【氏名又は名称】国立大学法人京都大学

(74)【代理人】

【識別番号】100114971

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 修

(72)【発明者】

【氏名】橋本 将輝

(72)【発明者】

【氏名】芳井 義治

(72)【発明者】

【氏名】竹村 祐輝

(72)【発明者】

【氏名】水落 憲和

【テーマコード（参考）】

2G043

【Ｆターム（参考）】

2G043AA06

2G043EA01

2G043EA10

2G043EA17

2G043HA02

(57)【要約】

【課題】 安定的に、基材内のカラーセンタの発する光に基づく測定を正確に行えるようにする。
【解決手段】 基材１は、励起光で励起されるカラーセンタを含み、少なくとも１対の反射部材２１ａ，２１ｂは、基材１に対して離間して配置されている。そして、基材１は、当該基材１の面１ｃ，１ｄにおいて、当該基材１内に入射した励起光を反射させずに出射させ、反射部材２１ａ，２１ｂは、基材１から出射した励起光を反射面２１−１，２１−２で反射して基材１に入射させ、励起光の、基材１への入射および基材１からの出射を繰り返させて、所定回数だけ励起光を基材１に通過させる。その際、照射装置４は、励起光が反射面２１−１，２１−２の２軸のうちの一方の軸に対しては垂直に、かつ反射面の２軸のうちの他方の軸に対しては所定傾斜角で反射面に入射するように、励起光を出射する。
【選択図】 図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

励起光で励起されるカラーセンタを含む基材と、
前記基材に対して離間して配置されそれぞれ反射面を有する少なくとも１対の反射部材と、
前記励起光を出射する照射装置とを備え、
前記基材は、当該基材の互いに対向する２つの面においてそれぞれ、当該基材内に入射した前記励起光を反射させずに出射させ、
前記少なくとも１対の反射部材は、前記基材から出射した前記励起光を前記反射面で反射して前記基材に入射させ、前記励起光の、前記基材への入射および前記基材からの出射を繰り返させて、所定回数だけ前記励起光を前記基材に通過させ、
前記照射装置は、前記励起光が前記反射面の２軸のうちの一方の軸に対しては垂直に、かつ前記反射面の２軸のうちの他方の軸に対しては所定傾斜角で前記反射面に入射するように、前記励起光を出射すること、
を特徴とする励起光照射装置。

【請求項2】

前記カラーセンタの電子スピン量子操作を行うためのマイクロ波を前記カラーセンタに印加するコイルと、
前記マイクロ波の電流を前記コイルに導通させる高周波電源と、
前記高周波電源および前記照射装置を制御して、前記カラーセンタでの物理的事象を検出し前記物理的事象の検出値を導出する測定制御部と、
前記物理的事象の検出値に基づいて前記被測定場の測定値を演算する演算部とをさらに備え、
前記基材は、前記コイルの内側に配置され、
前記コイルは、入射側貫通孔を備え、
前記入射側貫通孔は、前記励起光が前記入射側貫通孔を介して前記基材に入射するように配置されていること、
を特徴とする請求項１記載の励起光照射装置。

【請求項3】

前記コイルは、出射側貫通孔をさらに備え、
前記出射側貫通孔は、前記励起光が前記所定回数だけ前記基材に通過した後に前記出射側貫通孔を介して進行するように配置されていること、
を特徴とする請求項２記載の励起光照射装置。

【請求項4】

前記少なくとも１対の反射部材のうちの第１対の反射部材は、前記基材において対向する第１面および第２面のいずれかから出射した前記励起光を前記反射面で反射して、前記第１面および第２面のうち、前記励起光が出射した面に入射させ、前記励起光の、前記基材への入射および前記基材からの出射を繰り返させて、所定第１回数だけ前記励起光を前記基材に通過させ、
前記少なくとも１対の反射部材のうちの前記第１対とは異なる第２対の反射部材は、前記所定第１回数だけ前記励起光が前記基材を通過した後に、前記基材において前記第１面および前記第２面とは異なる第３面および第４面のいずれかから出射した前記励起光を前記反射面で反射して、前記第３面および第４面のうち、前記励起光が出射した面に入射させ、前記励起光の、前記基材への入射および前記基材からの出射を繰り返させて、所定第２回数だけ前記励起光を前記基材に通過させること、
を特徴とする請求項１記載の励起光照射装置。

