特許第5656401号(P5656401)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5656401ＩＩＩ−Ｎバルク結晶及び自立型ＩＩＩ−Ｎ基板の製造方法、並びにＩＩＩ−Ｎバルク結晶及び自立型ＩＩＩ−Ｎ基板
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