特許 5656318 圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5656318

(24)【登録日】2014年12月5日

(45)【発行日】2015年1月21日

(54)【発明の名称】圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/14 20060101AFI20141225BHJP

【ＦＩ】

   G01L19/14

【請求項の数】6

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-229677(P2012-229677)

(22)【出願日】2012年10月17日

(65)【公開番号】特開2014-16332(P2014-16332A)

(43)【公開日】2014年1月30日

【審査請求日】2013年10月15日

(31)【優先権主張番号】特願2012-132211(P2012-132211)

(32)【優先日】2012年6月11日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000143949

【氏名又は名称】株式会社鷺宮製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100103218

【弁理士】

【氏名又は名称】牧村 浩次

(72)【発明者】

【氏名】石川 琢郎

(72)【発明者】

【氏名】滝本 和哉

(72)【発明者】

【氏名】石橋 和徳

【審査官】 岡田 卓弥

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−６８１０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−７５２８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２３１４１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２４２０３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平５−２０４０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭６２−５５１４３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭５６−１７２９５４（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｌ ７／００−２３／３２

Ｇ０１Ｌ２７／００−２７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流路が形成された継手部材と、
前記流路内の流体の圧力を検出するために、前記継手部材に固着され、継手部材の流路と対面するように配置された圧力検出エレメントと、
一方が開口し、他方側の基端部が前記継手部材と当接し、前記圧力検出エレメントをカバーするカバー部材と、
前記カバー部材の内部に形成された間隙に充填され、接着剤を構成する封入樹脂部と、
前記圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部とを備え、
前記封入樹脂部が、前記外部リード線の接続部を密封し、
前記封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように構成されていることを特徴とする圧力センサー。

【請求項2】

前記リード線係止部が、外部リード線を固定する係止切欠孔を有することを特徴とする請求項１に記載の圧力センサー。

【請求項3】

前記係止切欠孔の切欠を介して、外部リード線を係止切欠孔に挿入して係止するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサー。

【請求項4】

流路が形成された継手部材と、
前記流路内の流体の圧力を検出するために、前記継手部材に固着され、継手部材の流路と対面するように配置された圧力検出エレメントと、
一方が開口し、他方側の基端部が前記継手部材と当接し、前記圧力検出エレメントをカバーするカバー部材と、
前記カバー部材の内部に形成された間隙に充填され、接着剤を構成する封入樹脂部と、
前記圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部とを備え、
前記封入樹脂部が、前記外部リード線の接続部を密封し、
前記封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように、封入樹脂をカバー部材の内部に形成された間隙に充填することを特徴とする圧力センサーの製造方法。

【請求項5】

前記リード線係止部が、外部リード線を固定する係止切欠孔を有することを特徴とする請求項４に記載の圧力センサーの製造方法。

【請求項6】

前記係止切欠孔の切欠を介して、外部リード線を係止切欠孔に挿入して係止することを特徴とする請求項５に記載の圧力センサーの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液封型の圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、流体圧検出用の圧力センサーとして、特許文献１（特開２０１２−６８１０５号公報）には、水分が外部から侵入しないように隙間のない構成にした液封型の圧力センサー１００が開示されている。

【0003】

この圧力センサー１００は、図７に示したように、圧力検出エレメント１０２と、継手部材１０４と、カバー部材１０６との結合体により構成されている。

【0004】

そして、圧力検出エレメント１０２の一方の端面（下底面）には、金属製のダイヤフラム１０８の外周縁部が溶接によって気密に固着されている。圧力検出エレメント１０２の下面に設けられたセンサーチップ１１０に、ワイヤーボンディング１１２を介して、リードピン１１４が接続されている。

【0005】

さらに、図７に示したように、このリードピン１１４が基板１１６に接続され、外部リード線１１８に接続されている。そして、カバー部材１０６内の空間は、接着剤からなる封入樹脂１２２が封入されており、さらに、カバー部材１０６と継手部材１０４との間の空間にも、接着剤からなる封入樹脂１２４が封入されている。これにより、隙間がなく、水分などの液体が内部に浸入するのが阻止されるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１２−６８１０５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、このような従来の特許文献１に記載されているような、液封型の圧力センサー１００では、外部リード線１１８に力が加わった場合に、図７に示したように、外部リード線１１８が固定されていないので、柔らかい、接着剤を構成する封入樹脂１２２にクラックなどが発生して、外部から水分が浸入して、絶縁不良や、圧力検出エレメント１０２に腐食などの影響を及ぼし、正確な圧力の検出が行えない。

