特許 5661508 斜入射集光器用調節クリップ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5661508

(24)【登録日】2014年12月12日

(45)【発行日】2015年1月28日

(54)【発明の名称】斜入射集光器用調節クリップ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20150108BHJP

   F16B 1/02 20060101ALI20150108BHJP

   F16B 5/02 20060101ALI20150108BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20150108BHJP

   G02B 7/18 20060101ALI20150108BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/30 531A

   F16B1/02 N

   F16B5/02 Q

   G03F7/20 521

   G02B7/18

【請求項の数】25

【外国語出願】

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2011-43458(P2011-43458)

(22)【出願日】2011年3月1日

(65)【公開番号】特開2011-205079(P2011-205079A)

(43)【公開日】2011年10月13日

【審査請求日】2014年2月28日

(31)【優先権主張番号】12/660,955

(32)【優先日】2010年3月8日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】509105237

【氏名又は名称】メディア ラリオ ソシエタ ア レスポンサビリタ リミタータ

【氏名又は名称原語表記】ＭＥＤＩＡ ＬＡＲＩＯ Ｓ．Ｒ．Ｌ．

(74)【代理人】

【識別番号】100136319

【弁理士】

【氏名又は名称】北原 宏修

(74)【代理人】

【識別番号】110000844

【氏名又は名称】特許業務法人 クレイア特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ピロヴァノ、ジョルジオ

(72)【発明者】

【氏名】ギスランゾニ、リカルド

(72)【発明者】

【氏名】クールズ、ジャック

【審査官】 佐野 浩樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−１０９５０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３１７９１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００７−５３６７５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３１０９２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３０９６８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３３８４３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１０−５３７４１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２４６０４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００５−５０１２２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００６−５２０１０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１０−５０７９１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０５３３４３５４（ＵＳ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１５５２５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１３９０４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１７６３０７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｂ １／００ − １／０４ 、 ５／００ − ５／１２ 、

Ｇ０２Ｂ ７／００ 、 ７／１８ − ７／２４ 、

Ｇ０３Ｆ ７／２０ − ７／２４ 、 ９／００ − ９／０２ 、

Ｈ０１Ｌ２１／０２７、２１／３０ 、

Ｈ０５Ｇ １／００ − ２／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

スポークを有するスパイダに斜入射集光器シェルを固定するための調節クリップであって、
上面を有し、前記スポークに固定されるように構成される基体と、
それぞれの端部に端部パッドを有する突起を２つ保持すると共に、前記突起の反対側に第１ヒンジ部を有する端部を保持するフォーク部材と、
前記基体の上面に固定され、前記第１ヒンジ部に動作可能に係合する第２ヒンジ部を有し、前記フォーク部材を前記基体に対して回転調節することができるようにするヒンジを形成するヒンジリーフと
を備える、調節クリップ。

【請求項2】

前記基体は、前記スポークに対して止めネジで固定されるように構成される
請求項１に記載の調節クリップ。

【請求項3】

前記ヒンジリーフは、前記基体の上面にレーザ溶接されている
請求項１または２に記載の調節クリップ。

【請求項4】

前記斜入射集光器シェルは、外面を有し、
前記端部パッドは、前記調節クリップが前記斜入射集光器シェルと前記スパイダとを強固に支持するように、前記斜入射集光器シェルの外面に固定される
請求項１から３のいずれかに記載の調節クリップ。

【請求項5】

前記端部パッドは、前記斜入射集光器シェルの外面にレーザ溶接されている
請求項４に記載の調節クリップ。

【請求項6】

前記第１及び第２ヒンジ部を貫通するピンをさらに備え、
前記ピンは、前記第１及び第２ヒンジ部を回転状態に係合する
請求項１から５のいずれかに記載の調節クリップ。

【請求項7】

前記端部パッドに圧力を加えるように構成される作動機構をさらに備える
請求項１から６のいずれかに記載の調節クリップ。

【請求項8】

前記作動機構は、前記端部パッドを押圧する端部をそれぞれ有する手動調節ネジを２つ保持する
請求項７に記載の調節クリップ。

【請求項9】

外面を有する斜入射集光器シェルを固定するための調節クリップであって、
複数の端部パッド及び第１ヒンジ部を有するフォーク部材と、
上面と、前記第１ヒンジ部に動作可能に係合される第２ヒンジ部とを有する基体部と
を備え、
前記フォーク部材は、前記基体部に対して回転調節可能である
調節クリップ。

