特開 2021-20150 フィルタ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-20150(P2021-20150A)

(43)【公開日】2021年2月18日

(54)【発明の名称】フィルタ装置

(51)【国際特許分類】

   B01D 46/24 20060101AFI20210122BHJP

【ＦＩ】

   B01D46/24 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2019-137314(P2019-137314)

(22)【出願日】2019年7月25日

(71)【出願人】

【識別番号】000102511

【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100072453

【弁理士】

【氏名又は名称】林 宏

(74)【代理人】

【識別番号】100119404

【弁理士】

【氏名又は名称】林 直生樹

(74)【代理人】

【識別番号】100177769

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 徹

(72)【発明者】

【氏名】栗原 光弘

(72)【発明者】

【氏名】福嶋 憲司

【テーマコード（参考）】

4D058

【Ｆターム（参考）】

4D058JA02

4D058KA01

4D058KA15

4D058KB01

4D058QA01

4D058QA03

4D058QA11

4D058QA13

4D058QA15

4D058QA19

4D058UA25

4D058UA30

(57)【要約】

【課題】負圧と正圧とが選択的に切り換えられて供給される流路に設けるためのフィルタ装置において、より簡単で合理的な流路構造を実現することが可能なものを提供する。
【解決手段】第１ポート２０と第２ポート３０との間に、負圧側フィルタ４を有する負圧側流路４０及び正圧側フィルタ５を有する正圧側流路５０を並列に接続し、負圧側流路及び正圧側流路と第１ポートとの間にシャトル弁７を介在させることにより、第１ポートに負圧が供給されたときには、第１ポートを負圧側流路を通じて第２ポートに連通させ、第１ポートに正圧が供給されたときには、第１ポートを正圧側流路を通じて第２ポートに連通させるようにした。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

負圧及び正圧が選択的に切り換えられて供給される流路に設けて、該流路を流れる気体から異物をろ過するためのフィルタ装置であって、
該フィルタ装置は、負圧及び正圧を選択的に切り換えて入力するための第１ポートと、該第１ポートから入力された負圧及び正圧を外部に出力するための第２ポートと、これら第１ポート及び第２ポートの間に配設されて、これら第１及び第２ポートに対して並列に接続された負圧側フィルタ及び正圧側フィルタとを有しており、
前記負圧側フィルタは、前記第２ポートから第１ポートへ流れる気体から異物をろ過するための通気性の負圧側フィルタエレメントを有し、前記正圧側フィルタは、前記第１ポートから第２ポートへと流れる気体から異物をろ過するための通気性の正圧側フィルタエレメントを有しており、
前記第１ポートと前記負圧側及び正圧側フィルタとの間にはシャトル弁が配されており、
前記シャトル弁は、第１ポートに負圧が供給されたときには、該第１ポートと前記負圧側フィルタとの間の連通を開放して前記第２ポートから該負圧を出力すると同時に、該第１ポートと前記正圧側フィルタとの間の連通を遮断し、一方、第１ポートに正圧が供給されたときには、該第１ポートと前記正圧側フィルタとの間の連通を開放して前記第２ポートから該正圧を出力すると同時に、該第１ポートと前記負圧側フィルタとの間の連通を遮断する弁体を有している、
ことを特徴とするフィルタ装置。

【請求項2】

請求項１に記載のフィルタ装置において、
前記フィルタ装置は、前記第１ポートと第２ポートとの間に、前記負圧側フィルタを含んだ負圧側流路と、前記正圧側フィルタを含んだ正圧側流路とを有しており、
これら負圧側流路及び正圧側流路の一端が前記シャトル弁に連通され、該負圧側流路及び正圧側流路の他端が前記第２ポートに連通されている、
ことを特徴とするフィルタ装置。

【請求項3】

請求項２に記載のフィルタ装置において、
前記正圧側流路における前記正圧側フィルタエレメントよりも第２ポート寄りの流路部分に、絞り部が形成されている、
ことを特徴とするフィルタ装置。

【請求項4】

請求項２に記載のフィルタ装置において、
前記フィルタ装置は、長手の軸に沿って延びていて、その軸方向の両端に第１端及び第２端を有しており、
該フィルタ装置は、前記負圧側及び正圧側フィルタを含んで軸方向に延びるフィルタ本体部と、前記第１ポート及び前記シャトル弁を含んで該フィルタ本体部における第１端側の端部に着脱可能に取り付けられた第１キャップ部と、前記第２ポートを含んで該フィルタ本体部における第２端側の端部に着脱可能に取り付けられた第２キャップ部とを有しており、
前記フィルタ本体部において、前記負圧側及び正圧側フィルタは、軸方向に互いに平行を成して延設されており、
これら負圧側及び正圧側フィルタの両端部が前記第１キャップ部及び第２キャップ部に対して着脱可能に連結されていて、それにより、前記負圧側流路及び正圧側流路における第１端側の端部が前記シャトル弁に連通されると共に、前記負圧側流路及び正圧側流路における第２端側の端部が前記第２ポートに連通されている、
ことを特徴とするフィルタ装置。

【請求項5】

請求項４に記載のフィルタ装置において、
前記負圧側フィルタは、軸方向に延びる筒状の前記負圧側フィルタエレメントと、該負圧側フィルタエレメントを内部に収容して、該負圧側フィルタエレメントの外周面上に負圧側環状外流路を形成する筒状の負圧側フィルタケースと、該負圧側フィルタケースにおける第１端側の端部と前記第１キャップ部との間を連結する負圧側第１継手と、該負圧側フィルタケースにおける第２端側の端部と前記第２キャップ部との間を連結する負圧側第２継手とを有していて、
前記負圧側第１継手には、前記負圧側流路のうち、前記シャトル弁と前記負圧側フィルタエレメントの内部流路とを連通させる負圧側第１流路が形成され、前記負圧側第２継手には、該負圧側流路のうち、前記負圧側環状外流路と前記第２ポートとを連通させる負圧側第２流路が形成されており、
前記正圧側フィルタは、軸方向に延びる筒状の前記正圧側フィルタエレメントと、該正圧側フィルタエレメントを内部に収容して、該正圧側フィルタエレメントの外周面上に正圧側環状外流路を形成する筒状の正圧側フィルタケースと、該正圧側フィルタケースにおける第１端側の端部と前記第１キャップ部との間を連結する正圧側第１継手と、該正圧側フィルタケースにおける第２端側の端部と前記第２キャップ部との間を連結する正圧側第２継手とを有していて、
前記正圧側第１継手には、前記正圧側流路のうち、前記シャトル弁と前記正圧側環状外流路とを連通させる正圧側第１流路が形成され、前記正圧側第２継手には、該正圧側流路のうち、前記正圧側フィルタエレメントの内部流路と前記第２ポートとを連通させる正圧側第２流路が形成されている、
ことを特徴とするフィルタ装置。