【請求項5】

前記第１対の反射部材は、前記所定第１回数だけ前記励起光を前記基材に通過させた後、前記励起光を前記第２対の反射部材に入射させることを特徴とする請求項４記載の励起光照射装置。

【請求項6】

基材に含まれるカラーセンタに励起光を照射する励起光照射方法において、
前記基材のいずれかの面において、当該基材内に入射した前記励起光を反射させずに出射させ、
前記基材に対して離間して配置されそれぞれ反射面を有する少なくとも１対の反射部材で、前記基材から出射した前記励起光を前記反射面で反射して前記基材に入射させることで、前記励起光の、前記基材への入射および前記基材からの出射を繰り返させて、所定回数だけ前記励起光を前記基材に通過させ、
前記励起光を、前記反射面の２軸のうちの一方の軸に対しては垂直に、かつ前記反射面の２軸のうちの他方の軸に対しては所定傾斜角で、前記反射面に入射させること、
を特徴とする励起光照射方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、励起光照射装置および励起光照射方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

近年、カラーセンタを利用した光検出磁気共鳴（ＯＤＭＲ：Optically Detected Magnetic Resonance）に基づく磁場計測方法が開発されている。

【0003】

ＯＤＭＲでは、サブレベルの準位と光学遷移準位とをもつ媒質に高周波磁場（マイクロ波）と光をそれぞれサブレベル間の励起と光遷移間の励起のために照射することで、サブレベル間の磁気共鳴による占有数の変化などが光信号により高感度で検出される。通常、基底状態の電子が緑光で励起された後、基底状態に戻る際に赤光を発する。一方、例えば、ダイヤモンド構造中の窒素と格子欠陥（ＮＶＣ：Nitrogen Vacancy Center）中の電子は、２．８７ＧＨｚ程度の高周波磁場の照射により、光励起により初期化された後では、基底状態中の３つのサブレベルの中で一番低いレベル（スピン磁気量子数ｍｓ＝０）から、基底状態中のそれより高いエネルギー軌道のレベル（ｍｓ＝±１）に遷移する。その状態の電子が緑光で励起されると、無輻射で基底状態中の３つのサブレベルの中で一番低いレベル（ｍｓ＝０）に戻るため発光量が減少し、この光検出より、高周波磁場により磁気共鳴が起こったかどうかを知ることができる。ＯＤＭＲでは、このような、ＮＶＣを含むダイヤモンドといった光検出磁気共鳴部材が使用される。

【0004】

ＮＶＣを利用したある磁場計測方法は、ＮＶＣを有するダイヤモンド基板に、レーザ光を入射させ、レーザ光が照射されたＮＶＣの発する蛍光をダイヤモンド基板から出射させ、ダイヤモンド基板から出射してきた蛍光をＣＣＤ（Charge Coupled Device）で検出している（例えば非特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【非特許文献1】「High sensitivity magnetic imaging using an array of spins in diamond」，S. Steinert, F. Dolde, P. Neumann, A. Aird, B. Naydenov, G. Balasubramanian, F. Jelezko, and J. Wrachtrup著，Review of Scientific Instrument 81, 043705，２０１０年

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述のような磁場計測方法の場合、ＮＶＣなどのカラーセンタからの蛍光の光量を増やすためには、ダイヤモンド基板の基材内でのレーザ光の光路が長いほうが好ましいため、基材内部を進行するレーザ光を基材表面にて繰り返し全反射させることが考えられる。

【0007】

しかしながら、上述の磁場計測方法のように、基材内部を進行するレーザ光を基材表面にて多数回全反射させて、長い光路長を確保する場合、基材外部から内部へのレーザ光の入射角や入射位置の誤差に起因して、基材内を進行するレーザ光の反射回数（ひいては光路長）が不規則になりやすい。

【0008】

基材内を進行するレーザ光の光路（光路長）が不規則である場合、上述の入射角や入射位置の誤差に起因する上述の蛍光の強度変動が、磁場計測などの測定結果に影響を与えるため、磁場計測などの測定精度（測定誤差）が均一にならず、正確な測定が困難になる。

