特許 5655002 バルブロッドに対するバルブプレートの懸架装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5655002

(24)【登録日】2014年11月28日

(45)【発行日】2015年1月14日

(54)【発明の名称】バルブロッドに対するバルブプレートの懸架装置

(51)【国際特許分類】

   F16K 3/314 20060101AFI20141218BHJP

   F16K 3/02 20060101ALI20141218BHJP

   F16K 51/02 20060101ALI20141218BHJP

【ＦＩ】

   F16K3/314 B

   F16K3/02 A

   F16K51/02 B

【請求項の数】11

【全頁数】26

(21)【出願番号】特願2011-539844(P2011-539844)

(86)(22)【出願日】2009年12月4日

(65)【公表番号】特表2012-511672(P2012-511672A)

(43)【公表日】2012年5月24日

(86)【国際出願番号】AT2009000474

(87)【国際公開番号】WO2010065976

(87)【国際公開日】20100617

【審査請求日】2012年9月13日

(31)【優先権主張番号】102008061315.0

(32)【優先日】2008年12月11日

(33)【優先権主張国】DE

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】593030945

【氏名又は名称】バット ホールディング アーゲー

(74)【代理人】

【識別番号】110000800

【氏名又は名称】特許業務法人創成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】フローリアン エルネ

(72)【発明者】

【氏名】トーマス ブレッハ

【審査官】 関 義彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−２５０４７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第４４０４５００（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特開２００２−００９１２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２２８０４３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｋ ３／００−３／３６，

Ｆ１６Ｋ ５１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

バルブロッド(2)に対して横にのびている横梁部材(3)によって、前記バルブロッド(2)に対してバルブプレート(1)を懸架する装置であって、
前記横梁部材(3)は、金属により一体的に形成され、中央連結部(4)において前記バルブロッド(2)に対して堅固に連結され、かつ、前記横梁部材(3)の両端における２つの横連結部(5，6)(54，56)において前記バルブプレート(1)に対して堅固に連結されるとともに、前記中央連結部(4)及びその両側に隣接する前記横梁部材(3)の部分が存在する中央範囲(17)において前記バルブプレート(1)に対して間隔(a)を有しており、
前記横梁部材(3)のねじれにより、前記バルブプレート(1)が前記バルブロッド(2)に対して、前記バルブロッド(2)に対して垂直な揺動軸線(19)の回りに揺動可能であることを特徴とする懸架装置。

【請求項2】

請求項１記載の懸架装置において、
前記横梁部材(3)は、前記バルブロッド(2)に対して少なくとも１つの連結ネジ(7)によって連結されていることを特徴とする懸架装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の懸架装置において、
前記横梁部材(3)及び前記バルブプレート(1)は、単一素材により一体的に形成されていることを特徴とする懸架装置。

【請求項4】

請求項１又は２に記載の懸架装置において、
前記横梁部材(3)は、前記バルブプレート(1)に対して連結ネジ(8)(9)によって連結されていることを特徴とする懸架装置。

【請求項5】

請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の懸架装置において、
前記中央連結部(4)の両側のそれぞれにおいて単一の横連結部(5)(6)が設けられていることを特徴とする懸架装置。

【請求項6】

請求項１〜５のうちいずれか１つに記載の懸架装置において、
前記中央連結部(4)の両側のそれぞれにおいて２つの横連結部(54, 55)(56, 57)が設けられていることを特徴とする懸架装置。

【請求項7】

請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の懸架装置において、
前記揺動軸線(19)の回りの８０［Ｎｍ］以上の回転モーメントが前記横梁部材(3)に対して作用することにより、前記バルブプレート(1)の前記揺動軸線(19)の回りの０．２°以上の揺動が実現されることを特徴とする懸架装置。

【請求項8】

請求項７記載の懸架装置において、
前記揺動軸線(19)の回りの８０［Ｎｍ］以上の回転モーメントが前記横梁部材(3)に対して作用することにより、前記バルブプレート(1)の前記揺動軸線(19)の回りの０．３°以上の揺動が実現されることを特徴とする懸架装置。