【請求項6】

請求項５に記載のフィルタ装置において、
前記正圧側第１流路の有効断面積を負圧側第２流路の有効断面積と等しく形成し、且つ、前記正圧側第２流路の有効断面積を負圧側第１流路の有効断面積よりも小さく形成することによって、前記正圧側流路における前記正圧側フィルタエレメントよりも第２ポート寄りの流路部分に、絞り部が形成されている、
ことを特徴とするフィルタ装置。

【請求項7】

請求項５に記載のフィルタ装置において、
前記負圧側フィルタケース及び正圧側フィルタケースは、透明な材料によって形成されており、それにより、前記負圧側フィルタエレメント及び正圧側フィルタエレメントを、該負圧側及び正圧側フィルタケースを通じて外部から目視できるようになっている、
ことを特徴とするもの。

【請求項8】

請求項４に記載のフィルタ装置において、
前記シャトル弁が、前記第１キャップ部に開設された弁取付穴と、該弁取付穴内に嵌合されて、先端部と該弁取付穴の底部との間に弁室を形成する流路形成用ボディと、前記弁室に配された前記弁体とを有しており、
前記弁取付穴における前記弁体よりも底部側には、前記負圧側流路に連通された第１連通流路が開設され、前記弁室における該第１連通流路の開口部周りの内周面には、前記弁体が接離する環状の第１弁座が形成されており、
前記流路形成用ボディの先端部には、前記正圧側流路に連通された第２連通流路が開設され、該第２連通流路の開口部周りには、前記弁体が接離する環状の第２弁座が形成されており、
前記第１ポートが、前記弁室における前記弁体よりも第２弁座側の区画部分に連通されており、
前記第１ポートに負圧が供給されたときには、前記弁体が、前記第１弁座から離間すると共に前記第２弁座に着座し、前記第１ポートに正圧が供給されたときには、前記弁体が、前記第１弁座に着座すると共に前記第２弁座から離間するようになっている、
ことを特徴とするフィルタ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、負圧と正圧とが選択的に切り換えられて供給される流路に取り付けられ、該流路を流れる気体に含まれた塵埃等の異物を除去するためのフィルタ装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

ワークを吸着パッドに吸着させて所定位置に搬送する吸着搬送装置は、例えば、半導体チップ等の電子部品を吸着して基板上に搭載する場合などに広く用いられている。このような吸着搬送装置においては、真空圧（負圧）が供給された吸着パッドにワークを吸着させて所定位置まで搬送し、その所定位置で、吸着パッドに供給する流体圧を真空破壊圧（正圧）に切り換えることにより、ワークを吸着パッドから離脱させるようになっている。

【0003】

通常、このような吸着搬送装置の吸着パッドに接続された流路には、例えば特許文献１や特許文献２に開示されているようなフィルタ装置が設けられている。このフィルタ装置は、真空圧供給時（負圧供給時）及び真空破壊時（正圧供給時）に、その流路を流れる気体（空気）に混入した塵埃等の異物を除去するものである。このようなフィルタ装置を設けることにより、負圧供給時には、吸着パッドから吸引した空気に混入した異物が負圧源に侵入するのを防止して、該負圧源がその異物で損傷してしまうのを防止することができる。また、逆に、正圧供給時には、正圧源からの空気に混入した異物が吸着パッドから放出されるのを防止して、ワーク及びその周囲が放出された異物で汚染されるのを防止することができる。

【0004】

ところで、上記吸着搬送装置において、前記負圧供給時と正圧供給時とでは、前記流路内を流れる空気の流れ方向が逆方向となる。そこで、特許文献１及び特許文献２に開示されたフィルタ装置においては、該フィルタ装置内に、負圧源からの負圧が供給される負圧用流路と正圧源からの正圧が供給される正圧用流路とが並列に形成されている。そして、前記負圧用流路においては、負圧用フィルタと、吸着パッド側から負圧源側に向けての空気の流れを許容する逆止弁とが直列に接続され、前記正圧用流路においては、正圧用フィルタと、正圧源側から吸着パッド側に向けての空気の流れを許容する逆止弁とが直列に接続されている。

【0005】

前記フィルタ装置をこのような構成とすることにより、負圧供給時にフィルタで捕捉された異物が、正圧供給時に真空破壊用の空気に混入して前記真空パッドから放出されてしまったり、正圧供給時にフィルタで捕捉された異物が、負圧供給時に真空パッドから吸引された空気に混入して負圧源に吸入されてしまったりするのを防止することができる。
しかしながら、特許文献１や特許文献２に開示されたフィルタ装置においては、複数の弁体（逆止弁）を必要とすることなどから、内部の流路構造が複雑なものとなりがちであり、圧力効率が低下したり各種コストが嵩んだりすること等が懸念される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００１−１７０４２９号公報

【特許文献2】特開２００１−１２９３３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明の技術的課題は、負圧と正圧とが選択的に切り換えられて供給される流路に設けるためのフィルタ装置において、より簡単で合理的な流路構造を実現することが可能なものを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記課題を解決するため、本発明は、負圧及び正圧が選択的に切り換えられて供給される流路に設けて、該流路を流れる気体から異物をろ過するためのフィルタ装置であって、該フィルタ装置は、負圧及び正圧を選択的に切り換えて入力するための第１ポートと、該第１ポートから入力された負圧及び正圧を外部に出力するための第２ポートと、これら第１ポート及び第２ポートの間に配設されて、これら第１及び第２ポートに対して並列に接続された負圧側フィルタ及び正圧側フィルタとを有しており、前記負圧側フィルタは、前記第２ポートから第１ポートへ流れる気体から異物をろ過するための通気性の負圧側フィルタエレメントを有し、前記正圧側フィルタは、前記第１ポートから第２ポートへと流れる気体から異物をろ過するための通気性の正圧側フィルタエレメントを有しており、前記第１ポートと前記負圧側及び正圧側フィルタとの間にはシャトル弁が配されており、前記シャトル弁は、第１ポートに負圧が供給されたときには、該第１ポートと前記負圧側フィルタとの間の連通を開放して前記第２ポートから該負圧を出力すると同時に、該第１ポートと前記正圧側フィルタとの間の連通を遮断し、一方、第１ポートに正圧が供給されたときには、該第１ポートと前記正圧側フィルタとの間の連通を開放して前記第２ポートから該正圧を出力すると同時に、該第１ポートと前記負圧側フィルタとの間の連通を遮断する弁体を有している、ことを特徴としている。

【0009】

ここで、好ましくは、前記フィルタ装置は、前記第１ポートと第２ポートとの間に、前記負圧側フィルタを含んだ負圧側流路と、前記正圧側フィルタを含んだ正圧側流路とを有しており、これら負圧側流路及び正圧側流路の一端が前記シャトル弁に連通され、該負圧側流路及び正圧側流路の他端が前記第２ポートに連通されている。より好ましくは、前記正圧側流路における前記正圧側フィルタエレメントよりも第２ポート寄りの流路部分に、絞り部が形成されている。