【請求項10】

前記基体部の前記上面に固定されると共に前記第２ヒンジ部を有するリーフ部をさらに備える
請求項９に記載の調節クリップ。

【請求項11】

前記リーフ部は、前記基体部の前記上面にレーザ溶接されている
請求項１０に記載の調節クリップ。

【請求項12】

前記基体部は、スパイダのスポークに対して止めネジで固定されるように構成される
請求項９から１１のいずれかに記載の調節クリップ。

【請求項13】

前記端部パッドは、前記斜入射集光器シェルの外面にレーザ溶接されており、
前記基体部は、スパイダに固定され、前記斜入射集光器シェルと前記スパイダとを強固に支持する
請求項９から１２のいずれかに記載の調節クリップ。

【請求項14】

前記端部パッドに圧力を加えるように構成される作動機構をさらに備える
請求項９から１３のいずれかに記載の調節クリップ。

【請求項15】

前記作動機構は、前記端部パッドを押圧する端部をそれぞれ有する手動調節ネジを２つ保持する
請求項１４に記載の調節クリップ。

【請求項16】

上縁を有するスポークを複数保持するスパイダに対して、外面および縁を有する斜入射集光器シェルを位置決めして固定する方法であって、
前記縁が前記複数のスポークの上縁の一部に載置されるように前記斜入射集光器シェルを前記スパイダ上に配置することと、
調節クリップの基体部を前記スポークの上縁に固定することと、
前記斜入射集光器シェルの外面に対向する複数の端部パッドを有するフォーク部材を前記基体部に対して回転自在な状態で固定することと、
前記基体部に対して回転されることにより前記フォーク部材が自己調節しながら、前記斜入射集光器シェルを前記スパイダに対して光学的に位置決めすることと、
前記端部パッドを前記斜入射集光器シェルの外面に固定し、前記斜入射集光器シェルと前記スパイダとを強固に支持することと
を備える方法。

【請求項17】

ヒンジを利用して前記フォーク部材を前記基体部に固定することをさらに備える
請求項１６に記載の方法。

【請求項18】

前記基体部は、上面を有し、
前記基体部の前記上面に固定されると共に前記フォーク部材のヒンジナックルに動作可能に係合するヒンジリーフを利用して、前記ヒンジを形成することを備える
請求項１７に記載の方法。

【請求項19】

前記基体部の上面に前記ヒンジリーフをレーザ溶接することをさらに備える
請求項１８に記載の方法。

【請求項20】

前記斜入射集光器シェルの外面に前記端部パッドをレーザ溶接することをさらに備える
請求項１６から１９のいずれかに記載の方法。

【請求項21】

前記斜入射集光器シェル毎に、少なくとも３つの調節クリップに対して前記複数の工程を実行することを備える
請求項１６から２０のいずれかに記載の方法。

【請求項22】

２つ以上の前記斜入射集光器シェルに対して前記複数の工程を実行することを備える
請求項２１に記載の方法。

【請求項23】

前記端部パッドに圧力を加えて前記斜入射集光器シェルの位置、形状、向きのうち少なくとも一つを調節することをさらに備える
請求項１６から２２のいずれかに記載の方法。

【請求項24】

ａ）外面をそれぞれ有する一または複数の斜入射集光器シェルと、
ｂ）前記一または複数の斜入射集光器シェルを支持する複数のスポークを有するスパイダと、
ｃ）前記斜入射集光器シェル毎に、前記斜入射集光器シェルの外面および前記複数のスポークに固定される少なくとも一つの調節クリップと
を備え、
前記少なくとも一つの調節クリップは、
ｉ）上面を有する基体部と、
ｉｉ）端部パッドを有する突起を複数保持するフォーク部材と
を有し、
フォーク部材は、前記端部パッドを前記斜入射集光器シェルの外面に固定する前に、前記フォーク部材を前記基体部に対して回転可能にするヒンジで基体部に固定され、
前記端部パットは、前記斜入射集光器シェルの外面に固定される
斜入射集光器ミラー。

【請求項25】

前記基体部に固定または一体形成されている支持部材を貫通する第１及び第２調節ネジをさらに備え、
前記第１及び第２調節ネジは、前記複数の端部パッドに圧力を加えるように前記端部パッドそれぞれに接触する端部をそれぞれ有する
請求項２４に記載の斜入射集光器ミラー。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、一般に斜入射集光器（ＧＩＣ）に関し、特にＧＩＣシェルをスパイダに固定するために使用される調節クリップに関する。

