特開 2021-89130 乾燥装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-89130(P2021-89130A)

(43)【公開日】2021年6月10日

(54)【発明の名称】乾燥装置

(51)【国際特許分類】

   F26B 21/00 20060101AFI20210514BHJP

   F26B 15/00 20060101ALI20210514BHJP

【ＦＩ】

   F26B21/00 N

   F26B15/00 D

【審査請求】有

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2020-139294(P2020-139294)

(22)【出願日】2020年8月20日

(31)【優先権主張番号】特願2019-213446(P2019-213446)

(32)【優先日】2019年11月26日

(33)【優先権主張国】JP

(71)【出願人】

【識別番号】394025371

【氏名又は名称】株式会社マックステック

(74)【代理人】

【識別番号】110001726

【氏名又は名称】特許業務法人綿貫国際特許・商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 俊介

【テーマコード（参考）】

3L113

【Ｆターム（参考）】

3L113AA03

3L113AB02

3L113AC08

3L113AC52

3L113AC67

3L113AC76

3L113AC77

3L113BA34

3L113DA19

(57)【要約】

【課題】乾燥室の室内空間を有効に利用しかつワークを移載する移送機構のガイド孔から熱気が漏れ出すのを防いで熱効率の改善を図った乾燥装置を提供する。
【解決手段】ワーク移送機構６を作動させて吊り下げロッド６ｂがガイド孔４ａに沿って移動すると、可動遮蔽板１０が耐熱遮蔽ベルト８の内周面上を所定長スライドしてガイド孔４ａの一部を塞ぎ、吊り下げロッド６ｂが第二ベルト孔８ｂの端部に突き当たると耐熱遮蔽ベルト８が所定長回転して可動遮蔽板１０に連続してガイド孔４ａの残余を覆う。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

薄板状のワークがキャリヤに保持されたまま非接触で乾燥室内を移送される間に所定の温度プロファイルで順次ワーク両面の乾燥が行われる乾燥装置であって、
前記ワークを載置したキャリヤを乾燥室内で昇降させる複数の昇降機構と、
前記乾燥室の天板部には、前記昇降機構間でワークを保持して移送するワーク保持部が吊り下げロッドにより吊り下げ支持されたワーク移送機構と、を備え、
前記天板部には吊り下げロッドが往復動する範囲にガイド孔が設けられ、かつ無端状の耐熱遮蔽ベルトが前記天板部の長手方向内面及び外面に沿って移動可能に配置されており、前記耐熱遮蔽ベルトの対向辺部には前記吊り下げロッドが挿入されかつ長さが異なるベルト孔が各々形成され、前記耐熱遮蔽ベルトの内周面には、前記吊り下げロッドと共に移動可能な可動遮蔽板がスライド可能に重ねて設けられており、
前記ワーク移送機構を作動させて前記吊り下げロッドがガイド孔の一端側から他端側へ移動すると、前記可動遮蔽板が前記耐熱遮蔽ベルトの内周面上を所定長スライドして前記ガイド孔の一部を塞ぎ、前記吊り下げロッドが前記ベルト孔の端部に突き当たると前記耐熱遮蔽ベルトを所定長従動回転させて前記可動遮蔽板に連続して前記ガイド孔の残余を覆うことを特徴とする乾燥装置。

【請求項2】

前記耐熱遮蔽ベルトの対向する天板上辺部には前記ガイド孔以上の長さの第一ベルト孔が形成され、天板下辺部には前記ガイド孔より長さが短い第二ベルト孔が各々形成されており、前記可動遮蔽板は前記耐熱遮蔽ベルトの内周面に前記第二ベルト孔に重ねて配置されている請求項１又は請求項２記載の乾燥装置。

【請求項3】

前記ワーク移送機構の吊り下げロッドが、前記第二ベルト孔の端部に係止すると前記第一ベルト孔と前記第二ベルト孔間の平板状の遮蔽ベルトが前記可動遮蔽板に連続する位置まで引き出されて前記ガイド孔の残余を覆う請求項２記載の乾燥装置。

【請求項4】

前記ガイド孔の長さをＬ１、前記耐熱遮蔽ベルトの対向辺に設けられたベルト孔端部間の平板状のベルト長をＬ２、前記可動遮蔽板の前記吊り下げロッドの貫通孔から遮蔽板端部までの長さをＬ３とするとＬ１≦Ｌ２＋Ｌ３となるように形成されている請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の乾燥装置。