【0009】

本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、安定的に、基材内のカラーセンタの発する光に基づく測定を正確に行えるようにする励起光照射装置および励起光照射方法を得ることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明に係る励起光照射装置は、励起光で励起されるカラーセンタを含む基材と、基材に対して離間して配置されそれぞれ反射面を有する少なくとも１対の反射部材と、励起光を出射する照射装置とを備える。基材は、当該基材の互いに対向する２つの面においてそれぞれ、当該基材内に入射した励起光を反射させずに出射させる。上述の少なくとも１対の反射部材は、基材から出射した励起光を反射面で反射して基材に入射させ、励起光の、基材への入射および基材からの出射を繰り返させて、所定回数だけ励起光を基材に通過させる。そして、照射装置は、励起光が反射面の２軸のうちの一方の軸に対しては垂直に、かつ反射面の２軸のうちの他方の軸に対しては所定傾斜角で反射面に入射するように、励起光を出射する。

【0011】

本発明に係る励起光照射方法は、（ａ）基材のいずれかの面において、当該基材内に入射した励起光を反射させずに出射させ、（ｂ）基材に対して離間して配置されそれぞれ反射面を有する少なくとも１対の反射部材で、基材から出射した励起光を反射面で反射して基材に入射させることで、励起光の、基材への入射および基材からの出射を繰り返させて、所定回数だけ励起光を基材に通過させ、（ｃ）励起光を、反射面の２軸のうちの一方の軸に対しては垂直に、かつ反射面の２軸のうちの他方の軸に対しては所定傾斜角で、反射面に入射させる。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、安定的に、基材内のカラーセンタの発する光に基づく測定を正確に行えるようにする励起光照射装置および励起光照射法が得られる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、本発明の実施の形態１に係る励起光照射装置を備える測定装置の構成例を示す図である。

【図2】図２は、図１に示す測定装置の光学系の一例を示す図である。

【図3】図３は、実施の形態１に係る励起光照射装置の構成を示す断面図である。

【図4】図４は、実施の形態１における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【図5】図５は、実施の形態２における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【図6】図６は、実施の形態３における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【図7】図７は、実施の形態４における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【図8】図８は、実施の形態５に係る励起光照射装置の構成例を示す斜視図である。

【図9】図９は、実施の形態６における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【図10】図１０は、実施の形態７における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図に基づいて本発明の実施の形態を説明する。

【0015】

実施の形態１．

【0016】

図１は、本発明の実施の形態１に係る励起光照射装置を備える測定装置の構成例を示す図である。一例として、図１に示す測定装置は、光検出磁気共鳴（ＯＤＭＲ）方式で磁場や電場などといった被測定場の強度を測定する。図１に示す測定装置は、励起光で励起されるカラーセンタを含む基材１を備える。基材１には、１または複数のカラーセンタが含まれる。実施の形態１では、基材１は、略直方体形状を有し、長手方向において、互いに略平行な４つの面（平面）を有する。

【0017】

この実施の形態では、基材１は、電子スピン共鳴部材であり、この電子スピン共鳴部材は、被測定場（被測定磁場や被測定電場）内に配置される。この電子スピン共鳴部材は、後述の所定の測定シーケンスにおいて、ラビ振動に基づく電子スピン量子操作を施される。

【0018】

なお、被測定場の測定方式は、光検出磁気共鳴方式に限定されず、ラビ振動に基づく電子スピン量子操作を利用するものであれば、他の方式でもよい。また、この実施の形態では、基材１は、光検出磁気共鳴方式用の、ＮＶＣを有するダイヤモンドなどの部材であって、支持部材１Ｓに固定されている。なお、光検出磁気共鳴方式用の電子スピン共鳴部材としての基材１は、ＮＶＣを有するダイヤモンドに限定されず、他のカラーセンタ（例えば、ＧｅＶセンタなど）を有するものでもよい。

【0019】

図１に示す測定装置は、マイクロ波生成用のコイル２および高周波電源３を備える。

【0020】

コイル２は、電子スピン共鳴部材としての基材１内の１または複数のカラーセンタに対してラビ振動に基づく電子スピン量子操作を行うためのマイクロ波（磁場）を生成し基材１（カラーセンタ）に印加する。この実施の形態では、コイル２は、例えば、板状の導体を円形に成形したものであり、基材１は、コイル２の円形部分によりその内側に形成される中空部内に配置されている。上述のカラーセンタは、このマイクロ波を照射され、測定対象の発生する被測定場の強度などを特定するために使用される。