【0010】

本発明に係るフィルタ装置の好ましい実施形態においては、前記フィルタ装置は、長手の軸に沿って延びていて、その軸方向の両端に第１端及び第２端を有しており、該フィルタ装置は、前記負圧側及び正圧側フィルタを含んで軸方向に延びるフィルタ本体部と、前記第１ポート及び前記シャトル弁を含んで該フィルタ本体部における第１端側の端部に着脱可能に取り付けられた第１キャップ部と、前記第２ポートを含んで該フィルタ本体部における第２端側の端部に着脱可能に取り付けられた第２キャップ部とを有しており、前記フィルタ本体部において、前記負圧側及び正圧側フィルタは、軸方向に互いに平行を成して延設されており、これら負圧側及び正圧側フィルタの両端部が前記第１キャップ部及び第２キャップ部に対して着脱可能に連結されていて、それにより、前記負圧側流路及び正圧側流路における第１端側の端部が前記シャトル弁に連通されると共に、前記負圧側流路及び正圧側流路における第２端側の端部が前記第２ポートに連通されている。

【0011】

このとき、好ましくは、前記負圧側フィルタは、軸方向に延びる筒状の前記負圧側フィルタエレメントと、該負圧側フィルタエレメントを内部に収容して、該負圧側フィルタエレメントの外周面上に負圧側環状外流路を形成する筒状の負圧側フィルタケースと、該負圧側フィルタケースにおける第１端側の端部と前記第１キャップ部との間を連結する負圧側第１継手と、該負圧側フィルタケースにおける第２端側の端部と前記第２キャップ部との間を連結する負圧側第２継手とを有していて、前記負圧側第１継手には、前記負圧側流路のうち、前記シャトル弁と前記負圧側フィルタエレメントの内部流路とを連通させる負圧側第１流路が形成され、前記負圧側第２継手には、該負圧側流路のうち、前記負圧側環状外流路と前記第２ポートとを連通させる負圧側第２流路が形成されており、前記正圧側フィルタは、軸方向に延びる筒状の前記正圧側フィルタエレメントと、該正圧側フィルタエレメントを内部に収容して、該正圧側フィルタエレメントの外周面上に正圧側環状外流路を形成する筒状の正圧側フィルタケースと、該正圧側フィルタケースにおける第１端側の端部と前記第１キャップ部との間を連結する正圧側第１継手と、該正圧側フィルタケースにおける第２端側の端部と前記第２キャップ部との間を連結する正圧側第２継手とを有していて、前記正圧側第１継手には、前記正圧側流路のうち、前記シャトル弁と前記正圧側環状外流路とを連通させる正圧側第１流路が形成され、前記正圧側第２継手には、該正圧側流路のうち、前記正圧側フィルタエレメントの内部流路と前記第２ポートとを連通させる正圧側第２流路が形成されている。

【0012】

より好ましくは、前記正圧側第１流路の有効断面積を負圧側第２流路の有効断面積と等しく形成し、且つ、前記正圧側第２流路の有効断面積を負圧側第１流路の有効断面積よりも小さく形成することによって、前記正圧側流路における前記正圧側フィルタエレメントよりも第２ポート寄りの流路部分に、絞り部が形成されている。また、より好ましくは、前記負圧側フィルタケース及び正圧側フィルタケースは、透明な材料によって形成されており、それにより、前記負圧側フィルタエレメント及び正圧側フィルタエレメントを、該負圧側及び正圧側フィルタケースを通じて外部から目視できるようになっている。

【0013】

さらに、より好ましくは、前記シャトル弁が、前記第１キャップ部に開設された弁取付穴と、該弁取付穴内に嵌合されて、先端部と該弁取付穴の底部との間に弁室を形成する流路形成用ボディと、前記弁室に配された前記弁体とを有しており、前記弁取付穴における前記弁体よりも底部側には、前記負圧側流路に連通された第１連通流路が開設され、前記弁室における該第１連通流路の開口部周りの内周面には、前記弁体が接離する環状の第１弁座が形成されており、前記流路形成用ボディの先端部には、前記正圧側流路に連通された第２連通流路が開設され、該第２連通流路の開口部周りには、前記弁体が接離する環状の第２弁座が形成されており、前記第１ポートが、前記弁室における前記弁体よりも第２弁座側の区画部分に連通されており、前記第１ポートに負圧が供給されたときには、前記弁体が、前記第１弁座から離間すると共に前記第２弁座に着座し、前記第１ポートに正圧が供給されたときには、前記弁体が、前記第１弁座に着座すると共に前記第２弁座から離間するようになっている。

【発明の効果】

【0014】

本発明に係るフィルタ装置によれば、第１ポートに入力される圧力が負圧又は正圧に選択的に切り換えられたときに、該フィルタ装置に流入する気体から異物を除去するフィルタの切り換えを、単一の弁体によって流路を切り換えるシャトル弁で行うようにしたため、より簡単で合理的な流路構造を備えたフィルタ装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明に係るフィルタ装置の適用例を示す回路図である。

【図2】本発明に係るフィルタ装置の断面図である。

【図3】本発明に係るフィルタ装置の分解斜視図である。

【図4】図２におけるシャトル弁の動作を示す拡大図であり、（ａ）は第１ポートに負圧が供給されたとき、（ｂ）は第１ポートに正圧が供給されたときを示している。

【図5】図２における負圧側及び正圧側フィルタの拡大図であり、（ａ）は第１ポートに負圧が供給されたときの負圧側フィルタ４内における流体の流れを示しており、（ｂ）は第１ポートに正圧が供給されたときの正圧側フィルタ５内における流体の流れを示している。

【発明を実施するための形態】

【0016】

本発明に係るフィルタ装置１は、例えば、図１に示すように、ワークを吸着パッド１０に吸着させて所定位置に搬送する吸着搬送装置等に用いられるものであって、負圧源１３及び正圧源１４を、電磁パイロット式切換弁１１，１２によって選択的に切り換えて連通させる流路１５に設け、該流路１５を流れる空気等の気体をろ過するためのものである。ここで、前記負圧源１３としては、大気圧よりも低い圧力を供給する真空圧発生装置（エジェクタ装置等）を用いることができ、正圧源１４としては、大気圧よりも高い圧力を供給するコンプレッサ等を用いることができる。

【0017】

このように、負圧源１３と正圧源１４とから、負圧と正圧とが選択的に切り換られて供給される流路１５にフィルタ装置１を介在させることにより、当該流路１５に負圧源１３から負圧が供給されているときには、前記吸着パッド１０等の流体圧機器から吸引された空気等の気体から塵埃等の異物をろ過（除去）して、該負圧源１３に該異物が侵入するのを防止することができる。その一方で、当該流路１５に正圧源１４から真空破壊用の正圧が供給されているときには、該正圧源１４から供給される正圧の空気等の気体から塵埃等の異物をろ過（除去）して、ワーク及びその周囲が異物で汚染されるのを防止することができる。