【0008】

さらに、接着剤を構成する封入樹脂１２２を硬化させる際に、接着剤を構成する封入樹脂１２２が、表面張力によって、リードピン１１４を伝わって上方向に這い上がり、封入樹脂１２２の上端１２２ａから突設して、見た目などの品質が低下する。

【0009】

本発明は、このような現状に鑑み、外部リード線に力が加わった場合に、外部リード線が固定され、柔らかい、接着剤を構成する封入樹脂にクラックなどが発生せず、外部から水分が浸入して、絶縁不良や、圧力検出エレメントに腐食などの影響を及ぼすことがなく、正確な圧力の検出が行え、しかも、接着剤を構成する封入樹脂を硬化させる際に、接着剤を構成する封入樹脂が、表面張力によって、外部リード線を伝わって上方向に這い上がり、封入樹脂の上端から突設して、見た目などの品質が低下することがない圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の圧力センサーは、
流路が形成された継手部材と、
前記流路内の流体の圧力を検出するために、前記継手部材に固着され、継手部材の流路と対面するように配置された圧力検出エレメントと、
一方が開口し、他方側の基端部が前記継手部材と当接し、前記圧力検出エレメントをカバーするカバー部材と、
前記カバー部材の内部に形成された間隙に充填され、接着剤を構成する封入樹脂部と、
前記圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部とを備え、
前記封入樹脂部が、前記外部リード線の接続部を密封し、
前記封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように構成されていることを特徴とする。

【0011】

また、本発明の圧力センサーの製造方法は、
流路が形成された継手部材と、
前記流路内の流体の圧力を検出するために、前記継手部材に固着され、継手部材の流路と対面するように配置された圧力検出エレメントと、
一方が開口し、他方側の基端部が前記継手部材と当接し、前記圧力検出エレメントをカバーするカバー部材と、
前記カバー部材の内部に形成された間隙に充填され、接着剤を構成する封入樹脂部と、
前記圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部とを備え、
前記封入樹脂部が、前記外部リード線の接続部を密封し、
前記封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように、封入樹脂をカバー部材の内部に形成された間隙に充填することを特徴とする。

【0012】

このように構成することによって、圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部を備え、封入樹脂部の上端が、リード線係止部の上面と同一平面以下となるように、封入樹脂をカバー部材の内部に形成された間隙に充填している。

【0013】

従って、外部リード線に力が加わった場合にも、外部リード線がリード線係止部で固定されているので、柔らかい、接着剤を構成する封入樹脂にクラックなどが発生せず、外部から水分が浸入して、絶縁不良や、圧力検出エレメントに腐食などの影響を及ぼすことがなく、正確な圧力の検出が行える。

【0014】

しかも、封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように、封入樹脂をカバー部材の内部に形成された間隙に充填するので、接着剤を構成する封入樹脂を硬化させる際に、接着剤を構成する封入樹脂が、表面張力によって、外部リード線を伝わって上方向に這い上がり、封入樹脂の上端から突設して、見た目などの品質が低下することがない

【0015】

また、本発明は、前記リード線係止部が、外部リード線を固定する係止切欠孔を有することを特徴とする。

【0016】

このように構成することによって、外部リード線に力が加わった場合にも、外部リード線がリード線係止部の係止切欠孔で強固に固定されているので、柔らかい、接着剤を構成する封入樹脂にクラックなどが発生せず、外部から水分が浸入して、絶縁不良や、圧力検出エレメントに腐食などの影響を及ぼすことがなく、さらに正確な圧力の検出が行える。

【0017】

また、本発明は、前記係止切欠孔の切欠を介して、外部リード線を係止切欠孔に挿入して係止するように構成されていることを特徴とする。

【0018】

このように構成することによって、係止切欠孔の切欠を介して、外部リード線を係止切欠孔に挿入して係止するので、外部リード線をリード線係止部の係止切欠孔で固定する作業が容易となり、コストと手間を低減することができる。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部を備え、封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように、封入樹脂をカバー部材の内部に形成された間隙に充填している。

【0020】

従って、外部リード線に力が加わった場合にも、外部リード線がリード線係止部で固定されているので、柔らかい、接着剤を構成する封入樹脂にクラックなどが発生せず、外部から水分が浸入して、絶縁不良や、圧力検出エレメントに腐食などの影響を及ぼすことがなく、正確な圧力の検出が行える。