【0021】

実施の形態１では、コイル２は、上述のカラーセンタにおけるラビ振動に基づく電子スピン量子操作を行うためのマイクロ波（の磁場）を基材１に印加する。そのマイクロ波の周波数は、基材１（電子スピン共鳴部材）の種類に応じて設定される。例えば、基材１が、ＮＶＣを有するダイヤモンドである場合、コイル２は、２．８７ＧＨｚ程度のマイクロ波磁場を印加する。高周波電源３は、コイル２にマイクロ波の電流（つまり、上述のマイクロ波の磁場を生成するための電流）を導通させる。

【0022】

さらに、図１に示す測定装置は、照射装置４、受光装置５、演算処理装置６などを観測系１１として備える。観測系１１は、上述のマイクロ波が照射された電子スピン共鳴部材としての基材１を使用して被測定場の強度を特定する。

【0023】

照射装置４は、所定波長の励起光および所定波長の測定光を出射する装置であり、基材１にその励起光および測定光を照射する（入射させる）。受光装置５は、測定光の照射時において基材１から発せられる蛍光を検出する。

【0024】

演算処理装置６は、例えばコンピュータを備え、プログラムをコンピュータで実行して、各種処理部として動作する。この実施の形態では、演算処理装置６は、測定制御部６ａおよび演算部６ｂとして動作する。

【0025】

測定制御部６ａは、高周波電源３および照射装置４を制御して、上述のカラーセンタでの物理的事象を検出しその物理的事象の検出値を導出する。物理的事象は、被測定場に対応する所定の測定シーケンスを実行することで発生する。ここでは、測定制御部６ａは、所定の測定シーケンスにおいて、高周波電源３および照射装置４を制御し、受光装置５により検出された蛍光（物理的事象）の検出光量を検出値として特定する。

【0026】

例えば、照射装置４は、レーザーダイオードなどを光源として備えるとともに、その光源の発する光（励起光）を導光し所定入射角および所定入射位置で基材１に入射させる光学系を備える。また、例えば、受光装置５は、フォトダイオードなどを受光素子として備える。また、例えば、測定制御部６ａは、受光素子の出力信号に対して増幅などを行って得られる受光装置５の出力信号に基づいて、上述の検出光量を特定する。この実施の形態では、上述の所定の測定シーケンスとして、ラムゼイパルスシーケンス、スピンエコーパルスシーケンスなどが被測定場に応じて選択され適用される。なお、測定シーケンスはラムゼイパルスシーケンスおよびスピンエコーパルスシーケンスに限定されるものではない。

【0027】

演算部６ｂは、所定の演算式などに従って、上述の物理的事象の検出値（上述の検出光量）に基づいて被測定場の測定値（例えば、磁束密度の振幅、向きなど）を演算する。

【0028】

図２は、図１に示す測定装置の光学系の一例を示す図である。この測定装置の光学系は、支持部材１Ｓとしての１対の複合放物面型集光器（ＣＰＣ）を備える。この１対のＣＰＣにおいて、２つのＣＰＣの大口径端面が互いに接合しており、一方のＣＰＣの小口径端面から入射する光（つまり、カラーセンタの発する蛍光）が、他方のＣＰＣの小口径端面から出射する。基材１のカラーセンタで発生する蛍光は、このように支持部材１Ｓを通過して受光装置５に入射する。なお、照射装置４からの励起光および測定光は、支持部材１Ｓを通過せずに、基材１に照射される。

【0029】

上述の測定装置は、基材１周辺の光学系を含む励起光照射装置を備える。図３は、実施の形態１に係る励起光照射装置の構成を示す断面図である。

【0030】

この励起光照射装置は、上述の基材１と、基材１に対して離間して配置された少なくとも１対の（少なくとも２つの）反射部材２１ａ，２１ｂと、反射部材２１ｃとを備える。

【0031】

基材１は、例えば図３に示すように、上面１ａ、底面１ｂ、および側面１ｃ，１ｄを有し、当該基材１の側面１ｃ，１ｄにおいて、当該基材１内に入射した励起光を反射させずに出射させる。つまり、励起光は、基材１内部で一度も反射せずに、基材１を複数回通過する。

【0032】

反射部材２１ａ，２１ｂは、例えば平板形状を有し、反射面２１−１，２１−２をそれぞれ有する。それらの反射部材２１ａ，２１ｂは、基材１から出射した励起光を反射面２１−１，２１−２で反射して基材１に入射させて、励起光の、基材１への入射および基材１からの出射を繰り返させて、所定回数だけ励起光を基材１に通過させる。

