公報発行日 2021年12月16
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【図1】第1の実施形態において提供される基材膜を示す図である。
【図2】第1の実施形態において基材膜の第1領域が露出するようにマスキングする工程を示す図である。
【図3】第1の実施形態において基材膜の第1領域に電子線を照射する工程を示す図である。
【図4】第1の実施形態において基材膜の第1領域に重合する工程を示す図である。
【図5】第1の実施形態において基材膜の第1領域を加水分解する工程を示す図である。
【図6】第1の実施形態において第1領域にカチオン交換領域が形成された基材膜を示す図である。
【図7】第1の実施形態において基材膜の第2領域が露出するようにマスキングする工程を示す図である。
【図8】第1の実施形態において基材膜の第2領域に電子線を照射する工程を示す図である。
【図9】第1の実施形態において基材膜の第2領域に重合する工程を示す図である。
【図10】第1の実施形態において基材膜の第2領域を四級化する工程を示す図である。
【図11】第1の実施形態において第2領域にアニオン交換領域が形成された基材膜を示す図である。
【図12】第2の実施形態において提供される基材膜を示す図である。
【図13】第2の実施形態において基材膜の第1面が露出するようにマスキングする工程を示す図である。
【図14】第2の実施形態において基材膜の第1層に電子線を照射する工程を示す図である。
【図15】第2の実施形態において基材膜の第1層に重合する工程を示す図である。
【図16】第2の実施形態において基材膜の第1層を加水分解する工程を示す図である。
【図17】第2の実施形態において第1層にカチオン交換層が形成された基材膜を示す図である。
【図18】第2の実施形態において基材膜の第2面が露出するようにマスキングする工程を示す図である。
【図19】第2の実施形態において基材膜の第2層に電子線を照射する工程を示す図である。
【図20】第2の実施形態において基材膜の第2層に重合する工程を示す図である。
【図21】第2の実施形態において基材膜の第2層を四級化する工程を示す図である。
【図22】第2の実施形態において第2層にアニオン交換層が形成された基材膜を示す図である。
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