【請求項9】

請求項１〜８のうちいずれか１つに記載の懸架装置において、
前記揺動軸線(19)は中心線(60)と間隔(b)を置いて離間しており、
前記中心線(60)は、前記揺動軸線(19)に対して平行であって、弾性シール部材(26)が前記バルブプレート(1)に設けられている状態で、前記弾性シール部材(26)と前記バルブロッド(2)の縦軸線(20)との２つの交点の中心を通り、又は、バルブシートに設けられている弾性シール部材と当接するシール面が前記バルブプレート(1)に設けられている状態で、前記弾性シール部材と当接する前記シール面の部分と前記バルブロッド(2)の縦軸線(20)との２つの交点の中心を通ることを特徴とする懸架装置。

【請求項10】

バルブプレート(1)と、前記バルブプレート(1)が懸架されるバルブロッド(2)とを備えている真空バルブであって、前記バルブプレート(1)は、前記真空バルブが開放されている開位置と、前記真空バルブが閉塞されるとともに前記バルブプレート(1)がバルブ開口部(22)を密封する閉位置との間を変位可能であって、請求項１〜８のうちいずれか１つに記載の懸架装置によって、前記バルブプレート(1)が前記バルブロッド(2)に懸架されていることを特徴とする真空バルブ。

【請求項11】

請求項１０記載の真空バルブにおいて、
前記バルブプレート(1)は、
前記バルブ開口部(22)を開放している開位置から、前記バルブ開口部(22)を覆う一方で、前記バルブ開口部(22)の周囲に設けられているバルブ シート(24)から離れている中間位置まで、少なくとも前記バルブロッド(2)を軸線方向に駆動させることができる第１ピストンシリンダユニットによって変位可能であり、かつ、
前記中間位置から、前記バルブプレート(1)がバルブシート(24)に対して押し付けられる閉位置まで、少なくとも前記バルブロッド(2)を指定軸線(39)の回りに揺動させる、又は、縦軸線(20)に対して垂直な方向に変位させることができる第２ピストンシリンダユニットによって変位可能であることを特徴とする真空バルブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バルブロッドにバルブプレートを懸架する装置に関する。

【背景技術】

【0002】

バルブロッドに対するバルブプレートの懸架装置が提案されている（特許文献１参照）。バルブロッドに連結されている横梁部材は、バルブロッドの端部を取り付けるための小開口部を有する第１プレートを備え、横梁部材は第１プレートにネジ止めされている。バルブロッドに対する中央連結部の両側において、第１プレートに対して弾性ベアリングブロックが取り付けられ、第１プレートとは反対側で第２プレートが当該ブロックに対して取り付けられている。第１プレート及び第２プレートのそれぞれはバルブプレートに対してネジ止めされている。

【0003】

弾性ベアリングブロックには、シリンダ状の力伝達要素が埋設されている。弾性ベアリングブロック及び力伝達要素によって、バルブロッドに対して垂直な軸線回りにバルブロッドの揺動が可能となる。これにより、バルブプレートのシール部材が、バルブシートに対して均等に押し付けられる。

【0004】

バルブロッドに対して垂直な軸線回りのバルブプレートの揺動は、バルブロッドの突出自在な部分を通じてバルブプレートに閉塞力が作用し、当該閉塞力によりバルブプレートがバルブシートに対して押し付けられる真空バルブにおいて特に有利である。バルブロッドを通じて伝達される閉塞力はバルブロッドを撓ませる。これにより、たとえば０．５°以上の範囲でバルブプレートがバルブロッドに対して揺動する。そして、バルブシートに対してバルブプレートが平行移動し、バルブプレート又はバルブシートに設けられているシール部材に均等に荷重がかかる。

【0005】

突出自在なバルブロッドを有する真空バルブとして、たとえばさまざまな形態のＬ型バルブが知られている。いわゆる揺動バルブにも、突出自在なバルブロッドが存在する。揺動バルブによれば、バルブロッドに対してたとえば垂直な軸回りにバルブロッドが揺動することにより、バルブプレートがバルブ開口部を開放している位置から、バルブ開口部を覆う一方でバルブシートから離れている位置まで変位する。

【0006】

Ｌ型バルブとしてはさまざまな形態のものが知られている（特許文献２〜５参照）。

【0007】

バルブプレートに第１及び第２横梁部材が連結されている真空バルブが知られている（特許文献６参照）。バルブプレートをその面に沿って、バルブ開口部を開放している位置から、バルブ開口部を覆う一方でバルブシートから離れている位置まで変位させるため、第１ピストンシリンダユニットが用いられる。バルブプレートをバルブシートに対して押し付けるため、第２ピストンシリンダにより駆動され、横梁部材の横端部に当接するロッドが用いられる。