【0018】

前記フィルタ装置１は、前記切換弁１１，１２によって、前記負圧源１３及び正圧源１４に対して選択的に切り換えて連通させるための第１ポート２０と、該第１ポート２０から入力された負圧及び正圧を、吸着パッド１０等の外部の流体圧機器に対して出力するための第２ポート３０とを有している。また、これら第１ポート２０と第２ポート３０との間には、負圧側フィルタ４を有する負圧側流路４０及び正圧側フィルタ５を有する正圧側流路５０が設けられており、これら負圧側流路４０及び正圧側流路５０は、前記第１及び第２ポート２０，３０に対して並列に接続されている。

【0019】

図２及び図５に示すように、前記負圧側フィルタ４は、通気性の負圧側フィルタエレメント４１を有しており、前記第１ポート２０から負圧が入力されたときに、該フィルタエレメント４１によって、前記第２ポート３０から負圧側流路４０を通じて第１ポート２０へと流れる気体から異物が除去されるようになっている。その一方で、前記正圧側フィルタ５は、通気性の正圧側フィルタエレメント５１を有しており、前記第１ポート２０から正圧が入力されたときに、該フィルタエレメント５１によって、該第１ポート２０から正圧側流路５０を通じて第２ポート３０へと流れる気体から異物が除去されるようになっている。

【0020】

このような機能を実現するため、このフィルタ装置１においては、前記第１ポート２０と前記負圧側流路４０及び正圧側流路５０との間にシャトル弁７が配されている。具体的には、負圧側流路４０及び正圧側流路５０の一端がシャトル弁７を通じて第１ポート２０に接続され、これら流路４０，５０の他端が直接的に第２ポート３０に接続されている。そうすることにより、第１ポート２０に負圧が供給されたときには、該第１ポート２０と前記負圧側流路４０との間の連通が開放されて前記第２ポート３０から該負圧が出力され、それと同時に、該第１ポート２０と前記正圧側流路５０との間の連通が遮断される。その際、第２ポート３０からフィルタ装置１内に流入した気体が、負圧側フィルタ４のフィルタエレメント４１でろ過された後に、第１ポート２０から流出する。

【0021】

その一方で、前記第１ポート２０に正圧が供給されたときには、該第１ポート２０と前記正圧側流路５０との間の連通が開放されて前記第２ポート３０から該正圧が出力され、それと同時に、該第１ポート２０と前記負圧側流路４０との間の連通が遮断される。その際、第１ポート２０からフィルタ装置１内に流入した気体が、正圧側フィルタ５のフィルタエレメント５１でろ過された後に、第２ポート３０から流出する。

【0022】

また、本実施形態に係るフィルタ装置１においては、正圧側流路５０における前記正圧側フィルタエレメント５１よりも第２ポート３０側の流路部分に絞り部５０ａが設けられている。このような絞り部５０ａを正圧側流路５０に設けることにより、特にフィルタ装置１の第１ポート２０に供給する気体の圧力を負圧へと切り換えた際に、第１ポート２０との連通を負圧側流路４０へと切り換えるシャトル弁７の応答性を向上させることができる。また、絞り部５０ａを正圧側フィルタエレメント５１よりも第２ポート３０側に設けたことにより、第１ポート２０に正圧を供給した際に該フィルタエレメント５１で捕捉された異物が、再び第１ポート２０側に送り戻されるのを可及的に抑制することができる。

【0023】

上記フィルタ装置１の構造について図２及び図３を用いてより具体的に説明すると、前記フィルタ装置１は、長手の第１軸Ｌ１方向に延びており、該軸Ｌ１方向の両端に第１端１ａ及び第２端１ｂを有している。そして、このフィルタ装置１は、前記負圧側及び正圧側フィルタ４，５を含んで軸Ｌ１方向に延びるフィルタ本体部６と、前記第１ポート２０及び前記シャトル弁７を含んで該フィルタ本体部６における第１端１ａ側の端部に着脱可能に取り付けられた第１キャップ部２と、前記第２ポート３０を含んで該フィルタ本体部６における第２端１ｂ側の端部に着脱可能に取り付けられた第２キャップ部３とを有している。また、図中の符号９は、前記フィルタ装置１を所定位置に固定するためのブラケットを示しており、前記フィルタ本体部の側方から着脱自在に取り付けられる。

【0024】

前記フィルタ本体部６は、前記負圧側流路４０を形成する前記負圧側フィルタ４と、前記正圧側流路５０を形成する前記正圧側フィルタ５と、これら負圧側及び正圧側フィルタ４，５を第１軸Ｌ１方向において互いに平行に保持するホルダー８とを有している。すなわち、前記負圧側流路４０と正圧側流路５０とは第１軸Ｌ１方向において互いに平行に延びている。そして、第１軸Ｌ１方向における負圧側及び正圧側フィルタ４，５の両端部が前記第１キャップ部２及び第２キャップ部３に対して着脱可能に連結されている。その結果、前記負圧側流路４０及び正圧側流路５０における第１端１ａ側の端部が前記シャトル弁７に連通されると共に、前記負圧側流路４０及び正圧側流路５０における第２端１ｂ側の端部が前記第２ポート３０に連通されている。

【0025】

前記負圧側及び正圧側フィルタ４，５は、第１軸Ｌ１方向において互いに逆向きに配置されている点、及び、正圧側フィルタ５には前記絞り部５０ａが設けられているのに対して、負圧側フィルタ４には絞り部が設けられていない点を除けば、互いに同じ構造を備えている。これら負圧側及び正圧側フィルタ４，５は、中空の筒状に形成されて軸方向に延設された前記負圧側及び正圧側フィルタエレメント４１，５１と、中空の筒状に形成されて軸方向に延設され、該フィルタエレメント４１，５１を内部に収容する負圧側及び正圧側フィルタケース４２，５２とを有している。そして、これらフィルタエレメント４１，５１内には、第１軸Ｌ１方向に貫通する負圧側内部流路４１ａ及び正圧側内部流路５１ａが形成されている。

【0026】

また、これらフィルタケース４２，５２の内径は前記フィルタエレメント４１，５１の外径よりも大きく形成されていて、該フィルタケース４２，５２内に、前記フィルタエレメント４１，５１全体が同軸に収容されている。そのため、前記負圧側フィルタエレメント４１の外周面上（すなわち、該フィルタエレメント４１の外周面と負圧側フィルタケース４２の内周面との間）には、負圧側環状外流路４３が形成されている。一方、前記正圧側フィルタエレメント５１の外周面上（すなわち、該フィルタエレメント５１の外周面と正圧側フィルタケース５２の内周面との間）には、正圧側環状外流路５３が形成されている。