【0033】

この実施の形態では、反射面２１−１，２１−２は互いに略平行であり、側面１ｃ，１ｄは互いに略平行であり、反射面２１−１，２１−２と側面１ｃ，１ｄとは互いに略平行である。

【0034】

なお、反射部材２１ｃは、基材１に面する反射面２１−３を有する。この反射面２１−３は、基材１（カラーセンタ）の発する蛍光を反射するためのものであって、上述の励起光は、反射部材２１ｃや支持部材１Ｓには入射しない。

【0035】

この実施の形態では、反射部材２１ａ，２１ｂが、略直方体形状の反射部材２１ｃの両側にそれぞれ接続されており、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃの形状は、半筒状となり、その半筒状の内部空間に、基材１が配置されている。実施の形態１では、反射部材２１ｃは、励起光を反射しないが、上述の蛍光を反射部材２１ａ，２１ｂとともに支持部材１ＳとしてのＣＰＣに向けて反射する。実施の形態１では、反射部材２１ｃは、励起光を反射しないため、反射部材２１ｃを省略したり、反射部材２１ｃの代わりに同様の形状の非反射部材を使用してもよい。

【0036】

図４は、実施の形態１における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ並びに励起光の光路を説明する正面図である。図４における反射部材２１ａ，２１ｂは、反射面２１−１，２１−２を有する平板状の部材である。例えば、各反射部材２１ａ，２１ｂは、ガラスや透明樹脂などの光透過性部材と、光透過性部材の１面上で反射面２１−ｉ（ｉ＝１，２）を形成する膜とを備える。例えば、反射面２１−１，２１−２は、誘電体多層膜で形成される。なお、この実施の形態では、各反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃは、１つの部材であるが、その代わりに、複数部材の集合体であってもよい。

【0037】

ここで、照射装置４は、例えば図３および図４に示すように、励起光が反射面２１−１，２１−２の２軸Ｙ，Ｚ（つまり、反射面２１−１，２１−２の平面を張る２軸）のうちの一方の軸Ｚに対しては垂直に、かつ反射面２１−１，２１−２の２軸Ｙ，Ｚのうちの他方の軸Ｙに対しては（９０度未満の）所定傾斜角θで反射面２１−１，２１−２に入射するように、励起光を出射する。

【0038】

さらに、この実施の形態では、コイル２は、例えば図３に示すように、入射側貫通孔２ａを備え、入射側貫通孔２ａは、励起光が入射側貫通孔２ａを介して基材１に入射するように配置されている。なお、入射側貫通孔２ａを設けずに、励起光の光路にコイル２が干渉しないように、ミラーなどで励起光の光路を設定するようにしてもよい。

【0039】

また、この実施の形態では、コイル２は、例えば図３に示すように、出射側貫通孔２ｂをさらに備える。出射側貫通孔２ｂは、励起光が上述の所定回数だけ基材１に通過した後に出射側貫通孔２ｂを介して進行するように配置されている。なお、出射側貫通孔２ｂを設けずに、励起光の光路にコイル２が干渉しないように、ミラーなどで励起光の光路を設定するようにしてもよい。また、このように、基材１通過後の励起光をコイル２に照射しないようにすることで、コイル２への励起光の照射に起因する発熱および装置の温度上昇を抑制することができる。

【0040】

なお、上述の所定回数だけ基材１に通過した後、励起光は、基材１に再入射しないように（ここでは、出射側貫通孔２ｂを進行した後に）ビームダンパなどで終端される。

【0041】

次に、実施の形態１に係る励起光照射装置の動作について説明する。

【0042】

この励起光照射装置は、測定対象の近傍で被測定場内に配置される。そして、測定制御部６ａは、演算部６ｂとともに、上述の測定シーケンスを実行して、被測定場の強度の測定を実行する。

【0043】

上述の測定シーケンスにおいて、励起光の照射タイミングになると、照射装置４は、励起光を出射する。例えば図３および図４に示すように、照射装置４から出射した励起光は、所定の入射角で基材１の側面１ｃ，１ｄに入射し、基材１内を進行する。つまり、そのような入射角で励起光が基材１に入射するように、照射装置４は、励起光を出射する。そして、励起光は、入射した側面１ｃ，１ｄに対向する側面１ｄ，１ｃから反射せずに出射する。

