特開2021-197374基板保持装置

発明の名称　基板保持装置

出願人　川崎重工業株式会社　（識別番号 974）

　　　　特許公開件数ランキング 99 位（107件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 87 位（98件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-197374

公報発行日　2021年12月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-197374

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