【背景技術】

【0002】

ＥＵＶリソグラフィは、線幅約３２ｎｍ以下の次世代半導体装置の製造に最適なリソグラフィプロセスとなることが予想されている。ＥＵＶの波長はわずか１３．５ｎｍであり、ＥＵＶを集光及び結像するためには特別な光学系を使用する必要がある。

【0003】

光源からの放射光を集光するために使用されるＥＵＶ光学システムとして、斜入射集光器（ＧＩＣ）がある。典型的には、ＧＩＣは、単数または複数の同心円状に配置されたＧＩＣシェルミラー（ＧＩＣシェル）を有する。ＧＩＣシェルは、システム全体の光学設計により設定された仕様内で、斜入射角でＥＵＶ源からの光を受光し、受光した光を反射して集束する照明ビームを形成するように構成されている。集束した照明ビームは、中間焦点を形成し、そして、好ましくは均一の遠隔フィールドに照明領域を形成する。

【0004】

典型的には、ＧＩＣには、複数のＧＩＣシェルを互いに固定位置に維持する「スパイダ」が必要とされる。いくつかのＧＩＣにおいて、ＧＩＣシェルは、クリップを利用してスパイダに固定される。なお、クリップは、ＧＩＣシェルの縁または外面と、スパイダの複数のスポークのうち一つとを係合させる。このようなクリップは、これまで殆どまたは全く調整することができなかった。このため、複数のＧＩＣシェルを光学的に位置合わせする若しくは調整することが問題となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】米国特許出願第１２／６５７，６５０Ａ１号

【特許文献2】米国特許出願第１２／５９２，７３５Ａ１号

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様は、複数のスポークを有するスパイダに斜入射集光器（ＧＩＣ）シェルを固定する調節クリップである。調節クリップは、上面を有する基体を備えている。基体は、スパイダのスポークに固定されるように構成されている。クリップは、フォーク部材を有する。フォーク部材は、それぞれの端部に端部パッドを有する突起を２つ保持している。
フォーク部材は、第１ヒンジ部を有する。第１ヒンジ部は、２つの突起の端部とは反対側の端部に設けられる。クリップは、ヒンジリーフを有する。ヒンジリーフは、基体の上面に固定され、第２ヒンジ部を有する。第２ヒンジ部は、第１ヒンジ部と動作可能に係合し、ヒンジを形成する。ヒンジは、フォーク部材を基体に対して回転調節することができるようにする。なお、第２ヒンジ部は、基体と一体成形されていてもよい。ＧＩＣシェルは、フォーク部材が回転されることによって光学的に位置合わせされる。フォーク部材において、端部パッドは、ＧＩＣシェルの外面をスライドすることができる。ＧＩＣシェルが位置合わせされると、端部パッドがＧＩＣシェルの外面にレーザ溶接される。これにより、クリップが強固に固定され、ＧＩＣシェルがスパイダに対して定位置で保持される。
この調節クリップにおいて、基体は、スポークに対して止めネジで固定されるように構成されるのが好ましい。
また、この調節クリップにおいて、ヒンジリーフは、基体の上面に対してレーザ溶接されているのが好ましい。
調節クリップは、外面を有するＧＩＣシェルをさらに備えるのが好ましい。そして、この調節クリップでは、端部パッドがＧＩＣシェルの外面に固定されるのが好ましい。その結果、調節クリップは、ＧＩＣシェルとスパイダとを強固に支持する。
この調節クリップにおいて、端部パッドは、ＧＩＣシェルの外面にレーザ溶接されているのが好ましい。
この調節クリップは、第１及び第２ヒンジ部を貫通するピンをさらに備えるのが好ましい。ピンは、第１及び第２ヒンジ部を回転状態に係合する。
この調節クリップは、作動機構をさらに備えるのが好ましい。この作動機構は、端部パッドに圧力を加えるように構成されている。
この調節クリップにおいて、作動機構は、手動調節ネジを２つ保持するのが好ましい。手動調節ネジは、端部パッドを押圧する端部をそれぞれ有する。