【0027】

ここで、これらフィルタケース４２，５２は共に、透明な樹脂等の透明な材料によって形成されている。このようにフィルタケース４２，５２を透明なものとすることにより、フィルタエレメント４１，５１の外周面を外部から、該フィルタエレメント４１，５１の状態（汚れ具合等）を目視で確認することができるようになっている。また、負圧側のフィルタエレメント４１及びフィルタケース４２と、正圧側のフィルタエレメント５１及びフィルタケース５２とは、第１軸Ｌ１方向において互いに逆向きに配置されている点を除けば、互いに同じ構造を有している。

【0028】

前記負圧側フィルタ４は、前記負圧側フィルタケース４２における第１端１ａ側の端部に、前記第１キャップ部２との連結に供される負圧側第１継手４４を有しており、同じく第２端１ｂ側の端部に、前記第２キャップ部３との連結に供される負圧側第２継手４７を有している。

【0029】

前記負圧側第１継手４４は、第１軸Ｌ１方向の中央部に配された大径の本体部４４ａと、該本体部４４ａの第１端１ａ側から突設された小径の接続部４４ｂと、該本体部４４ａの第２端１ｂ側から突設された小径の嵌合部４４ｃとによって一体に形成されている。

【0030】

前記負圧側第１継手４４には、前記第１キャップ部２に設けられたシャトル弁７の後述する第２弁開口７１と、前記負圧側フィルタエレメント４１の内部流路４１ａとを連通させる負圧側第１流路４５が形成されている。この負圧側第１流路４５は、前記接続部４４ｂの端面から嵌合部４４ｃの端面まで、第１軸Ｌ１に沿って前記負圧側第１継手４４を直線状に貫通しており、前記負圧側流路４０における第１端１ａ側の端部を形成している。

【0031】

また、前記接続部４４ｂ及び嵌合部４４ｃの外周には、環状のシール部材Ｓがそれぞれ設けられている。そして、前記接続部４４ｂは、前記第１キャップ部２における前記第２弁開口７１が開設された負圧側嵌合凹部２１に対して気密かつ着脱可能に嵌合されている。一方、前記嵌合部４４ｃは、前記負圧側フィルタケース４２における第１端１ａ側の端部に対して気密かつ着脱可能に嵌合されている。

【0032】

前記負圧側第２継手４７は、第１軸Ｌ１方向の中央部に配された大径の本体部４７ａと、該本体部４７ａの第２端１ｂ側から突設された小径の接続部４７ｂと、該本体部４７ａの第１端１ａ側から突設された小径の嵌合部４７ｃと、該嵌合部４７ｃの第１端１ａ側から更に突設されて該嵌合部４７ｃよりも小径に形成された嵌合凸部４７ｄとによって一体に形成されている。

【0033】

前記負圧側第２継手４７においては、前記第２キャップ部３の第２ポート３０へと連なる後述の接続流路３７と、前記負圧側環状外流路４３とを連通させる負圧側第２流路４８が形成されている。ここで、この負圧側第２流路４８は、前記接続部４７ｂの端面から嵌合部４７ｃまで（具体的には、嵌合部４７ｃと嵌合凸部４７ｄとの境界部分まで）、第１軸Ｌ１に沿って直線状に開設された軸方向流路部４８ａと、該嵌合部４７ｃを径方向に貫通して該軸方向流路部４８ａと直角に交わる径方向流路部４８ｂとによって形成されている。そして、該径方向流路部４８ｂによって、前記軸方向流路部４８ａと前記負圧側環状外流路４３とが相互に接続されている。この負圧側第２流路４８は、前記負圧側流路４０における第２端１ｂ側の端部を形成している。

【0034】

また、前記接続部４７ｂ及び嵌合部４７ｃの外周にも、環状のシール部材Ｓがそれぞれ設けられている。そして、前記接続部４７ｂは、前記第２キャップ部３における前記接続流路３７に連通された負圧側嵌合凹部３１に対して気密かつ着脱可能に嵌合されている。一方、前記嵌合部４４ｃは、前記負圧側フィルタケース４２における第２端１ｂ側の端部に対して気密に嵌合され、さらに、前記嵌合凸部４７ｄが、前記負圧側フィルタエレメント４１の内部流路４１ａにおける第２端１ｂ側の開口部に嵌合され、該開口部を閉塞している。ここで、前記嵌合部４７ｃにおいて、前記シール部材Ｓは、前記径方向流路部４８ｂよりも本体部４７ａ寄りの位置に配されている。

【0035】

その一方で、前記正圧側フィルタ５は、前記正圧側フィルタケース５２における第１端１ａ側の端部に、前記第１キャップ部２との連結に供される正圧側第１継手５４を有しており、同じく第２端１ｂ側の端部に、前記第２キャップ部３との連結に供される正圧側第２継手５７を有している。

【0036】

前記正圧側第１継手５４は、第１軸Ｌ１方向の中央部に配された大径の本体部５４ａと、該本体部５４ａの第１端１ａ側から突設された小径の接続部５４ｂと、該本体部５４ａの第２端１ｂ側から突設された小径の嵌合部５４ｃと、該嵌合部５４ｃの第２端１ｂ側から更に突設されて該嵌合部５４ｃよりも小径に形成された嵌合凸部５４ｄとによって一体に形成されている。ここで、この正圧側第１継手５４と前記負圧側第２継手４７とは、第１軸Ｌ１方向において互いに逆向きに配置されている点を除けば、互いに同じ構造を有している。

【0037】

前記正圧側第１継手５４においては、前記第１キャップ部２に設けられたシャトル弁７の後述する第３弁開口７２と、前記正圧側環状外流路５３とを連通させる正圧側第１流路５５が形成されている。ここで、この正圧側第１流路５５は、前記接続部５４ｂの端面から嵌合部５４ｃまで（具体的には、嵌合部５４ｃと嵌合凸部５４ｄとの境界部分まで）、第１軸Ｌ１に沿って直線状に開設された軸方向流路部５５ａと、該嵌合部５４ｃを径方向に貫通して該軸方向流路部５５ａと直角に交わる径方向流路部５５ｂとによって形成されている。そして、該径方向流路部５５ｂによって、前記軸方向流路部５５ａと前記正圧側環状外流路５３とが相互に接続されている。この正圧側第１流路５５は、前記正圧側流路５０における第１端１ａ側の端部を形成している。

