特開2021-26870ビームプロファイルの判定方法およびイオンビーム照射装置

発明の名称　ビームプロファイルの判定方法およびイオンビーム照射装置

出願人　日新イオン機器株式会社　（識別番号 302054866）

　　　　特許公開件数ランキング 940 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1186 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-26870

公報発行日　2021年2月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-26870

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