【0007】

本発明の他の態様は、外面を有する斜入射集光器（ＧＩＣ）を固定するための調節クリップである。この調節クリップは、フォーク部材および基体部を備える。フォーク部材は、複数の端部パッドおよび第１ヒンジ部を有する。基体部は、上面と、第１ヒンジ部に動作可能に係合される第２ヒンジ部とを有する。そして、フォーク部材は、基体部に対して回転調節可能である。
この調節クリップは、リーフ部をさらに備えるのが好ましい。リーフ部は、基体部の上面に固定されると共に第２ヒンジ部を有する。
この調節クリップにおいて、リーフ部は、基体部の上面にレーザ溶接されているのが好ましい。
この調節クリップにおいて、基体部は、スパイダのスポークに対して止めネジで固定されるように構成されているのが好ましい。
この調節クリップは、ＧＩＣシェルをさらに備えるのが好ましい。この調節クリップでは、端部パッドがＧＩＣシェルの外面にレーザ溶接されているのが好ましい。また、基体部は、スパイダに固定され、ＧＩＣシェルとスパイダとを強固に支持するのが好ましい。
この調節クリップは、作動機構をさらに備えるのが好ましい。作動機構は、複数の端部パッドに圧力を加えるように構成される。
この調節クリップにおいて、作動機構は、手動調節ネジを２つ保持するのが好ましい。手動調節ネジは、端部パッドを押圧する端部をそれぞれ有する。

【0008】

本発明の他の態様は、上縁を有するスポークを複数保持するスパイダに対して、外面および縁を有するＧＩＣシェルを位置決めして固定する方法である。この方法には、ＧＩＣシェルの縁が複数のスポークの上縁の一部に載置されるようにＧＩＣシェルをスパイダ上に配置することが含まれる。また、この方法には、調節クリップの基体部をスポークの上縁に固定することが含まれる。さらに、この方法には、ＧＩＣシェルの外面に対向する複数の端部パッドを有するフォーク部材を基体部に対して回転自在な状態で固定することが含まれる。そして、この方法には、スパイダに対してＧＩＣシェルを光学的に位置合わせすることが含まれる。この位置合わせには、例えば、フォーク部材を回転させ、端部パッドがＧＩＣシェルの外面に対して移動するようにＧＩＣシェルを移動させることが含まれる。そして、この方法には、端部パッドを（例えば、レーザ溶接により）前記ＧＩＣシェルの外面に固定し、調節クリップを剛性支持部材とすることが含まれる。各ＧＩＣシェルをスパイダに固定するためには、典型的に、多くの(例えば、３つ以上の)調節クリップが使用される。
この方法には、ヒンジを利用してフォーク部材を基体部に固定することがさらに含まれるのが好ましい。
この方法において、基体部は上面を有しているのが好ましい。そして、この方法には、基体部の上面に固定されると共にフォーク部材のヒンジナックルに動作可能に係合するヒンジリーフを利用して、ヒンジを形成することがさらに含まれるのが好ましい。
この方法には、基体部の上面にヒンジリーフをレーザ溶接することがさらに含まれるのが好ましい。
この方法には、ＧＩＣシェルの外面に端部パッドをレーザ溶接することがさらに含まれるのが好ましい。
この方法には、ＧＩＣシェル毎に、少なくとも３つの調節クリップに対して複数の工程を実行することがさらに含まれるのが好ましい。
この方法には、２つ以上のＧＩＣシェルに対して複数の工程を実行することがさらに含まれるのが好ましい。
この方法には、端部パッドに圧力を加えてＧＩＣシェルの位置、形状、向きのうち少なくとも一つを調節することがさらに含まれるのが好ましい。

【0009】

本発明の他の様態は、ＧＩＣミラーである。ＧＩＣミラーは、ａ）外面をそれぞれ有する一または複数のＧＩＣシェルと、ｂ）一または複数のＧＩＣシェルを支持する複数のスポークを有するスパイダと、ｃ）ＧＩＣシェル毎に、ＧＩＣシェルの外面および複数のスポークに固定される少なくとも一つの調節クリップとを有する。少なくとも一つの調節クリップは、ｉ）上面を有する基体部と、ｉｉ）端部パッドを有する突起を複数保持するフォーク部材とを有する。そして、フォーク部材は、端部パッドをＧＩＣシェルの外面に固定する前に、フォーク部材を基体部に対して回転可能にするヒンジで基体部に固定される。端部パットは、ＧＩＣシェルの外面に固定される。
ＧＩＣミラーは、第１及び第２調節ネジをさらに備えるのが好ましい。第１及び第２調節ネジは、基体部に固定または一体形成された支持部を貫通する。そして、第１及び第２調節ネジは、複数の端部パッドに圧力を加えるように端部パッドそれぞれに接触する端部をそれぞれ有する。