【0044】

そして、図３および図４に示すように、励起光は、反射面２１−１，２１−２で繰り返し反射しつつＹ軸方向に向かってジグザグに進行していき、所定回数だけ、基材１を通過する。そして、基材１において、励起光の光路上に存在するカラーセンタは、励起光によって励起する。

【0045】

その後、測定光の照射タイミングになると、照射装置４は、測定光を出射する。測定光は、励起光と同一の光路を通り、その際に、カラーセンタで発生する蛍光が、直接、または、基材１の周囲の反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃで反射して、支持部材１ＳとしてのＣＰＣに入射し、そのＣＰＣによって受光装置５に集光される。受光装置５で受光された蛍光が電気信号に変換される。そして、測定制御部６ａは、その電気信号に基づいて検出値（蛍光強度）を特定し、演算部６ｂは、その検出値から被測定場の測定値を算出する。

【0046】

以上のように、上記実施の形態１に係る励起光照射装置は、励起光で励起されるカラーセンタを含む基材１と、基材１に対して離間して配置された少なくとも１対の反射部材２１ａ，２１ｂとを備える。そして、基材１は、当該基材１の面１ｃ，１ｄにおいて、当該基材１内に入射した励起光を反射させずに出射させ、反射部材２１ａ，２１ｂは、基材１から出射した励起光を反射面２１−１，２１−２で反射して基材１に入射させ、励起光の、基材１への入射および基材１からの出射を繰り返させて、所定回数だけ励起光を基材１に通過させる。その際、照射装置４は、励起光が反射面２１−１，２１−２の２軸のうちの一方の軸に対しては垂直に、かつ反射面の２軸のうちの他方の軸に対しては所定傾斜角で反射面に入射するように、励起光を出射する。

【0047】

これにより、励起光が基材１で内部反射せずに所定回数だけ励起光が基材１を通過するように基材１の外部に配置される反射部材２１ａ，２１ｂで励起光の光路を設定しているため、照射装置４から基材１への励起光の入射角や入射位置が多少変動しても、励起光の通過回数が変動しない（つまり、基材１内での励起光の光路長が大きく変化しない）。したがって、安定的に、基材１内のカラーセンタの発する光に基づく測定が正確に行われる。

【0048】

また、照射装置４は、励起光が反射面２１−１，２１−２の２軸のうちの一方の軸に対しては垂直に入射するようにしているため（つまり、基材１が設置されている基準面（ここでは支持部材１Ｓの上面）に対して平行な１平面上を進行しているため）、３次元的ではなく２次元的に光路制御を行えばよく、励起光（および測定光）の光路の変動量が大きくなりにくい。

【0049】

実施の形態２．

【0050】

図５は、実施の形態２における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【0051】

実施の形態２では、反射部材２１ａ，２１ｂの反射面２１−１，２１−２が外側に（つまり、基材１に面する面とは反対側に）配置されるように、反射部材２１ａ，２１ｂが配置されており、これにより、励起光は、光透過性部材を介して反射面２１−１，２１−２に入射する。なお、実施の形態１（図４）では、励起光は、反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を介さずに反射面２１−１，２１−２に入射している。

【0052】

そして、実施の形態１，２では、励起光は、光路上において最初に基材１に入射する前に反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を通過せずに、基材１に直接入射する。また、実施の形態１，２では、励起光は、光路上において最後に基材１から出射した後に反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を通過しない。

【0053】

なお、実施の形態２に係る励起光照射装置およびそれを備える測定装置のその他の構成および動作については実施の形態１と同様であるので、その説明を省略する。

【0054】

実施の形態３．

【0055】

図６は、実施の形態３における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【0056】

実施の形態３では、反射部材２１ａ，２１ｂの反射面２１−１，２１−２が、実施の形態１と同様に内側に（つまり、基材１に面して）配置されるように、反射部材２１ａ，２１ｂが配置されており、これにより、励起光は、反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を介さず反射面２１−１，２１−２に入射する。

【0057】

ただし、実施の形態３では、励起光は、例えば図６に示すように、光路上において最初に基材１に入射する際、反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を介して基材１に入射する。また、実施の形態３では、励起光は、光路上において最後に基材１から出射した後に反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を通過する。つまり、実施の形態３では、反射部材２１ａ，２１ｂにおいて励起光が通過する箇所には反射面２１−１，２１−２が形成されていない。

