特開2021-80131単結晶成長装置、該単結晶成長装置の使用方法および単結晶成長方法

発明の名称　単結晶成長装置、該単結晶成長装置の使用方法および単結晶成長方法

出願人　ＦＴＢ研究所株式会社　（識別番号 511107119）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-80131

公報発行日　2021年5月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-80131

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