【請求項5】

前記昇降機構は、前記ワークを載置したキャリヤを前記乾燥室の底部から天板部に向かって上昇させながら積層する第一昇降機構と、前記ワーク移送機構により最上側のワークが前記第一昇降機構から順次移載されて下降させながら積層する第二昇降機構を少なくとも一対備えている請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の乾燥装置。

【請求項6】

ワークを載置したキャリヤを第一昇降機構の下方の第一位置で昇降させて当該第一昇降機構の最下層に受け渡し、第二昇降機構の下方の第二位置で当該第二昇降機構の最下層より乾燥後のワークを載置したキャリヤを受け取って下降して取り出す動作を繰り返すキャリヤ昇降機構を前記第一位置と前記第二位置とで移動可能に設けた請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の乾燥装置。

【請求項7】

ワークを載置したキャリヤを第一昇降機構の下方の第一位置で昇降させて当該第一昇降機構の最下層に受け渡す第一キャリヤ昇降機構と、第二昇降機構の下方の第二位置で乾燥後のワークを載置したキャリヤを昇降させる第二キャリヤ昇降機構と、キャリヤを第二位置から第一位置へ戻して再利用するキャリヤ戻し機構を備えた請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の乾燥装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークとして例えば板状の精密部品、基板等の電子精密部品にコーティングされた保護層などの加熱・乾燥工程に用いられる乾燥装置に関する。

【背景技術】

【0002】

本件出願人は、ワークとして基板等電子精密部品の製造工程でワーク乾燥室に発塵要因や熱劣化の要因となるチェーンやコンベアベルトを設けることなくワークの移送を行う乾燥装置をすでに提案した。この乾燥装置は、密閉された室内に収容されたワークを移送しながら乾燥するワーク乾燥室と、該ワーク乾燥室を閉止する仕切プレートから室内に挿入され、該ワークを支持したまま、該仕切プレートに形成されたガイド孔に沿って往復動する吊り下げロッドと、該ガイド孔に重ねて設けられ、該吊り下げロッドが貫通して、該吊り下げロッドと共にスライドするスライドプレートと、該スライドプレートの両側に、該スライドプレートのスライド動作に伴い開口する該ガイド孔の開口部を覆うように従動する従動プレートが設けられている（特許文献１参照）。これにより、乾燥室の仕切プレートに設けられたガイド孔より熱気が放出されるのを防いで熱効率の向上を図り、駆動機構への熱害を防いでいる。

【0003】

また、平板上のワークを乾燥室内に積層して収容することで小型化を図り、収容中または搬送中のワークの汚損を防止するワーク加熱冷却装置を提案した。保温室内でワークを、板面を対向させて所定の間隔を空けて並列状態に積層させて周回させながら、該ワークを均熱状態で保温している（特許文献２参照）。これにより保温室内にチェーンやベルトを設けてワークを搬送するといった機構を採用せずに、モータとボールネジ（もしくはシリンダとピストン）による昇降機構を動力源とし、且つ、それらの昇降機構を保温室の下方の室外に設置する構成により、ワークの昇降を実現している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−１９８２０号公報

【特許文献2】特開２００９−１２１７３２号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、ワークのサイズが大型化すると、乾燥室内に積載して収容されたワークを乾燥室内で循環させて移送する場合、移送機構の移動量が多くなる。この場合、乾燥室の室外に設けられる移動機構と乾燥室内に設けられるワーク保持部を連結する吊り下げロッドが移動する長孔状のガイド孔を特許文献１に示す従動プレートだけでは塞ぐことができなくなる。

【0006】

また、特許文献２の保温室において、ワークを上昇しながら積載する第一のワーク積載部の最上層からワークを保持して第二のワーク積載部の最上層にワークを移載してワークを下降しながら取り出してワークを循環させている。このとき、保温室両側面を貫通してスライドシャフトが移動するためスリット状の貫通孔が形成されており、保温室の熱気が室外に漏れて冷却されやすい。
また、保温室内の上部空間を移送機構が突き抜けて配置され、保温室を移動空間として使用するため、保温室の室内空間を有効利用できず、熱効率が低下しやすい。
特に、ワークを乾燥する場合に溶剤等が気化しており、乾燥室内の温度が低下すると液化して移送機構に付着しワークの汚損が発生するおそれがある。
また、乾燥前のワークを連続して乾燥室に搬入し乾燥後のワークを乾燥室から取り出す動作を効率良く行って、作業効率を高めたいというニーズもある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、乾燥室の室内空間を有効に利用しかつワークを移載する移送機構のガイド孔から熱気が漏れ出すのを防いで熱効率の改善を図ると共に作業効率を向上させた乾燥装置を提供することにある。