【0008】

横梁部材は、連結部材を通じてバルブプレートに対して連結されている。横梁部材との連結部の両側において、この連結部材は、横梁部材の長手方向にのびる連結アームを有している。連結アームはその端部において、横梁部材の長手方向にのびる連結レッグに連結されている。連結レッグは、横梁部材の長手方向について離れている多数の場所でバルブプレートにネジ止めされている。これにより、横梁部材の名が手方向について均等に力が伝達される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】米国特許公報 ＵＳ６４７１１８１Ｂ２（特に図３〜図５）

【特許文献2】米国特許公報 ＵＳ６４３１５１８Ｂ１

【特許文献3】米国特許公報 ＵＳ６４１６０３７Ｂ１

【特許文献4】米国特許公報 ＵＳ６９６６５３８Ｂ２

【特許文献5】米国特許公報 ＵＳ５６４１１４９Ａ

【特許文献6】米国特許公開公報 ＵＳ２００８／００６６８１１Ａ１

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

本発明の目的は、バルブロッドに対して垂直な軸線回りに、たとえば１°以上の範囲でバルブプレートをバルブロッドに対して揺動させることができる懸架装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明は、バルブロッドに対して横にのびている横梁部材によって、前記バルブロッドに対してバルブプレートを懸架する装置であって、前記横梁部材は、中央連結部において前記バルブロッドに対して連結され、かつ、前記中央連結部の両側における少なくとも２つの横連結部において前記バルブプレート(1)に対して連結されるとともに、前記中央連結部及びその両側に隣接する前記横梁部材の部分が存在する中央範囲において前記バルブプレートに対して間隔を有している懸架装置に関する。

【0012】

本発明の懸架装置は、前記横梁部材のねじれにより、前記バルブプレートが前記バルブロッドに対して、前記バルブロッドに対して垂直な揺動軸線の回りに揺動可能であることを特徴とする。

【0013】

本発明の懸架装置によれば、横梁部材をねじる又はひねることにより、バルブロッドに対して垂直な揺動軸線回りに、バルブプレートをバルブロッドに対して揺動させることができる。簡単な構造により当該揺動が実現される。横梁部材は、金属等の単一素材により一体的に形成されていてもよい。エラストマー素材の中間要素が省略されていることが好ましい。

【0014】

前記揺動軸線の回りの８０［Ｎｍ］以上の回転モーメントが前記横梁部材に対して作用し、前記横梁部材のねじれにより、前記バルブロッドに対して前記バルブプレートが前記揺動軸線(19)の回りに０．２°以上、より好ましくは０．３°以上回動されてもよい。

【0015】

前記横梁部材は、前記揺動軸線に対して平行に配置されていてもよい。これに代えて、前記横梁部材は、前記揺動軸線に対して傾斜している部分を備えていてもよい。前記横梁部材の前記揺動軸線の方向についてのサイズは、前記バルブロッドに対して平行な方向又は前記揺動軸線に対して垂直な方向と、前記バルブロッドに対して垂直な方向についてのサイズよりも大きい。たとえば、前記横梁部材の前記バルブロッドに対して平行な方向についてのサイズは、前記バルブロッドに対して垂直な方向についてのサイズよりも５倍以上大きい。

【0016】

本発明のさらなる詳細および特徴は以下の図面に示されている本発明の実施形態によって説明される。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の第１実施形態の懸架装置によりバルブロッドに支持されているバルブプレートの外観図。