【0058】

なお、実施の形態３に係る励起光照射装置およびそれを備える測定装置のその他の構成および動作については実施の形態１と同様であるので、その説明を省略する。

【0059】

実施の形態４．

【0060】

図７は、実施の形態４における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【0061】

実施の形態４では、実施の形態２と同様に、反射部材２１ａ，２１ｂの反射面２１−１，２１−２が外側に（つまり、基材１に面する面とは反対側に）配置されるように、反射部材２１ａ，２１ｂが配置されており、これにより、励起光は、反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を介して反射面２１−１，２１−２に入射する。

【0062】

さらに、実施の形態４では、実施の形態３と同様に、励起光は、例えば図７に示すように、光路上において最初に基材１に入射する際、反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を介して基材１に入射する。また、実施の形態４では、励起光は、光路上において最後に基材１から出射した後に反射部材２１ａ，２１ｂの光透過性部材を通過する。つまり、実施の形態４では、反射部材２１ａ，２１ｂにおいて励起光が通過する箇所には反射面２１−１，２１−２が形成されていない。

【0063】

なお、実施の形態４に係る励起光照射装置およびそれを備える測定装置のその他の構成および動作については実施の形態１と同様であるので、その説明を省略する。

【0064】

実施の形態５．

【0065】

図８は、実施の形態５に係る励起光照射装置の構成例を示す斜視図である。

【0066】

実施の形態５に係る励起光照射装置は、上述の反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃを一体とした反射部材２１と、治具部材３１とを備えている。反射部材２１の外形は、コイル２の中空部分と略同一の径を有する略円筒形状とされ、ガタつきなくコイル２に固定され、上述の反射面２１−１，２１−２が位置決めされる。また、治具部材３１は、基材１がガタツキなく配置される貫通孔３１ａを有し、反射部材２１の下部にガタつきなく固定されることで、基材１が位置決めされ、反射面２１−１，２１−２に対して適切な位置に配置される。

【0067】

なお、実施の形態５に係る励起光照射装置およびそれを備える測定装置のその他の構成および動作については実施の形態１〜４のいずれかと同様であるので、その説明を省略する。

【0068】

実施の形態６．

【0069】

図９は、実施の形態６における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【0070】

実施の形態６に係る励起光照射装置は、実施の形態１〜５と同様の少なくとも１対の反射部材２１ａ，２１ｂの他、少なくとも１対の反射部材２１ｄ，２１ｅを備える。

【0071】

反射部材２１ａ，２１ｂは、基材１において対向する面１ｃおよび面１ｄのいずれかから出射した励起光を反射面２１−１，２１−２で反射して、面１ｃ，１ｄのうち、励起光が出射した面に入射させ、励起光の、基材１への入射および基材１からの出射を繰り返させて、所定第１回数だけ励起光を基材１に通過させる。

【0072】

また、反射部材２１ｄ，２１ｅは、上述の所定第１回数だけ励起光が基材１を通過した後に、基材１において上述の面１ｃ，１ｄとは異なる面１ｅおよび面１ｆのいずれかから出射した励起光を反射面で反射して、面１ｅ，１ｆのうち、励起光が出射した面に入射させ、励起光の、基材１への入射および基材１からの出射を繰り返させて、所定第２回数だけ励起光を基材１に通過させる。なお、所定第２回数は、所定第１回数と同一でも異なっていてもよい。

【0073】

さらに、この実施の形態６では、反射部材２１ａ，２１ｂのいずれかは、所定第１回数だけ励起光を基材１に通過させた後、励起光を反射部材２１ｄ，２１ｅのいずれかに入射させる。なお、反射部材２１ａ，２１ｂとは別の光学系で、反射部材２１ａ，２１ｂによって所定第１回数だけ励起光が基材１を通過した後に、励起光を反射部材２１ｄ，２１ｅのいずれかに入射させるようにしてもよい。

【0074】

図９における反射部材２１ｄ，２１ｅは、反射面２１−４，２１−５を有する平板状の部材である。例えば、各反射部材２１ｄ，２１ｅは、ガラスや透明樹脂などの光透過性部材と、光透過性部材の１面上で反射面２１−ｉ（ｉ＝４，５）を形成する膜とを備える。例えば、反射面２１−４，２１−５は、誘電体多層膜で形成される。なお、この実施の形態では、各反射部材２１ｄ，２１ｅは、１つの部材であるが、その代わりに、複数部材の集合体であってもよい。

