特開2021-190530基板処理装置、基板処理方法、学習用データの生成方法、学習方法、学習装置、学習済モデルの生成方法、及び学習済モデル

発明の名称　基板処理装置、基板処理方法、学習用データの生成方法、学習方法、学習装置、学習済モデルの生成方法、及び学習済モデル

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 56 位（159件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 59 位（138件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-190530

公報発行日　2021年12月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-190530

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