特許5656405スライディング手法を用いるウェーハの仮接合のための、高温およびスピンオン接合用組成物

発明の名称　スライディング手法を用いるウェーハの仮接合のための、高温およびスピンオン接合用組成物

出願人　ブルーワー　サイエンス　アイ　エヌ　シー．　（識別番号 500499508）

　　　　特許公開件数ランキング 6922 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5520 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5656405

公報発行日　2015年1月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5656405

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