【0008】

本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
薄板状のワークがキャリヤに保持されたまま非接触で乾燥室内を移送される間に所定の温度プロファイルで順次ワーク両面の乾燥が行われる乾燥装置であって、前記ワークを載置したキャリヤを乾燥室内で昇降させる複数の昇降機構と、前記乾燥室の天板部には、前記昇降機構間でワークを保持して移送するワーク保持部が吊り下げロッドにより吊り下げ支持されたワーク移送機構と、を備え、前記天板部には吊り下げロッドが往復動する範囲にガイド孔が設けられ、かつ無端状の耐熱遮蔽ベルトが前記天板部の長手方向内面及び外面に沿って移動可能に配置されており、前記耐熱遮蔽ベルトの対向辺部には前記吊り下げロッドが挿入されかつ長さが異なるベルト孔が各々形成され、前記耐熱遮蔽ベルトの内周面には、前記吊り下げロッドと共に移動可能な可動遮蔽板がスライド可能に重ねて設けられており、前記ワーク移送機構を作動させて前記吊り下げロッドがガイド孔の一端側から他端側へ移動すると、前記可動遮蔽板が前記耐熱遮蔽ベルトの内周面上を所定長スライドして前記ガイド孔の一部を塞ぎ、前記吊り下げロッドが前記ベルト孔の端部に突き当たると前記耐熱遮蔽ベルトを所定長従動回転させて前記可動遮蔽板に連続して前記ガイド孔の残余を覆うことを特徴とする。

【0009】

上記構成によれば、ワーク移送機構を作動させて吊り下げロッドがガイド孔に沿って移動すると、可動遮蔽板が耐熱遮蔽ベルトの内周面上を所定長スライドしてガイド孔の一部を塞ぎ、吊り下げロッドがベルト孔の端部に突き当たると耐熱遮蔽ベルトを所定長従動回転させて可動遮蔽板に連続してガイド孔の残余を覆う。このように天板部のガイド孔の長さに応じて可動遮蔽板と耐熱遮蔽ベルトとを組み合わせて遮蔽することで、吊り下げロッドの移動量が増えても、ガイド孔から熱気が乾燥室外へ漏れ出すのを防ぐことができ、熱効率の改善を図ることができる。
また、乾燥室の天板部には吊り下げロッドが往復動する範囲にガイド孔が設けられ、かつ無端状の耐熱遮蔽ベルトが天板部の内面及び外面に沿って移動可能に配置されているので、天板部近傍までワークを収容することができ、乾燥室の室内空間を広く有効に利用することができる。

【0010】

前記耐熱遮蔽ベルトの対向する天板上辺部には前記ガイド孔以上の長さの第一ベルト孔が形成され、天板下辺部には前記ガイド孔より長さが短い第二ベルト孔が各々形成されており、前記可動遮蔽板は前記耐熱遮蔽ベルトの内周面に前記第二ベルト孔に重ねて配置されていてもよい。
この場合、耐熱遮蔽ベルトの第一ベルト孔は吊り下げロッドの移動に干渉することがなく、第二ベルト孔は移動ロッドの移動に合わせて可動遮蔽板に連続する位置まで耐熱遮蔽ベルトを引き出すことができる。よって簡易な構成でガイド孔を塞ぐことができる。

【0011】

具体的には前記ワーク移送機構の吊り下げロッドが、前記第二ベルト孔の端部に係止すると前記第一ベルト孔と前記第二ベルト孔間の平板状の遮蔽ベルトが前記可動遮蔽板に連続する位置まで引き出されて前記ガイド孔の残余を覆うようにしてもよい。
これにより、ガイド孔の長さに応じて可動遮蔽板と耐熱遮蔽ベルトの長さを組み合わせて遮蔽することができる。

【0012】

前記ガイド孔の長さをＬ１、前記耐熱遮蔽ベルトの対向辺に設けられたベルト孔端部間の平板状のベルト長をＬ２、前記可動遮蔽板の前記吊り下げロッドの貫通孔から遮蔽板端部までの長さをＬ３とするとＬ１≦Ｌ２＋Ｌ３となるように形成されていることが好ましい。
これにより、天板部に設けられたガイド孔長Ｌ１を平板状の耐熱遮蔽ベルト長Ｌ２と可動遮蔽板長さＬ３で確実に覆うことができる。