【0038】

また、前記接続部５４ｂ及び嵌合部５４ｃの外周には、環状のシール部材Ｓがそれぞれ設けられている。そして、前記接続部５４ｂは、前記第１キャップ部２における前記第３弁開口７２が開設された正圧側嵌合凹部２２に対して気密かつ着脱可能に嵌合されている。一方、前記嵌合部５４ｃは、前記正圧側フィルタケース５２における第１端１ａ側の端部に対して気密に嵌合され、さらに、前記嵌合凸部５４ｄが、前記正圧側フィルタエレメント５１の内部流路５１ａにおける第１端１ａ側の開口部に嵌合され、該開口部を閉塞している。ここで、前記嵌合部５４ｃにおいて、前記シール部材Ｓは、前記径方向流路部５５ｂよりも本体部５７ａ寄りの位置に配されている。

【0039】

前記正圧側第２継手５７は、第１軸Ｌ１方向の中央部に配された大径の本体部５７ａと、該本体部５７ａの第２端１ｂ側から突設された小径の接続部５７ｂと、該本体部５７ａの第１端１ａ側から突設された小径の嵌合部５７ｃとによって一体に形成されている。

【0040】

前記正圧側第２継手５７には、前記第２キャップ部３の第２ポート３０へと連なる前記接続流路３７と、前記正圧側フィルタエレメント５１の内部流路５１ａとを連通させる正圧側第２流路５８が形成されている。この正圧側第２流路５８は、前記接続部５７ｂの端面から嵌合部５７ｃの端面まで、第１軸Ｌ１に沿って前記正圧側第２継手５７を直線状に貫通しており、前記正圧側流路５０における第２端１ｂ側の端部を形成している。

【0041】

また、前記接続部５７ｂ及び嵌合部５７ｃの外周にも、環状のシール部材Ｓがそれぞれ設けられている。そして、前記接続部５７ｂは、前記第２キャップ部３における前記接続流路３７に連通された正圧側嵌合凹部３２に対して気密かつ着脱可能に嵌合されている。一方、前記嵌合部５７ｃは、前記正圧側フィルタケース５２における第２端１ｂ側の端部に対して気密に嵌合されている。

【0042】

ここで、この正圧側第２継手５７と前記負圧側第１継手４４とは、第１軸Ｌ１方向において互いに逆向きに配置されている点、及び、正圧側第２流路５８の径が負圧側第１流路４５の径よりも小さく形成されている点を除けば、互いに同じ構造を備えている。

【0043】

このように、本実施形態においては、正圧側第１流路５５の有効断面積と負圧側第２流路４８の有効断面積とを等しく形成し、且つ、前記正圧側第２流路５８の径（有効断面積）を、負圧側第１流路４５の径（有効断面積）よりも小さく形成している。その結果、前記正圧側第２流路５８によって、前記絞り部５０ａが形成されている。換言すると、正圧側フィルタ５の合成有効断面積（すなわち、正圧側流路５０の合成有効断面積）が、負圧側フィルタ４の合成有効断面積（すなわち、負圧側流路４０の合成有効断面積）よりも小さく形成されている。

【0044】

前記ホルダー８は、第１軸Ｌ１方向に延びる円柱状に形成されており、前記負圧側フィルタ４及び正圧側フィルタ５を嵌合させて保持するための第１嵌合溝８ａ及び第２嵌合溝８ｂを有している。該第１及び第２嵌合溝８ａ，８ｂは、該ホルダー８の径方向の両端に開口部を有して、該ホルダー８における第１端１ａ側の端面と第２端１ｂ側の端面との間を直線状に貫通している。このとき、これら嵌合溝８ａ，８ｂの横断面は、中心角が１８０度以上の扇形に形成されている。すなわち、ホルダー８の外周面に軸Ｌ１に沿って開設された第１及び第２嵌合溝８ａ，８ｂの開口幅は、それら嵌合溝８ａ，８ｂの直径よりも小さくなっている。

【0045】

また、該ホルダー８の軸Ｌ１方向の長さは、前記フィルタ４，５において、軸Ｌ１方向の両端部に設けられた接続部４４ｂ，４７ｂ，５４ｂ，５７ｂを除いた長さと実質的に等しくなっている。そして、前記ホルダー８の外周面における第１端１ａ側及び第２端１ｂ側の端部には、前記ブラケット９の後述する第１及び第２把持部９１，９２を係合させる第１及び第２係合溝８ｃ，８ｄが、軸Ｌ１周りの周方向に凹設されている。

【0046】

前記第１キャップ部２は、第１軸Ｌ１方向に延びる円柱状のキャップ本体部２３と、その第１端１ａ側の端面の中央部から軸Ｌ１方向に立設された筒状突部２４とによって一体に形成されている。前記キャップ本体部２３の第２端１ｂ側の端面には、前記負圧側及び正圧側フィルタ４，５の第１端１ａ側の接続部４４ｂ，５４ｂを着脱可能に嵌合させるための前記負圧側及び正圧側嵌合凹部２１，２２が開設されている。前記筒状突部２４内には、クイック継手２５が嵌合されて前記第１ポート２０が形成されていると共に、該第１ポート２０を前記キャップ本体部２３内のシャトル弁７に対して接続する第１弁開口７０が開設されている。

【0047】

図２及び図４に示すように、前記シャトル弁７は、前記第１キャップ部２のキャップ本体部２３に開設された弁取付穴７３と、該弁取付穴７３内に嵌合されて該弁取付穴７３の内部に弁室７４を形成する流路形成用ボディ７５と、前記弁室７４内に往復動自在に収容された単一の弁体７６と、該シャトル弁７内に気体を出入りさせる前記第１弁開口７０、第２弁開口７１及び第３弁開口７２とを有している。そして、これら弁開口に供給される気体の圧力差によって前記弁体７６を動作させ、これら弁開口間の連通状態を切り換えることができるようになっている。

【0048】

前記弁取付穴７３は、前記キャップ本体部２３における第１軸Ｌ１周りの外周面に開口して、該第１軸Ｌ１と直交する第２軸Ｌ２方向に延びており、底部に向かって徐々に径が小さくなっていくように形成されている。

【0049】

前記流路形成用ボディ７５は、第２軸Ｌ２方向において、前記弁取付穴７３の深さよりも短い長さに形成されている。それより、該ボディ７５の先端部と該弁取付穴７３との間には、前記弁室７４が形成されている。該弁室７４の第２軸Ｌ２周りの側壁（内周面）は、弁取付穴７３の底方向に向かって径が直線状に滑らかに縮小していく円錐面状に形成されており、その円錐状の側壁によって、前記弁体７６が接離する環状の第１弁座７４ａが形成されている。そして、該弁室７４の底（すなわち、弁取付穴７３の底）には、前記第２弁開口７１を備えた第１連通流路７７が接続されている。すなわち、前記第１弁座７４ａは、前記弁室７４における第１連通流路７７の開口部周りの内周面に形成されている。

【0050】

該流路形成用ボディ７５の内部には、前記弁室７４と前記第３弁開口７２とを連通させる第２連通流路７８が形成されており、該ボディ７５の先端部には、前記弁室７４に対する該第２連通流路７８の開口部を形成する筒状開口部７５ｂが設けられている。そして、該筒状開口部７５ｂの先端（すなわち、流路形成用ボディ７５の先端）であって、前記第２連通流路７８の開口部周りには、前記弁体７６が接離する環状の第２弁座７５ａが形成されている。