【0010】

本発明のさらなる特徴及び利点は、下記の詳細な説明（発明を実施するための形態）に明記されている。また、それらの一部は詳細な説明の記載内容から当業者にとって直ちに明白となるか、下記の詳細な説明、特許請求の範囲、添付図面を含む、ここに記載された発明を実施することによって認識される。

【0011】

上記の背景技術に関する記載と下記の本発明の詳細な説明に関する記載は、本発明の実施形態を提供するものであり、特許請求の範囲に記載されているように、本発明の本質および特徴を理解するための概略または枠組みを提供するものであることを理解すべきである。添付図面は、本発明のさらなる理解を提供するために含まれており、本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成する。図面は、本発明の様々な実施形態を図示するものであり、本明細書の記載とともに、本発明の原則及び実施を説明する一助となる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】調節クリップの一例の分解斜視図であり、スパイダのスポークに対して調節クリップを固定する際に使用される止めネジも併せて示す図である。

【図2】組み立て後の図１の調節クリップの斜視図である。

【図3】フォーク部材およびヒンジリーフの斜視図である。

【図4】一または複数のＧＩＣシェルを有するＧＩＣミラーを形成するために使用されるスパイダの一例の斜視図である。

【図5A】スパイダの複数のスポークのうちの一つに固定されると共にＧＩＣシェルの外面を支持する調節クリップの一例の拡大斜視図であり、基体に対してヒンジリーフをレーザ溶接している状態を示す図である。

【図5B】スパイダの複数のスポークのうちの一つに固定されると共にＧＩＣシェルの外面を支持する調節クリップの一例の拡大斜視図であり、ＧＩＣシェルの外面に対してフォーク部材の両端部パッドをレーザ溶接している状態を示す図である。

【図6A】図４のスパイダを使用して組み立てるプロセスにおいて示される９つのＧＩＣシェルを備えるＧＩＣミラーの実施形態の一例の斜視図であり、図示された最外部シェルを支持するように配置される複数の調節クリップの一部を示す図である。

【図6B】図６ＡのＧＩＣミラーの斜視図であり、９つのＧＩＣシェルがすべて定位置に配置された図である。

【図7】一または複数のＧＩＣシェルをスパイダに対して位置決めして固定し、ＧＩＣミラーを形成する方法の一例を示すフローチャートである。

【図8】図５Ａ及び５Ｂと同様の斜視図であり、両端部パッドのそれぞれに接触する２つの調節ネジを有する作動機構を備える調節クリップの一例を示す図である。

【0013】

図中の様々な構成要素は単に図示されたに過ぎず、必ずしも実際の縮尺通りに図示されている訳ではない。これらの構成要素のうち、ある部分は誇張して図示され、ある部分は最小化して図示されている場合もある。図面を簡略化するために、同様の構成要素の全てに必ずしも符号を付与している訳ではない。本図面は、当業者によって理解され、適切に実行され得る本発明の実施形態の一例を図示することを意図するものである。

【発明を実施するための最良の形態】

【0014】

図１は、本発明に係る調節クリップ（クリップ）１０の一例の分解斜視図であり、止めネジ１２０も併せて図示している。図２は、組み立て後の図１のクリップ１０の斜視図である。クリップ１０は、２つの突起３０を有するフォーク部材２０を備える。各突起３０は、端部パッド３６を保持する端部２４を有する。一実施形態において、フォーク部材２０および両端部パッド３６は剛性を有するか、実質的に剛性を有する。クリップ１０の素材としては、例えば、電気鋳造された複数のＧＩＣシェルと熱的適合性を有するステンレス鋼、インコネル、アルミニウム、ニッケル、ニッケル合金が挙げられる。

【0015】

また、フォーク部材２０は、第１ヒンジ部３８を有する反対端部２６を備えている。一例では、第１ヒンジ部３８は、ヒンジナックル４０を備えている。ヒンジナックル４０には、ピン５０を収容する大きさの孔４２が設けられている。