【0013】

前記昇降機構は、前記ワークを載置したキャリヤを前記乾燥室の底部から天板部に向かって上昇させながら積層する第一昇降機構と、前記ワーク移送機構により最上側のワークが前記第一昇降機構から順次移載されて下降させながら積層する第二昇降機構を少なくとも一対備えていてもよい。
これにより、乾燥室内にワークを載置したキャリヤを第一昇降機構に積層収容して最上側のワークがワーク移送機構により第二昇降機構に移送して下降させながら積層することでワークを乾燥室内で効率よく循環させて乾燥させることができる。

【0014】

ワークを載置したキャリヤを第一昇降機構の下方の第一位置で昇降させて当該第一昇降機構の最下層に受け渡し、第二昇降機構の下方の第二位置で当該第二昇降機構の最下層より乾燥後のワークを載置したキャリヤを受け取って下降して取り出す動作を繰り返すキャリヤ昇降機構を前記第一位置と前記第二位置とで移動可能に設けてもよい。
これにより、キャリヤ昇降機構により乾燥前のワークを第一昇降機構に受け渡し乾燥後のワークを第二昇降機構から受け取る動作を繰り返し行って、作業効率を高めることができる。

【0015】

ワークを載置したキャリヤを第一昇降機構の下方の第一位置で昇降させて当該第一昇降機構の最下層に受け渡す第一キャリヤ昇降機構と、第二昇降機構の下方の第二位置で乾燥後のワークを載置したキャリヤを昇降させる第二キャリヤ昇降機構と、キャリヤを第二位置から第一位置へ戻して再利用するキャリヤ戻し機構を備えていてもよい。
これにより、第一キャリヤ昇降機構により乾燥前のワークをキャリヤに載置したまま第一昇降機構に保持させ、第二キャリヤ昇降機構により乾燥後のワークを載置したまま取り出し、キャリヤ戻し機構により空のキャリヤを第二位置から第一位置へ戻して再利用する動作を繰り返すことで、タクトタイムの短縮化を図り、作業効率を向上させることができる。

【発明の効果】

【0016】

上述した乾燥装置を用いれば、乾燥室の室内空間を有効に利用しかつワークを移載する移送機構のガイド孔から熱気が漏れ出すのを防いで熱効率の改善を図ると共に作業効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】乾燥装置の内部構成を透視した平面図及び正面図である。

【図2】図１の乾燥装置の内部構成を透視した側面図である。

【図3】キャリヤの平面図、正面図及び側面図である。

【図4】乾燥装置の天板部に設けられるワーク移送機構の構成を示す説明図である。

【図5】図４のキャリヤ取り出し部の左側の上視図である。

【図6】図５の断熱遮蔽ベルトの動作説明図である。

【図7】図１の乾燥室内部に備えた昇降機構の説明図である。

【図8】他例に係る乾燥室内部に備えた昇降機構の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明に係る乾燥装置の実施形態について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態では、ワークとして薄板状精密部品の製造工程で用いられる乾燥装置を例示して説明する。

【0019】

図１及び図２を参照して、乾燥装置の概略構成について説明する。
乾燥装置１は、薄板状のワークＷがキャリヤＫに保持されたまま乾燥室（加熱炉）２内を非接触で移送される間に所定の温度プロファイルにしたがって順次ワーク両面の乾燥が行われる。図１Ｂにおいて、両面コーティングされてワーク供給位置ＰにセットされたワークＷは、プッシャー３によって乾燥室２内の昇降機構に供給される。
乾燥室２にはワークＷを載置したキャリヤＫを乾燥室２の底部から天板部４に向かって上昇させながら積層する第一昇降機構５と、ワーク移送機構６により最上側のワークＷが第一昇降機構５から順次移載されて下降させながら積層する第二昇降機構７を少なくとも一対備えている。ワーク供給位置ＰにセットされたワークＷは、プッシャー３によって第一昇降機構５の下方に待機するキャリヤ昇降機構１１のキャリヤＫ上に供給される。

