特許5651467大領域ＳｉＣ基板の製造方法

発明の名称　大領域ＳｉＣ基板の製造方法

出願人　ノースロップ　グラマン　システムズ　コーポレーション　（識別番号 505363341）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5651467

公報発行日　2015年1月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5651467

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