【0016】

また、図３を参照すると、クリップ１０の一例は、ヒンジリーフ６０を備えている。ヒンジリーフ６０は、縁６２において第２ヒンジ部６１を有する。縁６２は、インデント６４を有する。このインデント６４により、ピン５０を収容する大きさの孔７２をそれぞれ有する複数の外部ヒンジナックル７０が形成される。インデント６４はヒンジナックル４０を収容する大きさに形成されており、ヒンジリーフ６０、ヒンジナックル４０及びピン５０（または、より一般的には、第１及び第２ヒンジ部３８，６１、及び、これらを貫通するピン５０）は、フォーク部材２０を回転可能にするヒンジ８０を形成する。これにより、フォーク部材２０の回転調節が可能となる。また、後述の通り、ヒンジリーフ６０は、中心アクセス孔８６を有し、止めネジ１２０のネジ頭穴１２８にアクセスさせる。

【0017】

クリップ１０は、基体１００をさらに備えている。基体１００は、上面１０２と、互いに対向する側面１０４，１０６とを有する。ネジ頭穴１２８（アレン型ネジ頭穴として示されている）を有するネジ頭１２２を備える止めネジ１２０は、基体１００に隣接して図示されている。また、止めネジ１２０は、ねじ切り端部１２６を有するシャフト１２４を備えている。基体１００は、スロット１１０を備えている。スロット１１０は、断面視において、ネジ頭１２２と、ネジ頭１２２に隣接するシャフト１２４の一部（即ち、ヘッドシャンク）とを収容するように形成されている。基体１００の上面１０２には、スロット１１０に達する中心孔１３０が形成されている。一実施形態において、基体１００の上面１０２には、複数の外側ヒンジナックル７０を収容する棚部１０３が形成される。

【0018】

ヒンジリーフ６０は、孔８６，１３０が揃うように基体１００に固定される。この結果、止めネジ１２０がスロット１１０にスライド挿入される際、上方からヒンジリーフ６０及び基体１００を介してねじ頭穴１２８にアクセスすることができる。

【0019】

なお、他の実施形態では、第２ヒンジ部６１が基体１００と一体形成されている。そのため、別体のヒンジリーフ６０を基体１００の上面１０２に固定する必要性はない。

【0020】

場合によっては、他の構成要素と機械的に干渉することにより、２つの突起３０を有する複数のクリップ１０を所定の場所で使用することができない。この機械的干渉を回避するために、一つの突起３０を有する複数のクリップを一部の場所で採用してもよい。単突起型クリップは、双突起型クリップ１０に比べて周方向における剛性が小さい。したがって、単突起型クリップは、側面方向の負荷に対する支持には推奨されない。しかし、単突起型クリップが双突起型クリップ１０と適切に組み合わせて使用され、側面方向の負荷を吸収する場合、このような実施形態が許容される。

【0021】

（スパイダ及びクリップ）
図４は、例えば、米国特許出願第１２／６５７，６５０（発明の名称「斜入射集光器のための被冷却スパイダ及び方法」）に記載されているスパイダ２００の一例の斜視図である。なお、この米国特許出願は、本出願に援用される。スパイダ２００の主な機能は、ＧＩＣミラーを形成する一または複数のＧＩＣシェル３００（以下、紹介及び議論する）の組立体に対して、正確かつ頑丈な搭載および機械的剛性を付与することにある。スパイダ２００を形成する素材の一例としては、ステンレス鋼が挙げられる。他の素材としては、電気鋳造される複数のＧＩＣシェル３００との熱適合性を考慮して、インコネル、アルミニウム、ニッケル、ニッケル合金等が挙げられる。

【0022】

スパイダ２００は、外側リング２１０、内側リング２２０及び複数のスポーク２３０（例として、６つを図示）を備える。スポーク２３０は、内側および外側リング２１０，２２０を機械的に接続し、スパイダ２００を構造的に支持している。スパイダ２００が冷却スパイダである一例において、外側リング２１０、内側リング２２０及び複数のスポーク２３０は、流入側冷却液マニホールド２５０Ａ及び流出側冷却液マニホールド２５０Ｂに流体接続される複数の冷却チャネル２４０によって流体接続される。これにより、スパイダ２００を流れる冷却液流路が形成される。

【0023】

各スポーク２３０は、２つ以上のＧＩＣシェル３００を離間状態で支持するように構成されるスポーク縁２３４を有する。一実施形態において、スポーク縁２３４は、図５Ａ及び５Ｂに示されるように、多くの段部２３６を有している。段部２３６は、ＧＩＣシェル３００の縁３０４において、複数のＧＩＣシェル３００、さらには、複数のクリップ１０を支持するために使用される。