【図2】図１の視線方向Ａについて当該装置を臨む下面図。

【図3】図２の部分Ｂの拡大説明図。

【図4】図１のＣ−Ｃ線に沿った断面図。

【図5】図１のＤ−Ｄ線に沿った断面図。

【図6】当該装置の分解説明図。

【図7】図１〜図６に示されている支持装置が適用されうるＬ型バルブの部分的に切り欠かれた外観図。

【図8】図７のＥ−Ｅ線に沿った断面図。

【図9】図１〜図６に示されている支持装置を有するＬ型バルブの変形例の正面図。

【図10】図９のＦ−Ｆ線に沿った断面図。

【図11】図１０Ｇ部分の拡大説明図。

【図12】真空バルブの斜視図。

【図13】バルブロッドを有する真空バルブの駆動装置の斜視図。

【図14】真空バルブの駆動装置の分解説明図。

【図15】本発明の第２実施形態の懸架装置によりバルブロッドに支持されているバルブプレートの側面図。

【図16】本発明の第２実施形態の懸架装置によりバルブロッドに支持されているバルブプレートの正面図。

【図17】本発明の第２実施形態の懸架装置によりバルブロッドに支持されているバルブプレートの下面図。

【図18】図１６のＨ−Ｈ線に沿った断面図。

【図19】図１７の部分Ｉの拡大説明図。

【図20】図１７の部分Ｊの拡大説明図。

【図21】本発明の第３実施形態の横梁部材、バルブロッドの端部及び連結ネジと一体的に形成されているバルブプレートの正面図。

【図22】横梁部材とともに構成されているバルブプレートの上面図。

【図23】横梁部材とともに構成されているバルブプレートの斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

図１〜図６には、バルブプレート１をバルブロッド２に懸架させる、本発明の第１実施形態としての懸架装置が示されている。懸架装置は、横梁部材３により構成されている。横梁部材３は、中央連結部４においてバルブロッド２に対して堅固に連結されている。また、横梁部材３は、中央連結部４の両横にある横連結部５、６においてバルブプレート１に対して堅固に連結されている。横梁部材３は、バルブプレート１及びバルブロッド２に対して直接的又は短絡的に連結されている。すなわち、横梁部材３は、中央連結部４においてバルブロッド２に対して近接し、横連結部５、６においてバルブプレート１に対して近接している。

【0019】

横梁部材３は、一対の連結ネジ８、９によりバルブプレート１に対して連結されている。これと同様に、横梁部材３は、連結ネジ７によりバルブロッド２に対して連結されている。

【0020】

横梁部材３は、バルブロッド２に対する連結のために継手部材１０を備えている。継手部材１０は、バルブロッド２の端部が挿入される大径貫通孔を有する。バルブロッド２の先端面には、大径貫通孔の内側において小径貫通孔１２に挿入される連結ネジ７が螺着されるネジ孔１１が設けられている。継手部材１０の大径貫通孔においてバルブロッド２は回動可能とされている。

【0021】

バルブプレート１に対して横梁部材３を連結するため、横梁部材３の両横端部には連結ネジ８、９が通される貫通孔１３、１４が設けられている。連結ネジ８、９は、バルブプレート１のネジ孔１５、１６に螺着される。

【0022】

横梁部材３は、その中央範囲１７においてバルブプレート１から離間している。その様子が図３に示されている。この間隔はさまざまに変更されうる。中央範囲１７は、中央連結部４を含む領域及びその左右両側に隣接して突出部１８までいたる領域に広がっている。突出部１８は、横連結部５、６の領域に形成されている。横梁部材３の横連結部５、６を有する両横端部は、屈曲形状に形成されている。横端部は、図１５〜図２０を参照して後述するように直線状に形成されていてもよい。

【0023】

バルブプレート１は、回転モーメントの作用によって、たとえば−１°〜＋１°の範囲で揺動軸線１９の回りに揺動することができる。揺動軸線１９は、バルブロッド２の縦軸線２０に対して垂直であり、バルブプレート１の主平面に対して平行である。

【0024】

バルブロッド２によってバルブプレート１がバルブシートに押し付けられ、バルブロッド２が撓んだ場合に、揺動軸線１９の回りの回転モーメントが生成される。横梁部材３のねじれ又はひねりにより、揺動軸線１９の回りにバルブプレート１が揺動することができる。揺動軸線１９の回りのたとえば８０［Ｎｍ］以上の回転モーメントにより、バルブプレート１が揺動軸線１９の回りにバルブロッド２に対して０．４°以上の揺動角度だけ揺動される。

【0025】

バルブプレート１は、横梁部材３を構成する素材の弾性によって、揺動軸線１９の回りにバルブロッド２に対して揺動することができる。横梁部材３は金属から形成されていることが好ましい。

【0026】

バルブロッド２に対してバルブプレート１に作用する外力がない元位置から、バルブプレート１は揺動軸線１９の回りに０．５°以上、好ましくは１°以上の角度だけ揺動することができる。これにより、バルブプレート１は、外力が作用しなくなったことに応じて元位置に復帰することができる。横梁部材３が弾性を有するように構成されているため、当該揺動が実現されている。

