特許5651027超純水中の微粒子数測定方法及び測定装置

発明の名称　超純水中の微粒子数測定方法及び測定装置

出願人　野村マイクロ・サイエンス株式会社　（識別番号 245531）

　　　　特許公開件数ランキング 1359 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 549 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5651027

公報発行日　2015年1月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5651027

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