特開2021-63266基板回転装置

発明の名称　基板回転装置

出願人　サンテック株式会社　（識別番号 591102693）

　　　　特許公開件数ランキング 11967 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3310 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-63266

公報発行日　2021年4月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-63266

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