特開2021-80141(P2021-80141A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2021-80141酸化ガリウム単結晶の製造方法及び製造装置
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  • 特開2021080141-酸化ガリウム単結晶の製造方法及び製造装置 図000003
  • 特開2021080141-酸化ガリウム単結晶の製造方法及び製造装置 図000004
  • 特開2021080141-酸化ガリウム単結晶の製造方法及び製造装置 図000005
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