【0027】

バルブロッド２に対してバルブプレート１に作用する外力がない元位置からの揺動角度は、理論上は３°以下であり、通常は１°以下である。

【0028】

本実施形態では横梁部材３は単一素材により一体的に形成されているが、適当な素材等、相互に連結される複数の部材により構成されていてもよい。

【0029】

横梁部材３をバルブロッド２に対して連結するための連結ネジ７は、バルブロッド２の縦軸線２０に対して平行に配置されている。横梁部材３をバルブプレート１に対して連結するための連結ネジ８、９は、バルブプレート１の平面に対して垂直に、かつ、揺動軸線１９に対して垂直に配置されている。

【0030】

バルブプレート１をバルブシートに対して密封するため、バルブプレート１に弾性シール部材２６が設けられている。弾性シール部材２６は、溝に配置されているＯリング又はバルブプレート１に設けられる加硫シール部材により構成されていてもよい。バルブシートに弾性シール部材が設けられ、当該シール部材に当接するシール面がバルブプレート１に設けられてもよい。

【0031】

図１には、揺動軸線１９に対して平行に配置されているバルブプレート１の中心線６０が示されている。中心線６０は、弾性シール部材２６と、バルブロッド２の縦軸線２０とが交わる２つの位置（図４に示されている弾性シール部材２６の交点）の中心を通っている。弾性シール部材２６が、揺動軸線１９及び中心線６０に対して平行な２つの部分（端部において連結部分により連結されている）を有している場合、中心線６０はバルブプレート１の正面から見て（図１参照）、当該２つの部分の中心に配置されている。

【0032】

揺動軸線１９は、当該揺動軸線１９に対して平行に配置されているバルブプレート１の中心線６０から離間している。この間隔ｂが図１に示されている。間隔ｂは、弾性シール部材２６とバルブロッド２の縦軸線２０との２つの交点の間隔の１／５以上である。揺動軸線１９は、バルブロッド２が横梁部材３から突出している方向とは反対の方向について中心線６０から離間している。

【0033】

中心線６０から揺動軸線１９が離間していることにより、閉塞状態において弾性シール部材２６が均等に押圧されうる。間隔ｂは、バルブプレート１がバルブシートに押し付けられる状態において、中心線６０を挟んで対向するシール部材２６の２つの部分に対してほぼ同等の強さの圧力が作用するように設定される。当該圧力の偏差は２０％以下であることが好ましい。

【0034】

シール部材２６がバルブシートに設けられ、これに当接するシール面がバルブプレート１に設けられている場合、バルブの閉塞状態においてシール部材に当接するシール面に関しても前記と同様のことが言える。

【0035】

揺動軸１９は、横梁部材３においてバルブプレート１から離れている中央範囲を通ってのびている。

【0036】

図７及び図８には本発明の懸架装置が用いられている真空バルブの実施形態が示されている。図８は真空バルブの開放状態を示し、図７は真空バルブの閉塞状態を示している。

【0037】

バルブプレート１は、第１ピストンシリンダユニット２３によって開位置（図８参照）から中間位置まで変位可能である。バルブプレート１は、開位置において壁部２１に設けられているバルブ開口部２２を開放している。バルブプレート１は、中間位置においてバルブ開口部２２を覆う一方で、バルブ開口部２２の周囲に設けられているバルブシート２４から離れている。

【0038】

バルブプレート１を開位置から中間位置に変位させる際、バルブロッド２は軸線方向に動かされ、バルブプレート１は主平面に沿って動かされる。バルブロッド２は、第１ピストンシリンダユニット２３のピストン２５に連結され、第１ピストンシリンダユニット２３のピストンロッドを構成していてもよい。

【0039】

バルブプレート１を中間位置から閉位置まで変位させるため、第２ピストンシリンダユニット２７が用いられる。バルブプレート１は、閉位置においてバルブシート２４に対して押し付けられ、バルブプレート１に設けられている弾性シール部材２６がバルブ開口部２２を密閉する。弾性シール部材２６はバルブシート２４に設けられてもよい。

【0040】

第２ピストンシリンダユニット２７は、第１ピストンシリンダユニット２３の、軸線２９の回りに揺動可能なシリンダ２８に対して連結されている。第２ピストンシリンダユニット２７のピストン３０は、軸線２９の回りにシリンダ２８を揺動させるためにドライブハウジング３１から突出している。