【0021】

しかも、封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように、封入樹脂をカバー部材の内部に形成された間隙に充填するので、接着剤を構成する封入樹脂を硬化させる際に、接着剤を構成する封入樹脂が、表面張力によって、外部リード線を伝わって上方向に這い上がり、封入樹脂の上端から突設して、見た目などの品質が低下することがない。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】図１は、本発明の圧力センサーの縦断面図である。

【図2】図２は、本発明の圧力センサーの上面図である。

【図3】図３は、本発明の圧力センサーの製造工程の概略を説明する縦断面図である。

【図4】図４は、本発明の圧力センサーの製造工程の概略を説明する縦断面図である。

【図5】図５は、本発明の圧力センサーの製造工程の概略を説明する縦断面図である。

【図6】図６は、本発明の圧力センサーの製造工程の概略を説明する縦断面図である。

【図7】図７は、従来の液封型の圧力センサー１００を示した縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。

【実施例1】

【0024】

図１は、本発明の圧力センサーの縦断面図、図２は、本発明の圧力センサーの上面図、図３〜図６は、本発明の圧力センサーの製造工程の概略を説明する縦断面図である。

【0025】

図１〜図２において、符号１０は、全体で本発明の圧力センサーを示している。

【0026】

図１に示したように、本発明の圧力センサー１０は、液封型の圧力センサーであり、流路１２が形成された継手部材１４と、流路１２内の流体の圧力を検出する圧力検出エレメント１６とを備えている。

【0027】

そして、この継手部材１４の流路１２と対面するように、圧力検出エレメント１６が配置され、その周縁部で継手部材１４と溶接され固着されている。

【0028】

圧力検出エレメント１６は、例えば、ステンレス、アルミニウムなどの金属製のエレメント本体１８を備えており、このエレメント本体１８に形成された中央開口２０内に、ハーメチックガラス２２が嵌め込まれて固着されている。

【0029】

また、図１に示したように、圧力検出エレメント１６のエレメント本体１８と、金属製のダイヤフラム２４と、連通孔２６が形成されたダイヤフラム保護カバー２８とが、それらの外周縁部において溶接によって一体的に固着されている。

【0030】

そして、この構造によって、エレメント本体１８の中央開口２０の部分において、ハーメチックガラス２２とダイヤフラム２４との間に、オイルが封入される液封室３０が形成されている。

【0031】

一方、図１に示したように、ハーメチックガラス２２の液封室３０の側の面部には、ワンチップ構造のセンサーチップ３２が接着剤によって固定されている。

【0032】

このセンサーチップ３２は、液封室３０内に配設されており、圧力を検出する圧力素子と、この圧力検出素子の出力信号を処理する集積化された電子回路とが一体に形成された圧力センサーチップとして構成されている。

【0033】

また、ハーメチックガラス２２には、センサーチップ３２に対する信号の入出力を行うための複数個のリードピン３４が、それぞれ、貫通状態で、ハーメチック処理により固定されている。
この実施例では、図示しないが、リードピン３４は全部で８本設けられている。すなわち、入出力用の端子として後述する、外部リード線６２ａ（Ｖｏｕｔ）、６２ｂ（Ｖｃｃ）、６２ｃ（ＧＮＤ）用の３本のリードピン３４と、センサーチップ３２の調整用の端子として５本のリードピン３４とが設けられている。

【0034】

リードピン３４は、例えば、金製またはアルミニウム製のワイヤー３６によって、センサーチップ３２と導通接続（ワイヤーボンディング）され、センサーチップ３２の外部出力端子や外部入力端子を構成している。

【0035】

そして、継手部材１４の流路１２から圧力室４０内に伝達された流体圧は、ダイヤフラム保護カバー２８の連通孔２６を通ってダイヤフラム２４の表面を押圧し、この押圧力を液封室３０内のセンサーチップ３２により検知するようにしている。

【0036】

また、図１に示したように、圧力検出エレメント１６の上部には、空間形成部材の第１の空間形成部材を構成する端子台３８が、圧力検出エレメント１６のエレメント本体１８の上方に隣接して配置され、例えば、接着剤によって、圧力検出エレメント１６のエレメント本体１８に固定されている。

【0037】

この端子台３８は、図１に示したように、略円筒形状であって、その略中央部に、リードピン３４を挿通するための挿通孔４２ａが形成された端子固定用壁４２が形成されている。そして、この端子固定用壁４２から下方に延設された下方側壁４４と、端子固定用壁４２から上方に延設された上方側壁４６が形成されている。