【0024】

図５Ａ及び５Ｂは、スパイダ２００及びＧＩＣシェル３００に対応して動作可能な状態に配置されたクリップ１０の拡大図である。なお、ＧＩＣシェル３００は、外面３０２および縁３０４を有する。また、図中において、複数の冷却ライン３１０がＧＩＣシェル３００の外面３０２に隣接して配置されている。止めネジ１２０は、スロット１１０にスライド挿入され、基体１００を段部２３６に取り付けるために使用される。複数の段部２３６のうち一つに図示されているのは、搭載トラック２５０の一例である。搭載トラック２５０には、基体１００を搭載することができる。基体１００は、止めネジ１２０やその他の固定手段を用いて定位置に固定される前に、搭載トラック２５０に沿って移動可能に調節される。一実施形態において、基体１００は、搭載トラック２５０に沿ってスライドするように構成される下面１０１を有している。

【0025】

基体１００が段部２３６に固定されると、ＧＩＣシェル３００の外面３０２に対して両端部パッド３６が対向するように、フォーク部材２０が調節される。しかし、両端部パッド３６がＧＩＣシェル３００の外面３０２に対向する状態で、例えば、ＧＩＣシェル３００を光学的に位置決めするためには、スパイダ２００に対するＧＩＣシェル３００の位置を移動できるように、フォーク部材２０をヒンジ８０周りに回転させる。特に、スパイダ２００に対してＧＩＣシェル３００を位置調節する場合、両端部パッド３６はＧＩＣシェル３００の外面３０２に対して移動（例えば、外面３０２上をスライド）する。

【0026】

ＧＩＣシェル３００を光学的に位置決めする場合、図５Ａに示す一実施形態では、レーザ光線３５０を使用して、ヒンジリーフ６０が基体１００の上面１０２に固定（例えば、レーザ溶接）される。なお、第２ヒンジ部６１が既に基体１００と一体形成されている場合、この工程は省略される。

【0027】

また、図５Ｂに示されるように、例えば、レーザ光線３５０を使用して両端部パッド３６を外面３０２にレーザ溶接することにより、フォーク部材２０がＧＩＣシェル３００の外面３０２に固定される。両端部パッド３６を外面３０２に固定することにより、クリップ１０の剛性が強化される（即ち、フォーク部材２０はこの段階で回転不能となる）。その結果、クリップ１０は、ＧＩＣシェル３００をスパイダ２００に対して位置決めされた状態で固定する剛体支持として機能する。典型的には、ＧＩＣシェル３００をスパイダ２００に対して位置決め及び固定するために、複数の調節クリップ１０が使用される。

【0028】

（ＧＩＣシェルを備えたスパイダ）
図６Ａは、図６Ｂに示される９つのＧＩＣシェルを有するＧＩＣミラー４００を形成するプロセスにおいて、２つのＧＩＣシェル３００を支持するスパイダ２００の斜視図である。ＧＩＣミラー４００は光学軸Ａ１を有する。本出願に援用される米国特許出願第１２／５９２，７３５号に記載されているように、ＧＩＣシェル３００の一例は、外面３０２上に配置された上述の複数の冷却ライン３１０を備えている。

【0029】

また、図中において、ＥＵＶ光源ＬＳは、光学軸Ａ１に沿って、ＧＩＣミラー４００に対応して配置されている。スパイダ２００は、ＥＵＶがＥＵＶ光源ＬＳからＧＩＣミラー４００の中間焦点にリレーされるのを実質的に妨げないように、一または複数のＧＩＣシェル３００を同心円状に離間状態で動作可能に支持するように構成されている。

【0030】

ＧＩＣミラー４００の形成時において、最内部のＧＩＣシェル３００は、その縁３０４が複数のスポーク２３０の対応する内側の段部２３６上に配置された状態で、スパイダ２００上に配置される。複数の段部２３６は、縁３０４の各部分において、ＧＩＣシェル３００を支持する。そして、図６Ｂに示されるように、完成状態のＧＩＣミラー４００が形成されるまで、他の複数のＧＩＣシェル３００が、内側から外側に向けて追加される。

【0031】

（ＧＩＣシェルの位置決め及び固定方法の一例）
図７は、ＧＩＣミラー４００を形成する際に、一または複数のＧＩＣシェル３００をスパイダ２００に対して位置決めして固定するための方法の一例のフローチャートである。