【0041】

第１ピストンシリンダユニット２３のシリンダ２８をシールするために、当該シリンダ２８とバルブハウジング３３との間に配置されている弾性シール部材５９が用いられる。バルブロッド２は、図示しないが同様の手法によってシリンダ２８からシールされている。

【0042】

この代わりに、一方の側でバルブハウジング３３に対してシールされた状態で連結され、他方の側でバルブロッド２に対してシールされた状態で連結される蛇腹状シール部材が設けられていてもよい。

【0043】

真空バルブを開放するため、ピストン３０が動かされ、これによりバネ部材３２がシリンダ２８を逆方向に揺動させ、バルブプレート１を閉位置から中間位置に変位させる。この状態で、バルブプレート１は第１ピストンシリンダユニット２３により開位置に動かされる。

【0044】

壁部２１は、バルブハウジング３３の一部であって、ドライブハウジング３１が堅固に連結される部分により構成されている。壁部２１は真空チャンバの一部であってもよい。この場合、真空チャンバの開口部によってバルブ開口部２２が構成される。バルブハウジング３３は、真空チャンバの真空領域に壁部２１が配置されるように収容される構造物を構成してもよい。バルブプレートをバルブロッドに懸架するための本発明の懸架装置を有する真空バルブの構成は、前記した変形実施形態に採用されうる。

【0045】

本発明の第２実施形態が図９〜図１４に示されている。バルブハウジング３３は、図１０に破線で示されている真空チャンバ３４の内側に取り付けられる構造物として構成されている。真空チャンバ３４の内側への取り付け方法は公知である。

【0046】

真空バルブを開閉するためのアクチュエータを有するドライブハウジング３１が、バルブハウジング３３に対して堅固に固定されている。

【0047】

バルブプレート１は、開位置から中間位置を経て閉位置まで変位することができる。バルブプレート１は、開位置ではバルブ開口部２２を開放している。バルブプレート１は、中間位置ではバルブ開口部２２を覆う一方でバルブ開口部２２の周囲に設けられているバルブシート２４から離れている。閉位置ではバルブプレート１に設けられている弾性シール部材２６がバルブシート２４に設けられているシール面に対して押し付けられる。シール部材２６はバルブシート２４に設けられ、シール面がバルブプレート１に設けられてもよい。

【0048】

本発明の懸架装置によってバルブプレート１を懸架しているバルブロッド２をその軸線方向３６に動かすことにより、バルブプレート１を開位置から中間位置まで変位させるため、ピストン２５を有する第１ピストンシリンダユニットが用いられる。当該ピストン２５は、楔部材３５によってバルブロッド２に連結されている。ピストン２５のためのシリンダ空間には、ベアリングユニット３７が設けられている。シリンダカバー５８は、ピストン２５のためのシリンダ空間が閉じられる。

【0049】

ベアリングユニット３７は、ドライブハウジング３１に対して、バルブロッド２の軸線方向３６に対して垂直であり、かつ、バルブ開口部２２の指定軸線３９に対して平行な方向３８及びその反対方向に変位可能に設けられている。ベアリングユニット３７は、軸線方向３６及びその反対方向にバルブロッド２を案内する。

【0050】

ドライブハウジング３１に対してベアリングユニット３７を方向３８に動かすことにより、バルブプレート１を中間位置から閉位置まで変位させることができる。そのために、ベアリングユニット３７とドライブハウジング３１との間に配置されているバネ部材４０が機能する。

【0051】

真空バルブを開放するため、バルブプレート１は閉位置から中間位置まで変位し、この際、ピストン３０を有する第２ピストンシリンダユニットにより、ベアリングユニット３７が方向３８とは反対方向に動かされる。ピストン３０のためのシリンダ空間４１はベアリングユニット３７の内側に形成されている。ピストン３０はピストンロッド４２に対して取り付けられている。ピストンロッド４２は、ドライブハウジング３１に対して固定され、ベアリングユニット３７を通る貫通孔を貫通している。

【0052】

真空バルブの閉塞状態において、バルブプレート１をバルブシート２４に対して押し付ける閉塞力を強めるため、ドライブハウジング３１とベアリングユニット３７との間にある空間４３に圧縮空気等の圧縮媒体が供給されてもよい。

