特開2021-195191アキューム装置

発明の名称　アキューム装置

出願人　三菱重工メカトロシステムズ株式会社　（識別番号 309036221）

　　　　特許公開件数ランキング 673 位（12件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 373 位（24件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-195191

公報発行日　2021年12月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-195191

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