特開2021-68694プラズマ源

発明の名称　プラズマ源

出願人　株式会社イー・エム・ディー　（識別番号 505402581）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-68694

公報発行日　2021年4月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-68694

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