【0020】

第一昇降機構５及び第二昇降機構７の下方には、キャリヤ昇降機構１１が移動可能に設けられている。キャリヤ昇降機構１１は、スライダーにより支持されており、第一昇降機構５の下方の第一位置と第二昇降機構７の下方の第二位置との間で移動可能に設けられている。キャリヤ昇降機構１１は、電動アクチュエータ１１ａによりキャリヤＫを支持するリフター１１ｂを昇降させるようになっている。キャリヤ昇降機構１１は、ワークＷを載置したキャリヤＫを第一昇降機構５の下方の第一位置で昇降させて当該第一昇降機構５の最下層に受け渡す。また、第二昇降機構７の下方の第二位置で当該第二昇降機構７の最下層より乾燥後のワークＷを載置したキャリヤＫを受け取って下降してワークＷを取り出す動作を繰り返す。これにより、キャリヤ昇降機構１１により乾燥前のワークＷを第一昇降機構５に受け渡し乾燥後のワークＷを第二昇降機構７から受け取る動作を繰り返し行って、作業効率を高めることができる。

【0021】

図１Ｂ及び図２に示すように、乾燥室２の天板部４には、第一昇降機構５から第二昇降機構７へワークＷを移送するワーク移送機構６が設けられている。ワーク移送機構６はワークＷを載置するキャリヤＫを保持して移送するワーク保持部６ａが吊り下げロッド６ｂにより吊り下げ支持されている。図２に示すように乾燥室２の背面側には室内温度を１５０℃以下で加熱するヒータ２ａや熱風を循環させるブロワ２ｂなどが設けられている。

【0022】

図４において、ワーク移送機構６は、天板部４の上面（外面）にワーク保持部６ａの駆動機構６ｃを備えている。駆動機構６ｃとしてはサーボモータによりボールねじを正逆回転駆動し、ボールねじに嵌合するナットを介してスライダー６ｄを往復動させる電動アクチュエータ等が好適に用いられる。スライダー６ｄに固定された支持部材６ｅに昇降シリンダ６ｆが支持されている。支持部材６ｅの長手方向両側にはガイドロッド６ｅ１が各々設けられている。昇降シリンダ６ｆのシリンダロッド６ｇの先端は水平支持板６ｈに連結されている。ガイドロッド６ｅ１の他端部は水平支持板６ｈに固定され、水平支持板６ｈの昇降動作をガイドしている。水平支持板６ｈには一対の吊り下げロッド６ｂの上端側が天板部４の外側で連結されている。一対の吊り下げロッド６ｂは、天板部４の長手方向に形成されたガイド孔４ａ（貫通孔）を貫通して乾燥室２内に挿入されている。一対の吊り下げロッド６ｂの下端部には第一水平アーム６ｉが連結されている。第一水平アーム６ｉに直交するように一対の第二水平アーム６ｊが組み付けられており、各第二水平アーム６ｊの両端には保持ロッド６ｋが合計４本吊り下げ支持されている。各保持ロッド６ｋの下端部には保持爪６ｋ１が設けられている。上記第一，第二水平アーム６ｉ，６ｊ及び保持ロッド６ｋによりワーク保持部６ａが構成されている。
ワーク移送機構６は、ワーク保持部６ａを昇降シリンダ６ｆにより昇降させ、駆動機構６ｃによりスライダー６ｄをスライド移動させてワーク保持部６ａを乾燥室２の上空間で移動させ、後述するようにワークＷを載置したキャリヤＫを第一昇降機構５側から第二昇降機構７側へ移送する。

【0023】

図３Ａに示すように、ワークＷを載置する矩形状キャリヤＫの長手方向両側面部には保持爪６ｋ１が係止する係止穴Ｋ１が合計４か所に形成されている。この係止穴Ｋ１に保持ロッド６ｋの保持爪６ｋ１を係止させてワークＷをキャリヤＫと共に保持して第一昇降機構５から第二昇降機構７へ移送するようになっている。尚、図３Ｂに示すように矩形状キャリヤＫの四隅にはスペーサＫ２が突設されている。
各スペーサＫ２の上部にはピンＫ３が突設され、下部にはピンＫ３と嵌合するピン孔Ｋ４が設けられている。図３Ｃに示すようにキャリヤＫどうしは四隅のスペーサＫ２どうしをピンＫ３とピン孔Ｋ４が嵌合するように連結することで、ワークＷどうしが非接触で積層支持されるようになっている。

