特許5656184三塩化ガリウムの噴射方式

発明の名称　三塩化ガリウムの噴射方式

出願人　ソイテック　（識別番号 507088071）

　　　　特許公開件数ランキング 1553 位（16件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3357 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5656184

公報発行日　2015年1月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5656184

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