【0038】

これにより、図１に示したように、圧力検出エレメント１６と端子台３８との間に、端子固定用壁４２と下方側壁４４に囲まれた第１の空間Ｓ１が形成されている。

【0039】

そして、圧力検出エレメント１６のリードピン３４の先端３４ａは、挿通孔４２ａに挿通され、端子台３８の上方側壁４６を貫通するように設けられた端子４８に、接続部５２において、例えば、溶接により電気的に接続されている。

【0040】

なお、この実施例では、図示しないが、後述する図２に示したように、外部リード線６２ａ（Ｖｏｕｔ）、６２ｂ（Ｖｃｃ）、６２ｃ（ＧＮＤ）用の３本の端子４８が設けられている。

【0041】

さらに、図１、図２に示したように、端子台３８の上方側壁４６には、嵌合用段部５０が形成されており、この嵌合用段部５０に嵌合するように、空間形成部材の第２の空間形成部材を構成する蓋部材５４が端子台３８に隣接して配置されている。

【0042】

すなわち、蓋部材５４は、上板部５６と側壁５８とを備えた略カップ形状であり、側壁５８が、端子台３８の上方側壁４６に形成された嵌合用段部５０に嵌合するように構成されている。

【0043】

これにより、図１に示したように、蓋部材５４と端子台３８との間に、端子台３８の端子固定用壁４２と上方側壁４６と、蓋部材５４の上板部５６と側壁５８とに囲まれた第２の空間Ｓ２が形成されている。

【0044】

すなわち、このように構成することによって、図１に示したように、端子台３８と、端子台３８に隣接して配置された蓋部材５４によって、端子台３８とともに圧力検出エレメント１６を覆う、上記の空間Ｓ１と空間Ｓ２とから構成される大きな空間が形成されていることになる。
すなわち、端子台３８の端子固定用壁４２において、上記の空間Ｓ１、Ｓ２との間は連通状態となっており、これにより、端子台３８と蓋部材５４によって、圧力検出エレメント１６を覆う大きな空間が形成されていることになる。

【0045】

さらに、図１、図２に示したように、蓋部材５４の側壁５８には、外側に突設するリード線係止部６０が形成されている。このリード線係止部６０は、図２に示したように、略矩形形状であり、３本の外部リード線６２、すなわち、外部リード線６２ａ（Ｖｏｕｔ）、６２ｂ（Ｖｃｃ）、６２ｃ（ＧＮＤ）に対応して、それぞれ、リード線係止部６０の係止切欠孔６０ａ、６０ｂ、６０ｃが形成されている。

【0046】

すなわち、外部リード線６２ａ（Ｖｏｕｔ）、６２ｂ（Ｖｃｃ）、６２ｃ（ＧＮＤ）は、図１、図２の矢印Ａで示したように、係止切欠孔６０ａ、６０ｂ、６０ｃに嵌め込まれ、固定されるようになっている。

【0047】

一方、図１に示したように、端子台３８の上方側壁４６を貫通するように設けられた端子４８の外端部４８ａに、外部リード線６２が、接続部６４において、例えば、半田付け、溶接などにより電気的に接続されている。

【0048】

また、図１の矢印Ｂで示したように、継手部材１４側から、カバー部材６６の開口部６６ｂ側が挿入され、カバー部材６６の内側に突設するフランジ形状の基端部６６ａが、継手部材１４のフランジ部１４ａと当接した状態となっている。

【0049】

これにより、図１に示したように、カバー部材６６の内部に間隙Ｓ３が形成されており、この間隙Ｓ３に、カバー部材６６の開口部６６ｂ側から、接着剤を構成する封入樹脂が充填され、封入樹脂部６８が形成されている。

【0050】

なお、この場合、図１に示したように、封入樹脂部６８の上端６８ａが、蓋部材５４のリード線係止部６０の上面６０ｄの高さと同一平面以下の高さ、好ましくは、リード線係止部６０の上面６０ｄと下面６０ｅとの間に位置するのが望ましい。

【0051】

このように構成される本発明の圧力センサー１０は、図３〜図６に示した工程によって製造される。

【0052】

すなわち、図３に示したように、一体的に予め組み立てられた圧力検出エレメント１６を用意し、この圧力検出エレメント１６に継手部材１４を溶接する。

【0053】

次に、図４に示したように、圧力検出エレメント１６のエレメント本体１８の上部に、端子台３８の下方側壁４４を配置して、例えば、接着剤により固定する。この状態で、圧力検出エレメント１６のリードピン３４の先端３４ａは、端子台３８の端子固定用壁４２の挿通孔４２ａに挿通された状態となっている。