【0051】

前記第２連通流路７８は、前記流路形成用ボディ７５の先端から基端側へと第２軸Ｌ２に沿って直線状に延びる軸方向流路部７８ａと、該ボディ７５を径方向に貫通して該軸方向流路部７８ａと直角に交わる径方向流路部７８ｂとから形成されている。また、該径方向流路部７８ｂの両端は、前記流路形成用ボディ７５と弁取付穴７３との間に形成された環状流路７９に開口しており、該環状流路部７９を通じて前記第３弁開口７２に連通されている。このとき、第２軸Ｌ２方向における前記環状流路７９の両側にはシール部材Ｓ，Ｓが設けられていて、それにより、流路形成用ボディ７５と弁取付穴７３との間が気密にシールされている。

【0052】

前記弁体７６は、前記弁室７４における前記第１連通流路７７の開口部と前記第２通流路７８の開口部（すなわち、第２弁座７５ａ）との間に、第２軸Ｌ２方向に対して往復動自在に配置されている。すなわち、該弁体７６は、該弁室７４を、前記第１連通流路７７が接続された部分（第１室）７４ｂと、前記第２弁座が配された部分（第２室）７４ｃとに区画している。そして、該弁体７６は、前記第１弁座７４ａに接離するリップ状に形成された環状の逆止弁部７６ａと、前記第２弁座７５ａに接離するポペット弁部７６ｂとによって一体に形成されている。

【0053】

より具体的に説明すると、該弁体７６は、ゴム弾性を有する樹脂材料によって一体成型されたもので、前記ポペット弁部７６ｂは、第２軸Ｌ２上に配されており、該ポペット弁部７６ｂにおける前記第２室７４ｃ側の面（すなわち、第２弁座７５ａに接離する面）の中央部分が、該第２室７４ｃ側に向けて隆起している。また、前記逆止弁部７６ａは、前記ポペット弁部７６ｂにおける第２軸Ｌ２周りの外周部から前記第２室７４ｃ側に向けて、前記第１弁座７４ａに沿うように拡開する円錐筒状に形成されている。そして、該逆止弁部７６ａにより、第１室７４ｂ側から第２室７４ｃ側への気体の流れは許容される（図４（ａ）参照）一方で、第２室７４ｃ側から第１室７４ｂ側への気体の流れは遮断される（図４（ｂ）参照）ようになっている。

【0054】

さらに、前記弁室７４の第２室７４ｃは、前記筒状開口部７５ｂの外周面と前記弁取付穴７３の側壁面との間に形成された環状の空隙７４ｄを含んでいる。この環状の空隙７４ｄには、前記第１弁開口７０が接続されており、前記第１ポート２０に入力された圧力が該空隙７４ｄから弁室７４に対して供給されるようになっている。また、図４（ａ）に示すように、前記弁体７６のポペット弁部７６ｂが第２弁座７５ａに着座した状態においては、前記第１弁座７４ａから離間した逆止弁部７６ａがこの空隙７４ｄに収容されるようになっている。

【0055】

前記第２キャップ部３も、第１キャップ部２と同様に、第１軸Ｌ１方向に延びる円柱状のキャップ本体部３３と、その第２端１ｂ側の端面の中央部から軸Ｌ１方向に立設された筒状突部３４とによって一体に形成されている。前記キャップ本体部３３の第１端１ａ側の端面には、前記負圧側及び正圧側フィルタ４，５の第２端１ｂ側の接続部４７ｂ，５７ｂを着脱可能に嵌合させるための前記負圧側及び正圧側嵌合凹部３１，３２が開設されている。前記筒状突部３４内には、クイック継手３５が嵌合されて前記第２ポート３０が形成されている。

【0056】

この第２キャップ部３は、前記キャップ本体部３３の内部に、前記第２軸Ｌ２と平行に延びる前記接続流路３７を有している。該接続流路の一端部には前記負圧側フィルタ４が接続され、その他端部には前記正圧側フィルタ５が接続されている。そして、該接続流路の中央部には前記第２ポート３０が接続されている。すなわち、前記負圧側フィルタ４及び正圧側フィルタ５は、前記第２ポート３０に対して常時連通された状態にある。

【0057】

なお、フィルタ本体部６と第１キャップ部２及び第２キャップ部３とを互いに結合させるにあたっては、フィルタ本体部６のホルダー８に貫設された一対の固定穴８ｅ，８ｅ、第１キャップ部２に貫設された一対の固定穴２６，２６、及び第２キャップ部３に貫設された一対の固定穴３６，３６に対して、図示しない一対のタイロッドを挿通することにより着脱可能に共締めすれば良い。

【0058】

前記ブラケット９は、フィルタ装置１を所定の位置に対して着脱可能に取り付けるためのもので、図３に示すように、該ブラケット９を前記所定の位置に固定するための固定用プレート９０と、該固定用プレート９０の片面から一体に立設されて前記ホルダー８を把持するための第１及び第２把持部９１，９２とを有している。前記固定用プレートは第１軸Ｌ１方向に長い矩形に形成されており、その第１端１ａ側の端部に第１把持部９１が設けられ、第２端１ｂ側の端部に第２把持部９２が設けられている。

【0059】

前記第１把持部９１は、固定用プレート９０における短手の幅方向の両端部から立設された一対の第１把持アーム９１ａ，９１ｂを有しており、前記第２把持部９２も同様にして一対の第２把持アーム９２ａ，９２ｂを有している。そして、前記一対の第１把持アーム９１ａ，９１ｂを前記ホルダー８の第１係合溝８ｃに係合させて、該第１把持部９１で該ホルダー８における第１端１ａ側の端部を挟持し、また、同様にして前記把持アーム９２ａ，９２ｂを前記ホルダー８の第２係合溝８ｄに係合させて、該第２把持部９２で該ホルダー８における第２端１ｂ側の端部を挟持している。

【0060】

次に、上述の構造を有するフィルタ装置１の作用効果について説明する。
まず、図１において、フィルタ装置１の第１ポート２０に負圧源１３から負圧が入力されたときには、図４（ａ）のように、前記第１弁開口７０を通じて弁室７４の第２室７４ｃに負圧が供給される。すると、第１室７４ｂ側の圧力が第２室７４ｃ側の圧力よりも高くなり、前記弁体７６の逆止弁部７６ａが前記第１弁座７４ａから離間すると共に、前記ポペット弁部７６ｂが前記第２弁座７５ａに着座する。その際、前記正圧側フィルタの正圧側第２流路によって前記絞り部が形成されているため、前記第２室における負圧の立上りが早くなり、前記シャトル弁７の応答性を向上させることができる。この状態においては、シャトル弁７の前記第１弁開口７０と第２弁開口７１とが連通されることにより、第１ポート２０が負圧側フィルタ４を通じて第２ポート３０に連通され、該第２ポート３０から負圧が出力される。