【0024】

図４乃至図６を参照してワーク移送機構６の移動に伴う天板部４のシール構造について説明する。図４に示すように、天板部４には吊り下げロッド６ｂが往復動する範囲にガイド孔４ａが設けられている。このガイド孔４ａは何ら手当しないと乾燥室２内の熱気が逃げて室内温度が低下するおそれがある。そこで以下のシール構造が設けられている。
天板部４の長手方向両端部には、一対の搬送ローラ４ｂが回転自在に設けられている。一対の搬送ローラ４ｂには、無端状の耐熱遮蔽ベルト８が天板部４の長手方向内面及び外面に沿って移動可能に架設されている。耐熱遮蔽ベルト８は天板部４に設けられたガイド孔４ａと内面及び外面で重なる位置に設けられている。耐熱遮蔽ベルト８は、金属ベルト、樹脂ベルト等様々な材料が用いられるが、本実施例では、耐熱性や加工し易さからモノマーキャストナイロン樹脂（登録商標：ＭＣナイロン）が用いられる。搬送ローラ４ｂは平ベルト用のローラであっても、歯付プーリであっても或いはスプロケットホイール等であってもよい。

【0025】

図５Ａ，Ｂに示すように、耐熱遮蔽ベルト８の対向辺部には一対の吊り下げロッド６ｂが挿入されかつ長さが異なる第一ベルト孔８ａ及び第二ベルト孔８ｂが各々形成されている。具体的には、耐熱遮蔽ベルト８の対向する天板上辺部４ｃにはガイド孔４ａ以上（Ｌ１以上）の長さＬα（図５Ａ参照）の第一ベルト孔８ａが形成されている。また、天板下辺部４ｄにはガイド孔４ａより長さが短い長さＬβ（図５Ｂ参照）の第二ベルト孔８ｂが各々形成されている。
また、天板下辺部４ｄ対向する耐熱遮蔽ベルト８の内周面上には、長尺状の平板である可動遮蔽板１０が第二ベルト孔８ｂに重ねて設けられている。この可動遮蔽板１０は中央部に一対の吊り下げロッド６ｂが貫通しており、吊り下げロッド６ｂが移動すると可動遮蔽板１０が耐熱遮蔽ベルト８に重なったままスライドするようになっている。可動遮蔽板１０は、耐熱遮蔽ベルト８の内周面に長手方向に設けられた凹溝に沿ってスライド可能に設けられているのが好ましい。

【0026】

図５Ｂに示すように、ガイド孔４ａの長さをＬ１、耐熱遮蔽ベルト８の対向辺のベルト孔端部間の平板状のベルト長をＬ２、可動遮蔽板１０の吊り下げロッド６ｂの貫通孔から可動遮蔽板１０の端部までの長さをＬ３とすると、Ｌ１≦Ｌ２＋Ｌ３となるように形成されている。図６Ａに示すように、ワーク移送機構６を作動させて吊り下げロッド６ｂがガイド孔４ａの左端部から右端部に向かって移動すると、可動遮蔽板１０が耐熱遮蔽ベルト８の内周面に沿って第二ベルト孔８ｂ上を所定長（Ｌβ）だけスライドして、吊り下げロッド６ｂが第二ベルト孔８ｂの右端部に突き当たると可動遮蔽板１０がガイド孔４ａの一部を覆う。図６Ｂに示すように、吊り下げロッド６ｂが更にガイド孔４ａの右端部まで移動すると、耐熱遮蔽ベルト８が所定長Ｌ４だけ反時計回り方向に回転して可動遮蔽板１０（左半分：長さＬ３）に連続して耐熱遮蔽ベルト８の平板部（長さＬ２に相当する部分）がガイド孔４ａの直下に引き出されてガイド孔４ａを覆う可動遮蔽板１０の残余を覆う。これにより、耐熱遮蔽ベルト８の第一ベルト孔８ａは吊り下げロッド６ｂの移動に干渉することがなく、第二ベルト孔８ｂは吊り下げロッド６ｂの移動に合わせて可動遮蔽板１０に連続する位置まで耐熱遮蔽ベルト８を引き出すことができる。

【0027】

このようにガイド孔４ａの長さに応じて可動遮蔽板１０と耐熱遮蔽ベルト８とを組み合わせて遮蔽することで、吊り下げロッド６ｂの移動量が増えても、簡易な構成でガイド孔４ａから乾燥室２内の熱気が室外へ漏れ出すのを防ぐことができ熱効率の改善を図ることができる。
また、乾燥室２の天板部４には吊り下げロッド６ｂが往復動する範囲にガイド孔４ａが設けられ、かつ無端状の耐熱遮蔽ベルト８が天板部４の内面及び外面に沿って移動可能に配置されているので、天板部近傍までワークＷを収容することができ、乾燥室２の室内空間を広く有効に利用することができる。

