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特開2021-84818(P2021-84818A)
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特開
2021-84818
ＩＩＩ族窒化物半導体基板及びＩＩＩ族窒化物半導体層
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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