【0032】

工程７０１では、クリップ１０の基体１００が、複数スポーク２３０の最内部の複数段部２３６のうち一つで、スパイダ２００に固定（例えば、ネジ止め）される。一例では、この工程は、少なくとも３つのクリップ１０に対して実行される。

【0033】

工程７０２では、ＧＩＣシェル３００がスパイダ２００に対応して配置（例えば、位置決め）される。そして、この配置中に、複数のクリップ１０は、各ヒンジ８０において各基体１００に対して回転する各フォーク部材２０によって「自己調節」する。一旦、ＧＩＣシェル３００がスパイダ２００上に光学位置決めされると、工程７０３において、複数のヒンジリーフ６０が各基体１００に対してレーザ溶接される。そして、工程７０４では、各クリップ１０の両端部パッド３６がＧＩＣシェル３００の外面３０２にレーザ溶接され、各クリップ１０が剛性支持部材となる。

【0034】

第２ヒンジ部６１が基体１００と一体形成される上述の実施形態では、工程７０２が省略される。

【0035】

工程７０５では、例えば、図６Ａおよび図６Ｂに示されるように、次の最外部ＧＩＣシェル３００が、スパイダ２００上、即ち、複数のスポーク２３０において次の最外部に位置する段部２３６上に配置される。そして、ＧＩＣミラー４００が形成されるまで、最内部ＧＩＣシェル３００から最外部ＧＩＣシェル３００への方向に向かってプロセス７００が繰り返される（工程７０６を参照）。

【0036】

（アクチュエータ機構を備えたクリップ）
本発明のさらなる態様では、一または複数のクリップ１０が使用されることにより、ＧＩＣミラー４００の光学性能が最適化されるが、これは、上述した複数のクリップ１０の自己調節機能によるだけでなく、ＧＩＣシェル３００の（ストレス付加および変形による）形状、向き、（平行移動及び回転による）位置の少なくとも一つの制御操作によって実現される。このような制御操作は、非点収差（即ち、完全な円筒対称性からの乖離）の補正、または、ＧＩＣシェル３００の向き及び配置誤差の補正を可能にするという点で有益である。

【0037】

図８は、作動機構５００を組み込んだ調節クリップ１０の一例を示す。クリップ１０は、作動機構５００により、両端部パッド３６を介して、ＧＩＣシェル３００の外面３０２に対して制御された圧力を加えることが可能となる。作動機構５００の一例は、基体１００に取り付けられた支持部５０２、または、基体１００と一体形成された支持部５０２を有する。支持部５０２は、少なくとも一つの調節ネジ５１０、好ましくは２つの調節ネジ５１０を支持するように構成されている。調節ネジ５１０は、端部パッド３６に係合する端部５１２と、例えば、ネジ回し、アレンレンチ等により回転されるように構成される反対の端部５１６とを有する。一例において、調節ネジ５１０を回転可能な状態で支持部５０２に固定するために、複数のナット５２０が使用される。

【0038】

支持部５０２に対して調節ネジ５１０の位置を調節することにより、両端部パッド３６を介してＧＩＣシェル３００に対して、僅かではあるが制御可能な圧力が加えられる。これは、ＧＩＣシェル３００の僅かな変位、僅かな変形、僅かな向きの変化の少なくとも一つにつながる。こうして複数のクリップ１０が調節可能となり、複数のＧＩＣシェル３００が調節可能となる。本実施形態では、複数の調節ネジ５１０は、手動調節可能なアクチュエータとして機能する。

【0039】

調節可能なアクチュエータとして複数の調節可能ネジ５１０を使用する以外に、例えば、圧電型、電磁型等、他のアクチュエータを使用することができる。しかし、極めて積極的なプラズマ環境でＧＩＣミラー４００を動作させることが意図されており、頻繁に調節を必要としない場合、堅牢且つ安定した作動機構を有することが好ましい。作動距離は、例えば、約５０ミクロンから５００ミクロンの間である。このような調節は、上述の通り、好ましい堅牢性と共に、一または複数のネジ基体のアクチュエータ機構を使用することにより十分に実行可能である。

【0040】

当業者に明白であるが、本発明の精神及び範囲を逸脱することなく、本発明に対して様々な修正及び変更を加えることができる。したがって、本発明は、添付の特許請求の範囲及びその均等範囲内において本発明の修正及び変更を包含する。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】