【0028】

ここで、ワークＷの乾燥室２への搬送動作について説明すると、前工程においてワークＷは薄板両面にレジスト等の保護層が印刷或いは塗布により両面コーティングされている。図１Ｃに示すように、ワーク供給位置ＰにセットされたワークＷは、プッシャー３によって第一昇降機構５の下方に待機するキャリヤ昇降機構１１に支持されたキャリヤＫ上に供給される。

【0029】

図７に示すように、ワークＷは最下部にあるキャリヤＫに搬入されるが、最下部以外のキャリヤＫに搬入させる機構としてもよい。このとき、最下部のキャリヤＫよりも一つ上方に位置するキャリヤＫはフック形状の第一保持爪５ａにより支持されており、それによって、上方に積層されているキャリヤ積層体が支持されている。第一保持爪５ａは、キャリヤＫの両側に配置され、高さ方向に移動可能に支持され、任意の高さ位置で開閉操作される。尚、第一保持爪５ａは高さ方向に複数箇所に設けられていてもよい。

【0030】

次に、キャリヤ昇降機構１１の電動アクチュエータ１１ａを作動させてリフター１１ｂを上昇させてワークＷを載置したキャリヤＫがキャリヤ支持部５ｂに支持された最下部のキャリヤＫに替わって押し上げられる。最下部のキャリヤＫが、その一つ上方に位置するキャリヤＫと密着したところで、当該キャリヤＫの下部に引っ掛けてあるフック形状の第一保持爪５ａをキャリヤＫから離れる方向に回動させ、キャリヤ積層体の支持を解放する。キャリヤＫ１個分の高さ、第一昇降機構５によるキャリヤＫの上昇が行われたところで、第一保持爪５ａを最下部のキャリヤＫに近づける方向に回動させることによって、再度上方に積層されているキャリヤ積層体が支持される。以上の動作を繰り返すことでワークＷを載置したキャリヤＫが順次第一昇降機構５に積層支持される。キャリヤ昇降機構１１は、電動アクチュエータ１１ａを作動させて下降し、図示しないスライダーが動作して第一位置から第二昇降機構７の下方である第二位置へ移動する。キャリヤ昇降機構１１は、再度電動アクチュエータ１１ａを作動させてリフター１１ｂを上昇位置へ移動させて待機する。

【0031】

第一昇降機構５に積層支持された最上部のキャリヤＫは、前述したように、ワーク移送機構６のワーク保持部６ａによって保持され、隣接する第二昇降機構７に設けられた第二保持爪７ａに受け渡される。第二保持爪７ａは、キャリヤＫの両側に配置され、高さ方向に移動可能に支持され、任意の高さ位置で開閉操作される。尚、第二保持爪７ａも高さ方向に複数設けられていてもよい。

【0032】

上記ワーク移送機構６によりキャリヤ移送動作を繰り返すことにより、第二昇降機構７側にキャリヤ積層体が積層支持される。第二昇降機構７上に所定数のワークＷを支持したキャリヤＫが積層支持されると、キャリヤ昇降機構１１のリフター１１ｂが上昇してキャリヤ支持部７ｂに支持された最下部のキャリヤＫに密着して押し上げる。最下部のキャリヤＫにリフター１１ｂが密着したところで、当該キャリヤＫの下部に引っ掛けてあるフック形状の第二保持爪７ａをキャリヤＫから離れる方向に回動させ、キャリヤ積層体の支持を一旦解放する。第二保持爪７ａを最下部より一つ上のキャリヤＫに近づける方向に回動させることによって、再度それより上方に積層されているキャリヤ積層体が支持される。最下部のキャリヤＫはワークＷを載置したままリフター１１ｂに受け渡される。リフター１１ｂに受け渡された最下部のキャリヤＫは所定位置まで下降して、図示しない取り出し機構によりワークＷのみが乾燥室２より取り出される。キャリヤ昇降機構１１は、キャリヤＫを支持したまま第二昇降機構７の下方の第二位置から、第一昇降機構５の下方の第一位置へ移動して同様の動作を繰り返す。図１Ａに、乾燥室２内のワークＷの流れを直線的な矢印で示し、キャリヤＫの流れを周回する矢印にて示した。

