特開2021-190674基板の熱処理オーブン

発明の名称　基板の熱処理オーブン

出願人　コヨ　サーモ　システム　コリア　カンパニー　リミテッド　（識別番号 520252033）

　　　　特許公開件数ランキング 11776 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-190674

公報発行日　2021年12月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-190674

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