【0054】

この状態で、圧力検出エレメント１６のリードピン３４の先端３４ａは、挿通孔４２ａに挿通され、端子台３８の上方側壁４６を貫通するように設けられた端子４８に、リードピン３４の先端３４ａを、接続部５２において、例えば、溶接により電気的に接続する。

【0055】

なお、この状態で、図４に示したように、圧力検出エレメント１６と端子台３８との間に、端子固定用壁４２と下方側壁４４に囲まれた第１の空間Ｓ１が形成されている。

【0056】

そして、図５に示したように、端子台３８の上方側壁４６を貫通するように設けられた端子４８の外端部４８ａに、外部リード線６２を、接続部６４において、例えば、溶接、半田付けなどにより電気的に接続する。

【0057】

また、端子台３８の上方側壁４６に形成された嵌合用段部５０に嵌合するように、蓋部材５４を端子台３８に隣接して配置する。

【0058】

これにより、図５に示したように、蓋部材５４と端子台３８との間に、端子台３８の端子固定用壁４２と上方側壁４６と、蓋部材５４の上板部５６と側壁５８とに囲まれた第２の空間Ｓ２が形成されている状態となる。

【0059】

また、図２、図５の矢印Ａで示したように、外部リード線６２ａ（Ｖｏｕｔ）、６２ｂ（Ｖｃｃ）、６２ｃ（ＧＮＤ）を、リード線係止部６０の係止切欠孔６０ａ、６０ｂ、６０ｃにそれぞれ嵌め込み、固定する。

【0060】

この状態で、図６に示したように、継手部材１４側から、カバー部材６６の開口部６６ｂ側を挿入して、カバー部材６６の内側に突設するフランジ形状の基端部６６ａが、継手部材１４のフランジ部１４ａと当接した状態とする。また、必要に応じて、継手部材１４のフランジ部１４ａとカバー部材６６の基端部６６ａとを、例えば、溶接などによって固定する。

【0061】

最後に、図１に示したように、カバー部材６６の内部に形成された間隙Ｓ３に、カバー部材６６の開口部６６ｂ側から、接着剤を構成する封入樹脂を充填して、封入樹脂部６８を形成する。

【0062】

そして、この状態では、図１に示したように、圧力検出エレメント１６のリードピン３４と、外部リード線６２に接続された端子４８との接続部５２が、空間形成部材の第１の空間形成部材を構成する端子台３８と空間形成部材の第２の空間形成部材を構成する蓋部材５４とによって形成され、封入樹脂が充填されてない空間Ｓ１、Ｓ２からなる空間に位置するように配置された状態となる。

【0063】

この状態では、圧力検出エレメント１６のリードピン３４と、外部リード線６２に接続された端子４８との接続部５２が空間に位置した状態であって、従来のように封入樹脂で覆われた状態ではない。従って、繰り返して圧力センサーが、熱を受けたり冷却された場合にも、熱応力が発生せず、ヒートショック試験に対して強くなり、絶縁不良やショートなどが発生せず、圧力検出エレメントに影響を及ぼすことがなく、正確な圧力の検出が行える。

【0064】

このように構成される本発明の圧力センサー１０によれば、継手部材１４の流路１２と対面するように配置された圧力検出エレメント１６に、圧力検出エレメント１６に隣接して端子台３８を配置し、端子台３８に隣接して蓋部材５４を配置するだけで、蓋部材５４と端子台３８とにより、圧力検出エレメント１６を覆う空間Ｓ１、Ｓ２が形成される。

【0065】

そして、一方が開口し、他方側の基端部６６ａが継手部材１４と当接するカバー部材６６を、継手部材１４側から装着する。次に、カバー部材６６の内部に形成された間隙Ｓ３に、接着剤を構成する封入樹脂を充填して、封入樹脂部６８を形成する。

【0066】

これによって、図１に示したように、継手部材１４と、圧力検出エレメント１６と、圧力検出エレメント１６のリードピン３４と外部リード線６２に接続された端子４８とを支持する端子台３８と、蓋部材５４とが一体化され密封されることになる。

【0067】

従って、従来の圧力センサーのように、複雑な構成が不要で部品点数も少なく、組み立てに時間と手間を要することなく、コストも低減できる。

【0068】

また、接着剤を構成する封入樹脂によって、継手部材１４と、圧力検出エレメント１６と、圧力検出エレメント１６のリードピン３４と外部リード線６２に接続された端子４８とを支持する端子台３８と、蓋部材５４とが一体化され密封されるので、外部から水分が浸入して、絶縁不良や、圧力検出エレメント１６に腐食などの影響を及ぼすことがなく、正確な圧力の検出が行える。