【0033】

以上の動作を繰り返すことでワークＷを載置したキャリヤＫの乾燥室２内における搬送動作が繰り返される。尚、上記第一昇降機構５側のキャリヤＫの上昇動作と第二昇降機構７側のキャリヤＫの下降動作を並行しても連続動作により行なってもいずれでもよい。

【0034】

図８に他例に係る乾燥室２内部に備えた昇降機構の構成例を示す。図７は、キャリヤ昇降機構１１を第一昇降機構５と第二昇降機構７の下方位置で移動可能に設けていたが、第一昇降機構５と第二昇降機構７の下方に各々設けてもよい。
即ち、ワークＷを載置したキャリヤＫを第一昇降機構５の下方の第一位置で昇降させて当該第一昇降機構５の最下層に受け渡す第一キャリヤ昇降機構１２と、第二昇降機構７の下方の第二位置で乾燥後のワークＷを載置したキャリヤＫを昇降させる第二キャリヤ昇降機構１３と、キャリヤＫを第二位置から第一位置へ戻して再利用するキャリヤ戻し機構１４を備えている。第一キャリヤ昇降機構１２は、電動アクチュエータ１２ａによりキャリヤＫを支持するリフター１２ｂを昇降させるようになっている。また、第二キャリヤ昇降機構１３は、電動アクチュエータ１３ａによりキャリヤＫを支持するリフター１３ｂを昇降させるようになっている。キャリヤ戻し機構１４は、例えば単軸電動スライダーにより第一位置と第二位置とを往復動させる。キャリヤ戻し機構１４は、リフター１３ｂから第二位置で受け取った空のキャリヤＫをリフター１２ｂ上の第一位置へ単軸電動スライダーによって周回して搬送するようになっている。

【0035】

これにより、第一キャリヤ昇降機構１２により乾燥前のワークＷをキャリヤＫに載置したまま第一位置で第一昇降機構５に保持させ、第二キャリヤ昇降機構１３により乾燥後のワークＷを載置したままキャリヤＫを第二位置で取り出し、キャリヤ戻し機構１４により空のキャリヤＫを第二位置から第一位置へ戻して再利用する動作を繰り返す。これにより、タクトタイムの短縮化を図り、作業効率を向上させることができる。

【0036】

また、上述した実施態様では、乾燥室２内にワーク上昇側である第一昇降機構５とワーク下降側である第二昇降機構７が一対設けられていたが、これに限らず例えば第一昇降機構５によりキャリヤ積層体が形成された後これを乾燥室内で平面移動させて複数保管した後、ワーク移送機構６により第一昇降機構５より第二昇降機構７に移送してワークＷを乾燥室２より取り出すようにしてもよい。

【符号の説明】

【0037】

Ｗ ワーク Ｋ キャリヤ Ｋ１ 係止穴 Ｋ２ スペーサ Ｋ３ ピン Ｋ４ ピン孔 Ｐ ワーク供給位置 １ 乾燥装置 ２ 乾燥室 ２ａ ヒータ ２ｂ ブロワ ３ プッシャー ４ 天板部 ４ａ ガイド孔 ４ｂ 搬送ローラ ４ｃ 天板上辺部 ４ｄ 天板下辺部 ５ 第一昇降機構 ５ａ 第一保持爪 ５ｂ，７ｂ キャリヤ支持部 ６ ワーク移送機構 ６ａ ワーク保持部 ６ｂ 吊り下げロッド ６ｃ 駆動機構 ６ｄ スライダー ６ｅ 支持部材 ６ｆ 昇降シリンダ ６ｇ シリンダロッド ６ｈ 水平支持板 ６ｉ 第一水平アーム ６ｊ 第二水平アーム ６ｋ 保持ロッド ６ｋ１ 保持爪 ７ 第二昇降機構 ７ａ 第二保持爪 ８ 耐熱遮蔽ベルト ８ａ 第一ベルト孔 ８ｂ 第二ベルト孔 １０ 可動遮蔽板 １１ キャリヤ昇降機構 １１ａ，１２ａ，１３ａ 電動アクチュエータ １１ｂ，１２ｂ，１３ｂ リフター １２ 第一キャリヤ昇降機構 １３ 第二キャリヤ昇降機構 １４ キャリヤ戻し機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】