【0061】

そうすると、図１の吸着パッド１０から吸引された気体（空気等）が、第２ポート３０から第２キャップ部３内の接続流路３７を通じて負圧側フィルタ４に流入し、図５（ａ）に示すように、該負圧側フィルタ４内において、該気体は、負圧側第２継手４７の負圧側第２流路４８を通じて負圧側環状外流路４３へと導かれ、次いで、負圧側フィルタエレメント４１でろ過されて、その内部流路４１ａへと導かれる。さらに、そのろ過後の気体は、負圧側第１継手４４の負圧側第１流路４５、並びに、シャトル弁７の第２弁開口７１及び第１弁開口７０を順次経て、前記第１ポート２０から前記負圧源１３へと流出する。このように、吸着パッド１０から吸引された気体に混入した塵埃等の異物を前記負圧側フィルタエレメント４１で除去するため、該異物が負圧源１３に侵入するのを防止することができる。

【0062】

逆に、図１において、フィルタ装置１の第１ポート２０に正圧源１４から真空破壊用の正圧が入力されたとき、すなわち、圧縮気体（圧縮空気等）が導入されたときには、図４（ｂ）のように、前記第１弁開口７０を通じて弁室７４の第２室７４ｃに圧縮気体が流入する。すると、第２室７４ｃ側の圧力が第１室７４ｂ側の圧力よりも高くなり、前記弁体７６のポペット弁部７６ｂが前記第２弁座７５ａから離間すると共に、前記逆止弁部７６ａが前記第１弁座７４ａに着座する。この状態においては、シャトル弁７の前記第１弁開口７０と第３弁開口７２とが連通されることにより、第１ポート２０が正圧側フィルタ５を通じて第２ポート３０に連通される。

【0063】

そうすると、前記第１ポート２０から導入された圧縮気体が、シャトル弁７を通じて正圧側フィルタ５に流入し、図５（ｂ）に示すように、該正圧側フィルタ５内において、該気体は、正圧側第１継手５４の正圧側第１流路５５を通じて正圧側環状外流路５３へと導かれ、次いで、正圧側フィルタエレメント５１でろ過されて、その内部流路５１ａへと導かれる。さらに、そのろ過後の気体は、正圧側第２継手５７の正圧側第２流路５８、及び、前記第２キャップ部３内の接続流路３７を順次経て、前記第２ポート３０から前記吸着パッド１０へと流出し、該吸着パッド１０の真空を破壊する。このように、正圧源１４からの圧縮気体に混入した塵埃等の異物を前記正圧側フィルタエレメント５１で除去するため、真空破壊と共に該異物が吸着パッド１０から放出されるのを防止することができる。

【0064】

以上のように、本発明の一実施形態に係るフィルタ装置１によれば、第１ポート２０に入力される圧力が負圧又は正圧に選択的に切り換えられたときに、該フィルタ装置１に流入する気体から異物を除去する負圧側及び正圧側フィルタ４，５の切り換えを、単一の弁体７６によって３つの弁開口７０，７１，７２の連通状態を切り換えるシャトル弁７で行うようにしたため、より簡単で合理的な流路構造を備えたフィルタ装置１を提供することが可能となる。

【0065】

以上、本発明に係るフィルタ装置の一実施形態について詳細に説明してきたが、本実施形態においては、例えば、第１及び第２ポート２０，３０の継手を、クイック継手２５．３５に替えてネジによる継手にしてもよく、フィルタエレメント４１，５１についても、円筒状のものに替えて円柱状のものにしてもよい。

【符号の説明】

【0066】

１ フィルタ装置
１ａ 第１端
１ｂ 第２端
２ 第１キャップ部
２０ 第１ポート
２１ 負圧側嵌合凹部
２２ 正圧側嵌合凹部
２３ キャップ本体部
２４ 筒状突部
２５ クイック継手
２６ 固定穴
３ 第２キャップ部
３０ 第２ポート
３１ 負圧側嵌合凹部
３２ 正圧側嵌合凹部
３３ キャップ本体部
３４ 筒状突部
３５ クイック継手
３６ 固定穴
３７ 接続流路
４ 負圧側フィルタ
４０ 負圧側流路
４１ 負圧側フィルタエレメント
４１ａ 内部流路
４２ 負圧側フィルタケース
４３ 負圧側環状外流路
４４ 負圧側第１継手
４４ａ 本体部
４４ｂ 接続部
４４ｃ 嵌合部
４５ 負圧側第１流路
４７ 負圧側第２継手
４７ａ 本体部
４７ｂ 接続部
４７ｃ 嵌合部
４７ｄ 嵌合凸部
４８ 負圧側第２流路
４８ａ 軸方向流路部
４８ｂ 径方向流路部
５ 正圧側フィルタ
５０ 正圧側流路
５０ａ 絞り部
５１ 正圧側フィルタエレメント
５１ａ 正圧側内部流路
５２ 正圧側フィルタケース
５３ 正圧側環状外流路
５４ 正圧側第１継手
５４ａ 本体部
５４ｂ 接続部
５４ｃ 嵌合部
５４ｄ 嵌合凸部
５５ 正圧側第１流路
５５ａ 軸方向流路部
５５ｂ 径方向流路部
５７ 正圧側第２継手
５７ａ 本体部
５７ｂ 接続部
５７ｃ 嵌合部
５８ 正圧側第２流路
６ フィルタ本体部
７ シャトル弁
７０ 第１弁開口
７１ 第２弁開口
７２ 第３弁開口
７３ 弁取付穴
７４ 弁室
７４ａ 第１弁座
７４ｂ 第１室
７４ｃ 第２室
７４ｄ 空隙
７５ 流路形成用ボディ
７５ａ 第２弁座
７５ｂ 筒状開口部
７６ 弁体
７６ａ 逆止弁部
７６ｂ ポペット弁部
７７ 第１連通流路
７８ 第２連通流路
７８ａ 軸方向流路部
７８ｂ 径方向流路部
７９ 環状流路
８ ホルダー
８ａ 第１嵌合溝
８ｂ 第２嵌合溝
８ｃ 第１係合溝
８ｄ 第２係合溝
８ｅ 固定穴
９ ブラケット
９０ 固定用プレート
９１ 第１把持部
９１ａ，９１ｂ 第１把持アーム
９２ 第２把持部
９２ａ，９２ｂ 第２把持アーム
１０ 吸着パッド
１１，１２ 電磁パイロット式切換弁
１３ 負圧源（エジェクタ装置）
１４ 正圧源（コンプレッサ）
１５ 流路
Ｌ１ 第１軸
Ｌ２ 第２軸
Ｓ シール部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】