特許5649023ジルコニア膜の成膜方法

発明の名称　ジルコニア膜の成膜方法

出願人　有限会社　渕田ナノ技研　（識別番号 504273254）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5649023

公報発行日　2015年1月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5649023

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