【0053】

バルブロッド２を真空領域から案内するため蛇腹部材４４が用いられる。バルブロッド２の一部であって、バルブプレート１とは反対側でベアリングユニット３７から突出している端部が、真空バルブの閉塞状態においてストッパ４５に当接する。ストッパ４５は、バルブロッド２においてバルブプレート１と同じ側にあって、ドライブハウジング３１又は底に連結されている部材に設けられている。これによりバルブプレート１の閉位置において、ベアリングユニット３７からバルブプレート１への力伝達効率の向上が図られる。

【0054】

図１１には作用力のダイヤグラムが示されている。バルブロッド２に作用するたとえば２０００［Ｎ］以上の力はバルブロッド２を撓ませる。これにより、揺動軸線１９（図９参照）の回りのたとえば８０［Ｎｍ］以上の回転モーメントが生じ、横梁部材３がねじれ、かつ、バルブプレート１が揺動軸線１９の回りに例えば０．４°だけ揺動する。

【0055】

バルブプレート１をバルブロッド２に懸架させるための、前記のＬ型バルブに適用されうる本発明の第２実施形態としての懸架装置が図１５〜図２０に示されている。横梁部材３の形状が、図１〜図６に示されている第１実施形態と比較して異なる。第１実施形態では、横梁部材３の横連結部５、６及び突出部１８が設けられている両端部は屈曲形状に形成されている。これに対して第２実施形態では、横梁部材３の両端部は直線状に形成されている。

【0056】

横連結部５、６を含む部分に一対の突出部１８が設けられている。当該一対の突出部１８の間に存在する中央範囲１７において横梁部材３はバルブプレート１から離間している（図１９及び図２０の間隔ａ参照）。

【0057】

中央連結部４において、バルブロッド２の一端部が挿入される継手部材１０が設けられてもよい。横梁部材３は、一対の連結ネジ８、９によりバルブプレート１に対して連結されている。同様に、横梁部材３は、連結ネジ７によりバルブロッド２に対して連結されている。

【0058】

横梁部材３がその弾性によってねじれることにより、バルブプレート１は、バルブロッド２に対して揺動軸線１９の回りに揺動される。バルブプレート１の揺動範囲又は回転モーメントにより実現される揺動角度は、第１実施形態のそれと同等である。

【0059】

揺動軸線１９はバルブプレート１の中心線６０から、図１６に示されている間隔ｂだけ離間している。中心線６０の位置及び中心線６０の揺動軸線からの間隔は、前記した第１実施形態のそれと同様である。

【0060】

バルブプレート１をバルブロッド２に懸架させるための本発明の第３実施形態の懸架装置が図２１〜図２３に示されている。懸架装置は、次に説明するように前記実施形態とは異なる形状の横梁部材３により実現されている。横梁部材３は、バルブプレート１とともに単一の素材により一体的に形成されている。別個の部材が溶接等、素材の一体化によって相互に連結されることにより一体的に構成されてもよい。別個の部材がネジ止めされることによって相互に連結されてもよい。

【0061】

横梁部材３中央連結部４の領域においてバルブロッド２に対して連結されている。バルブロッド２の端部が、横梁部材３の連結部材４７の内側の、連結ネジが貫通して保持されているクリアランス４６に挿入される。当該連結ネジは、横梁部材３の中央連結部材４７を貫通して配置され、バルブロッド２のネジ孔に螺着される。

【0062】

中央連結部材４７から左右両側に一対の枝部５０、５１のそれぞれまで、一対のアーム４８、４９が延設されている。一対の枝部５０、５１のそれぞれから、横連結部５４、５５又は５６、５７まで第１枝部５２及び第２枝部５３のそれぞれが延設されている。当該連結部５４〜５７において、横梁部材３はバルブプレート１に対して連結されている。

【0063】

中央連結部材４７及びその左右両側にのびている一対のアーム４８、４９を有する横梁部材３の中央範囲１７において、横梁部材３はバルブプレート１から離間している。一対の枝部５０、５１のそれぞれから延設されている枝部５２、５３は最初は同様にバルブプレート１から離間しており、連結部５４〜５７に近づくほど、バルブプレート１に対して近接している。バルブプレート１及び横梁部材３と同一の素材により形成されている場合、連結部５４〜５７は接合素材より形成されている。

【0064】

各枝部５２は、枝部５０又は５１から連結部５４又は５６に近づくほど中央連結部４から遠く離間している。このため、各アーム４８、４９は前方に張り出している。各枝部５３は、枝部５０又は５１から連結部５５又は５７に近づくほど中央連結部４に接近している。

