特開2021-65052プラズマ装置用直流パルス電源装置

発明の名称　プラズマ装置用直流パルス電源装置

出願人　京都電機器株式会社　（識別番号 392026888）

　　　　特許公開件数ランキング 7168 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5723 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-65052

公報発行日　2021年4月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-65052

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