【0075】

実施の形態６では、反射面２１−２および面１ｃ，１ｄは互いに略平行であり、反射面２１−５および面１ｅ，１ｆは互いに略平行であり、反射面２１−１は、反射面２１−２とは平行ではなく、反射面２１−２に対して所定角で傾斜している。反射面２１−４は、反射面２１−５とは平行ではなく、反射面２１−５に対して所定角で傾斜している。

【0076】

なお、図９では、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅの反射面２１−１，２１−２，２１−４，２１−５が内側（基材１に面する側）に配置されているが、実施の形態２のように、反射部材２１ａ，２１ｂの反射面２１−１，２１−２，２１−４，２１−５が外側に配置されるように、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅが配置されていてもよい。さらに、実施の形態４のように、その場合において、励起光が、光路上において最初に基材１に入射する際、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅの光透過性部材を介して基材１に入射し、光路上において最後に基材１から出射した後に反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅの光透過性部材を通過するようにしてもよい（その場合、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅにおいて励起光が通過する箇所には反射面２１−１，２１−２，２１−４，２１−５は形成されない）。あるいは、実施の形態３のように、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅの反射面２１−１，２１−２，２１−４，２１−５が内側に配置されるように反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅが配置される場合において、励起光が、光路上において最初に基材１に入射する際、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅの光透過性部材を介して基材１に入射し、光路上において最後に基材１から出射した後に反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅの光透過性部材を通過するようにしてもよい（その場合、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅにおいて励起光が通過する箇所には反射面２１−１，２１−２，２１−４，２１−５は形成されない）。

【0077】

なお、実施の形態６に係る励起光照射装置およびそれを備える測定装置のその他の構成および動作については実施の形態１〜５のいずれかと同様であるので、その説明を省略する。

【0078】

実施の形態７．

【0079】

図１０は、実施の形態７における基材１および反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅ並びに励起光の光路を説明する正面図である。

【0080】

実施の形態７では、反射面２１−１，２１−２は互いに略平行であり、面１ｃ，１ｄは互いに略平行であり、反射面２１−１，２１−２と面１ｃ，１ｄとは互いに略平行であり、また、反射面２１−４，２１−５は互いに略平行であり、面１ｅ，１ｆは互いに略平行であり、反射面２１−４，２１−５と面１ｅ，１ｆとは互いに略平行である。ただし、この実施の形態では、面１ｄから反射面２１−１までの距離は、面１ｃから反射面２１−２までの距離より長く、面１ｅから反射面２１−４までの距離は、面１ｆから反射面２１−５までの距離より長い。

【0081】

なお、実施の形態７に係る励起光照射装置およびそれを備える測定装置のその他の構成および動作については実施の形態６と同様であるので、その説明を省略する。

【0082】

なお、上述の実施の形態に対する様々な変更および修正については、当業者には明らかである。そのような変更および修正は、その主題の趣旨および範囲から離れることなく、かつ、意図された利点を弱めることなく行われてもよい。つまり、そのような変更および修正が請求の範囲に含まれることを意図している。

【0083】

例えば、上記実施の形態１〜５において、反射面２１−１，２１−２は、互いに略平行であり、反射面２１−１，２１−２および側面１ｃ，１ｄも、互いに略平行であるが、反射面２１−１，２１−２は互いに平行でなくてもよい。また、反射面２１−１，２１−２の一方または両方は側面１ｃ，１ｄに対して平行でなくてもよい。

【0084】

また、上記実施の形態１〜７においては、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅの反射面２１−１，２１−２，２１−３，２１−４，２１−５の形状を平面状としているが、曲面状としてもよい。

【0085】

また、上記実施の形態１〜４，６，７において、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅの一部または全部である複数の反射部材を、例えば実施の形態５のように、それらの反射面と同一の反射面を有する１つの部材としてもよい。

【0086】

また、上記実施の形態１〜７においては、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅは、基材１から離間しているが、反射部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅは、基材１に接触していてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0087】

本発明は、例えば、ＯＤＭＲなどに基づく磁場や電場の測定に適用可能である。

【符号の説明】

【0088】

１ 基材
２ コイル
２ａ 入射側貫通孔
２ｂ 出射側貫通孔
３ 高周波電源
４ 照射装置
５ 受光装置
６ａ 測定制御部
６ｂ 演算部
２１ａ，２１ｂ，２１ｄ，２１ｅ 反射部材
２１−１，２１−２，２１−４，２１−５ 反射面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】