【0065】

第３実施形態によれば、中央連結部４の左右両側で二対の連結部５４、５５又は５６、５７が設けられている。これにより、バルブプレート１に対して正確に力が伝達され、当該連結部５４〜５７は、強度の高い素材により形成されうる。

【0066】

２対以上、すなわち４つ以上の横連結部５４〜５７よりも多い横連結部が、対応する枝部により構成されてもよい。

【0067】

横梁部材３のねじれにより、バルブプレート１はバルブロッド２に対して揺動軸線１９の回りに揺動することができる。揺動軸線１９の回りの回転モーメントにより実現される揺動範囲及び揺動角度の大きさは、前記実施形態のそれと同程度である。横梁部材３のひねりはアーム４８、４９の領域で生じる。アーム４８、４９は相応の細さ又は薄さに形成される。

【0068】

バルブプレート１及び横梁部材３を有する一体成形体が（更なる加工過程と組み合わせられる）押し出し成形により形成されてもよい。

【0069】

すべての前記実施形態において、揺動軸線１９は、バルブロッド２の縦軸線２０に対して垂直であり、横梁部材３は、揺動軸線１９の方向に大きなサイズを有している。揺動軸線１９の方向についての横梁部材３のサイズは、これに垂直な方向についての横梁部材３のサイズよりも５倍以上大きいことが好ましい。

【0070】

バルブプレート１をバルブロッド２に懸架させるためのすべての前記実施形態の懸架装置は、Ｌ型バルブに適用される。Ｌ型又は揺動バルブ等の他のバルブ、特に、バルブシートに対するバルブプレートの押圧力を伝達する、突出自在なバルブロッドを有するバルブに当該懸架装置は適用可能である。

【0071】

揺動軸線１９及び縦軸線２０に対して平行なバルブプレート１の主平面において、揺動軸線１９の方向についてのバルブプレート１のサイズは、バルブロッド２の縦軸線２０の方向についてのバルブプレート１のサイズよりも大きいことが好ましい。揺動軸線１９の方向についてのバルブプレート１のサイズは、バルブロッド２の縦軸線２０の方向についてのバルブプレート１のサイズよりも３倍以上、好ましくは５倍以上大きい。

【0072】

バルブプレート１のサイズは、揺動軸線１９の方向について２００〜４００［ｍｍ］の範囲内であり、縦軸線２０の方向について３０〜８０［ｍｍ］の範囲内である。

【0073】

横梁部材３は、前記実施形態とは異なる形態でバルブロッド２に対して連結されてもよい。たとえば、横梁部材３は、バルブロッド２の大径貫通孔に挿入される、バルブプレート２０の縦軸線の方向にのびる突出部を備えていてもよい。

【符号の説明】

【0074】

１‥バルブプレート、２‥バルブロッド、３‥横梁部材、４‥中央連結部、５‥横連結部、６‥横連結部、７‥連結ネジ、８‥連結ネジ、９‥連結ネジ、１０‥継手部材、１１‥ネジ孔、１２‥貫通孔、１３‥貫通孔、１４‥貫通孔、１５‥ネジ孔、１６‥ネジ孔、１７‥中央範囲、１８‥突出部、１９‥揺動軸線、２０‥縦軸線、２１‥壁部、２２‥バルブ開口部、２３‥第１ピストンシリンダユニット、２４‥バルブシート、２５‥ピストン、２６‥シール部材、２７‥第１ピストンシリンダユニット、２８‥シリンダ、２９‥軸線、３０‥ピストン、３１‥ドライブハウジング、３２‥バネ部材、３３‥バルブハウジング、３４‥真空チャンバ、３５‥楔部材、３６‥軸線方向、３７‥ベアリングユニット、３８‥方向、３９‥指定軸線、４０‥バネ部材、４１‥シリンダ空間、４２‥ピストンロッド、４３‥空間、４４‥蛇腹部材、４５‥ストッパ、４６‥クリアランス、４７‥連結部材、４８‥アーム、４９‥アーム、５０‥枝部、５１‥枝部、５２‥枝部、５３‥枝部、５４‥横連結部、５５‥横連結部、５６‥横連結部、５７‥横連結部、５８‥シリンダカバー、５９‥シール部材、６０‥中心線。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】