【0069】

しかも、図１に示したように、蓋部材５４と端子台３８とにより、圧力検出エレメント１６を覆う空間Ｓ１、Ｓ２が形成されるので、封入樹脂が内部に浸入して、圧力検出エレメント１６に接触することがなく、封入樹脂の熱応力によって、圧力検出エレメント１６が破損損傷することがなく、正確な圧力の検出が行える。

【0070】

さらに、一方が開口し、他方側の基端部６６ａが継手部材１４と当接するカバー部材６６を、継手部材１４側から装着するので、外部リード線６２に引っ張り力が加わった場合にも、カバー部材６６の基端部６６ａが継手部材１４と当接して引っ掛かることになる。

【0071】

これにより、封入樹脂に力が加わっても、封入樹脂にクラックなどが発生せず、外部から水分が浸入して、絶縁不良や、圧力検出エレメント１６に腐食などの影響を及ぼすことがなく、正確な圧力の検出が行える。

【0072】

さらに、外部リード線６２ａ（Ｖｏｕｔ）、６２ｂ（Ｖｃｃ）、６２ｃ（ＧＮＤ）が、図１、図２の矢印Ａで示したように、蓋部材５４の側壁５８に外側に突設するリード線係止部６０の係止切欠孔６０ａ、６０ｂ、６０ｃにそれぞれ嵌め込まれ固定されている。

【0073】

従って、外部リード線６２に力が加わったとしても、外部リード線６２が固定されているので、柔らかい、接着剤を構成する封入樹脂からなる封入樹脂部６８にクラックなどが発生せず、外部から水分が浸入して、絶縁不良や、圧力検出エレメント１６に腐食などの影響を及ぼすことがなく、正確な圧力の検出が行える。

【0074】

さらに、外部リード線６２が、リード線係止部６０で、その上下が分離された状態となっている。これにより、接着剤を構成する封入樹脂を硬化させる際に、接着剤を構成する封入樹脂が、表面張力によって、外部リード線６２を伝わって上方向に這い上がり、封入樹脂部６８の上端６８ａから突設して、見た目などの品質が低下するのを防止することができる。

【0075】

また、この場合、図１に示したように、封入樹脂部６８の上端６８ａが、蓋部材５４のリード線係止部６０の上面６０ｄの高さと同一平面以下の高さ、好ましくは、リード線係止部６０の上面６０ｄと下面６０ｅとの間に位置するのが望ましい。

【0076】

以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、端子台３８と蓋部材５４を別の部材としたが、端子台３８と蓋部材５４を一体のものから構成することも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【産業上の利用可能性】

【0077】

本発明は、液封型の圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法に適用することができる。

【符号の説明】

【0078】

１０ 圧力センサー
１２ 流路
１４ 継手部材
１４ａ フランジ部
１６ 圧力検出エレメント
１８ エレメント本体
２０ 中央開口
２２ ハーメチックガラス
２４ ダイヤフラム
２６ 連通孔
２８ ダイヤフラム保護カバー
３０ 液封室
３２ センサーチップ
３４ リードピン
３４ａ 先端
３６ ワイヤー
３８ 端子台
３８ａ 表面
４０ 圧力室
４２ 端子固定用壁
４２ａ 挿通孔
４４ 下方側壁
４６ 上方側壁
４８ 端子
４８ａ 外端部
５０ 嵌合用段部
５２ 接続部
５４ 蓋部材
５６ 上板部
５８ 側壁
６０ リード線係止部
６０ａ〜６０ｃ 係止切欠孔
６０ｄ 上面
６０ｅ 下面
６２ 外部リード線
６２ａ〜６２ｃ 外部リード線
６４ 接続部
６６ カバー部材
６６ａ 基端部
６６ｂ 開口部
６８ 封入樹脂部
６８ａ 上端
１００ 圧力センサー
１０２ 圧力検出エレメント
１０４ 継手部材
１０６ カバー部材
１０８ ダイヤフラム
１１０ センサーチップ
１１２ ワイヤーボンディング
１１４ リードピン
１１６ 基板
１１８ 外部リード線
１２２ 封入樹脂
１２４ 封入樹脂
Ｓ１ 第１の空間
Ｓ２ 第２の空間
Ｓ３ 間隙
Ｔ 間隙

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】